KR970007396A - 새도우 마스크용 포물면 레이저 탐사 시스템 및 방법 - Google Patents

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KR970007396A
KR970007396A KR1019960028928A KR19960028928A KR970007396A KR 970007396 A KR970007396 A KR 970007396A KR 1019960028928 A KR1019960028928 A KR 1019960028928A KR 19960028928 A KR19960028928 A KR 19960028928A KR 970007396 A KR970007396 A KR 970007396A
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에이치. 짐머맨 브루스
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케네쓰 어베이트
비엠씨 인더스트리즈 인코오포레이티드
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Abstract

물질의 박판내의 개구를 측정하기 위한 레이저 탐사기는 레이저 빔 및 검출 시스템을 갖는다. 레이저 빔은 서로 수직인 장축 및 단축을 갖는다. 장축은 단축보다 매우 크다. 개구의 크기는 물질의 박판을 통과하는 레이저 빔의 비율로부터 결정된다. 슬롯 폭은 상기 박판이 레이저 빔과 관련하여 이동할때 상기 박판을 통과하는 광의 비교적 일정한 양을 식별함으로써 측정된다.

Description

새도우 마스크용 포물면 레이저 탐사 시스템 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 레이저 탐사기의 분해 블록도.

Claims (22)

  1. 개구를 갖는 물질의 시트의 특성을 측정하는 레이저 탐사 시스템에 있어서, 상기 시트의 제1측면으로 투사되는 적어도 하나의 탐사 레이저 빔을 포함하는데, 각각의 탐사 레이저 빔은 전파의 주방향, 장축 및 단축을 구비하고, 상기 장축 및 단축은 서로 수직이고 상기 탐사 레이저 빔의 전파의 주방향에 수직이며, 상기 주축은 상기 단축보다 크고; 상기 시트의 제2측면에 배치되어 상기 시트내의 상기 개구를 통과하는 광의 양을 나타내는 검출 신호를 생성하는 수신 시스템과; 상기 시트의 특성을 계산하고, 상기 수신 시스템에 결합되어 상기 수신 시스템에 의해 생성된 상기 검출 신호로부터 상기 시트의 특성을 계산 가능한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 개구는 복수의 슬롯의 컬럼을 포함하고, 각각의 컬럼은 수평 피치 커리만큼 분리되며, 각각의 슬롯은 상기 탐사 레이저 빔의 장축의 방향으로 폭과 상기 탐사 레이저 빔의 단축의 방향으로 길이를 갖고, 각각의 컬럼내의 상기 슬롯은 물질의 섹션에 의해 서로로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 장축은 슬롯의 컬럼 사이의 거리의 적어도 2배이고, 상기 단축은 하나의 슬롯의 길이의 1/2보다 작은 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 계산 수단에 의해 계산 가능하게 되는 상기 특성은 상기 슬롯의 단부 근처의 상기 슬롯의 폭, 상기 슬롯의 중앙 근처의 상기 슬롯의 폭 및 적어도 하나의 슬롯의 전체 길이에 대한 평균 광 투과율을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 개구를 갖는 상기 물질의 시트는 적어도 하나의 탐사 레이저 빔의 전파의 주방향에 수직인 평면에서 상기 레이저 빔 시스템과 관련하여 이동 가능한 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 계산 수단은 무한소의 시간 주기보다 큰 일정 값을 갖는 상기 검출 신호의 최대치를 식별하는 수단과; 상기 검출 신호의 상기 최대치의 적어도 하나의 값을 사용함으로써 상기 슬롯의 단부에서 슬롯의 폭을 계산하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 계산 수단은 적어도 하나의 상기 최대값으로부터 평균값을 결정하는 수단과; 상기 평균값을 상기 시트에 투사되는 광의 양을 나타내는 값으로 제산하는 수단을 포함하는데, 상기 제산이 임의의 결과를 산출하고; 상기 결과를 상기 수평 피치 거리와 승산하는 수단을 추가로 포함하며, 상기 승산이 상기 물질의 시트내의 슬롯의 단부 근처에 슬롯의 폭의 측정을 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 레이저 탐사 시스템은 각각이 상기 탐사 레이저 빔과 동일하고 상기 물질의 시트의 분리 영역에 투사되는 복수의 레이저 빔을 추가로 포함하는데, 각각의 레이저 빔은 분리 검출 신호를 생성가능하고, 특성을 계산하는 상기 수단은 각각의 분리 검출 신호로부터 상기 물질의 시트내의 슬롯의 단부 근처에서 슬롯의 폭의 분리 측정을 산출가능한 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  9. 제5항에 있어서, 특성을 계산하는 상기 수단은 무한소의 시간 주기보다 큰 일정 값을 갖는 상기 검출 신호의 최소치를 식별하는 수단과; 상기 검출 신호의 상기 최소치의 적어도 하나의 값을 사용함으로써 상기 슬롯의 중앙에서 폭을 계산하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 특성을 계산하는 상기 수단은 적어도 하나의 상기 최소값으로부터 평균을 결정하는 수단과; 상기 평균값을 상기 시트에 투사되는 광의 양을 나타내는 값으로 제산하는 수단을 포함하는데, 상기 제산이 임의의 결과를 산출하고; 상기 결과를 상기 수평 피치 거리의 2배와 승산하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 레이저 탐사 시스템은 각각이 상기 탐사 레이저 빔과 동일하고 상기 물질의 시트의 분리 영역에 투사되는 복수의 레이저 빔을 추가로 포함하는데, 각각의 레이저 빔은 분리 검출 신호를 생성가능하고, 특성을 계산하는 상기 수단은 각각의 분리 검출 신호로부터 상기 물질의 시트내의 슬롯의 중앙 근처에서 슬롯의 폭의 분리 측정을 산출가능한 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  12. 제5항에 있어서, 특성을 계산하는 상기 수단은 상기 검출 신호를 제1시간 주기로 적분하는 수단을 포함하는데, 상기 적분이 적분된 검출 신호를 생성하고; 상기 시트에 투사되는 광의 양을 나타내는 기준 신호를 제1시간 주기로 적분하는 수단을 포함하는데, 상기 적분이 적분된 기준 신호를 생성하며; 상기 평균 광 투과율을 산출하기 위해 상기 적분된 검출 신호를 상기 적분된 기준 신호로 제산하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  13. 제1항에 있어서, 상기 탐사 레이저 빔은 장축을 따라서 부분적인 강도 분포를 갖고, 상기 단축의 방향으로의 상기 시트와 상기 탐사 레이저 빔 사이의 관련 이동만이 상기 시트를 통과하는 광의 양을 명백하게 변경하게 하기 위한 장축 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  14. 제1항에 있어서, 상기 개구는 컬럼 개구를 포함하는데, 각각의 컬럼 개구는 적어도 하나의 탐사 레이저 빔의 장축의 방향으로 적어도 하나의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 특성을 계산하는 상기 수단이 컬럼 개구의 폭의 크기를 계산가능한 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  16. 제1항에 있어서, 상기 개구는 원형 개구를 포함하는데, 상기 원형 개구는 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 탐사 시스템.
  17. 중앙에서 슬롯의 컬럼을 갖고, 슬롯의 각각의 컬럼의 중앙이 슬롯의 다른 중앙으로부터 수평 피치 거리만큼 분리되는 이동 웹내의 슬롯의 폭을 측정하는 방법에 있어서, 상기 이동 웹을 향해 정적 광을 사출하는 단계를 포함하는데, 상기 광은 임의의 시간에 상기 웹의 일부분만 조명하고; 상기 웹을 통해 투과되는 광의 양을 검출하는 단계와; 상기 검출된 광에 기초하여 전기 신호를 생성하는 단계와; 임의의 시간 주기동안 실질적으로 일정하게 되는 상기 전기 신호의 부분을 식별하는 단계를 포함하는데, 각각의 실질적으로 일정한 부분이 임의의 값을 가지며; 상기 광이 통과되는 상기 슬롯의 선택 영역의 평균 폭을 계산하도록 상기 전기 신호의 실질적으로 일정한 부분의 값을 사용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯 폭 측정 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 슬롯의 상기 단부 근처의 상기 평균 폭은 상기 전기 신호의 실질적으로 일정한 임의의 값을 각각 갖는 최대치를 식별하는 단계와; 임의의 결과를 얻도록 상기 식별된 최대치 중 하나의 값을 상기 웹에 투사되는 전체광을 나타내는 값으로 제산하는 단계와; 상기 결과를 상기 수평 피치 거리와 승산하는 단계에 의해 계산되는 것을 특징으로 하는 슬롯 폭 측정 방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 슬롯의 중앙에서의 상기 폭은 상기 전기 신호의 실질적으로 일정한 임의의 값을 각각 갖는 최대치를 식별하는 단계와; 임의의 결과를 얻도록 상기 식별된 최대치중 하나의 값을 상기 웹에 투사되는 전체광을 나타내는 값으로 제산하는 단계와; 상기 결과를 상기 수평 피치 거리와 승산하는 단계에 의해 계산되는 것을 특징으로 하는 슬롯 폭 측정 방법.
  20. 개구를 갖는 물질의 시트의 특성을 측정하는 방법에 있어서, 상기 물질의 시트의 제1측면에 적어도 하나의 탐사 레이저 빔을 사출하는 단계를 포함하는데, 각각의 탐사 레이저 빔은 전파의 주방향, 장축 및 단축을 구비하고, 상기 장축 및 단축은 서로 수직이고 상기 탐사 레이저 빔의 전파의 주방향에 수직이며, 상기 장축은 상기 단축보다 크고; 상기 물질의 시트내의 상기 개구를 통과하는 광의 양을 검출하는 단계와; 상기 검출된 광의 양에 기초하여 검출 신호를 생성하는 단계와; 상기 검출 신호로부터 상기 물질의 시트의 적어도 하나의 특성을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 물질 시트 특성 측정 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 물질의 시트의 적어도 하나의 특성을 계산하는 단계는 임의의 값을 각각 갖는 상기 검출 신호의 최대치를 식별하는 단계와; 적어도 하나의 최대값을 사용하여 적어도 하나의 개구의 디멘젼을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 물질 시트 특성 측정 방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 물질의 시트의 적어도 하나의 특성을 계산하는 단계는 임의의 값을 각각 갖는 상기 검출 신호의 최소치를 식별하는 단계와; 적어도 하나의 최소값을 사용하여 적어도 하나의 개구의 디멘젼을 계산하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 물질 시트 특성 측정 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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