KR970003255A - 비휘발성 메모리 장치 - Google Patents

비휘발성 메모리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR970003255A
KR970003255A KR1019950016255A KR19950016255A KR970003255A KR 970003255 A KR970003255 A KR 970003255A KR 1019950016255 A KR1019950016255 A KR 1019950016255A KR 19950016255 A KR19950016255 A KR 19950016255A KR 970003255 A KR970003255 A KR 970003255A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
transistor
series
memory device
string
memory cell
Prior art date
Application number
KR1019950016255A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0161413B1 (ko
Inventor
이정형
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019950016255A priority Critical patent/KR0161413B1/ko
Publication of KR970003255A publication Critical patent/KR970003255A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0161413B1 publication Critical patent/KR0161413B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0483Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0408Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3404Convergence or correction of memory cell threshold voltages; Repair or recovery of overerased or overprogrammed cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772Field effect transistors
    • H01L29/78Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/788Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
    • H01L29/7881Programmable transistors with only two possible levels of programmation
    • H01L29/7883Programmable transistors with only two possible levels of programmation charging by tunnelling of carriers, e.g. Fowler-Nordheim tunnelling
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B41/00Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
    • H10B41/30Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)

Abstract

프로그램시 비선택된 셀의 동작을 방지하고, 낮은 프로그램 방지전압(Vpass)에서도 정상동작이 가능한 비휘발성 메모리장치에 관해 개시한다. 본 발명은 소오스 및 드레인을 서로 이웃하는 셀들과 공유하면서 직렬로 2개 이상 연결된 메모리셀 트랜지스터와 상기 메모리셀 트랜지스터의 타단에 직렬로 연결된 접지 선택 트랜지스터를 구비하는 제1스트링과, 상기 제1스트링과 비트라인 콘택을 통해 접속되는 제2스트링을 구비하며, 제1 및 제2스트링이 비트라인과 평행하게 반복되어형성되는 비휘발성 메모리 장치에 있어서, 상기 각각의 스트링은 메모리셀 트랜지스터에 직렬로 연결된 하나 이상의 더미(dummy) 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면 더미(dummy)트랜지스터에 의해 낮은 프로그램 방지 전압(Vpass)하에서도 비선택된 셀의 문턱전위(Vth)를 낮추게 되고 프로그램시 오동작을 방지할 수 있다.

Description

비휘발성 메모리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명에 의한 비휘발성 메모리 장치의 레이아웃도이다, 제8도는 제7도의 등가회로도이다.

Claims (5)

  1. 소오스 및 드레인을 서로 이웃하는 셀들과 공유하면서 직렬로 2개 이상 연결된 메모리셀 트랜지스터; 상기메모리셀 트랜지스터의 일단에 직렬로 연결된 스트링 선택 트랜지스터; 상기 메모리셀 트랜지스터의 타단에 직렬로 연결된 접지 선택 트랜지스터를 구비하는 제1스트링과, 상기 제1스트링과 비트라인 콘택을 통해 접속되는 제2스트링을 구비하며, 제1 및 제2스트링이 비트라인과 평행하게 반복되어 형성되는 비휘발성 메모리 장치에 있어서, 상기 각각의 스트링은 메모리셀 트랜지스터에 직렬로 연결된 하나 이상의 더미(dummy) 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 더미(dummy) 트랜지스터와 메모리셀 트랜지스터는 부유게이트와 제어게이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 두 개의 스트링을 연결하는 상기 비트라인 콘택은 상기 제1 및 제2 스트링 선택 트랜지스터 사이에 구비함을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 장치.
  4. 제2항에 있어서, 기판에 형성된 채널로부터 상기 부유 게이트에 전자를 주입시키고 제거시키는 동작으로 F-N(Folwer Nordheim) 터널링(tunneling) 현상이 이용되는 메모리 셀과 더미(dummy) 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로하는 비휘발성 메모리 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 더미(dummy) 트랜지스터의 제어게이트에 프로그램 전압(Vpgm)과 동일하거나 프로그램 방지 전압(Vpass)보다 높은 전압이 인가되어 프로그램시 비선택된 셀의 채널의 전위를 일정전압까지 부스팅시켜, 비선택된 셀의 문턱전압(Vth)의 증가를 방지하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950016255A 1995-06-19 1995-06-19 비휘발성 메모리 장치 KR0161413B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950016255A KR0161413B1 (ko) 1995-06-19 1995-06-19 비휘발성 메모리 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950016255A KR0161413B1 (ko) 1995-06-19 1995-06-19 비휘발성 메모리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970003255A true KR970003255A (ko) 1997-01-28
KR0161413B1 KR0161413B1 (ko) 1999-02-01

Family

ID=19417478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950016255A KR0161413B1 (ko) 1995-06-19 1995-06-19 비휘발성 메모리 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0161413B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100441586B1 (ko) * 2001-03-29 2004-07-27 가부시끼가이샤 도시바 반도체 기억 장치
KR100732391B1 (ko) * 2004-04-07 2007-06-27 매그나칩 반도체 유한회사 비휘발성 메모리 소자의 제조 및 동작 방법
KR100754894B1 (ko) * 2005-04-20 2007-09-04 삼성전자주식회사 더미 메모리 셀을 가지는 낸드 플래시 메모리 장치
KR100784862B1 (ko) * 2006-01-09 2007-12-14 삼성전자주식회사 더미 셀을 포함하는 플래시 메모리 장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101478149B1 (ko) * 2008-10-20 2015-01-05 삼성전자주식회사 더미 트랜지스터를 갖는 플래시 메모리 장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100441586B1 (ko) * 2001-03-29 2004-07-27 가부시끼가이샤 도시바 반도체 기억 장치
KR100732391B1 (ko) * 2004-04-07 2007-06-27 매그나칩 반도체 유한회사 비휘발성 메모리 소자의 제조 및 동작 방법
KR100754894B1 (ko) * 2005-04-20 2007-09-04 삼성전자주식회사 더미 메모리 셀을 가지는 낸드 플래시 메모리 장치
US8228738B2 (en) 2005-04-20 2012-07-24 Samsung Electronics Co., Ltd. NAND flash memory device having dummy memory cells and methods of operating same
KR100784862B1 (ko) * 2006-01-09 2007-12-14 삼성전자주식회사 더미 셀을 포함하는 플래시 메모리 장치
US8149620B2 (en) 2006-01-09 2012-04-03 Samsung Electronics Co., Ltd. Flash memory device having dummy cell
US8358544B2 (en) 2006-01-09 2013-01-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Flash memory device having dummy cell

Also Published As

Publication number Publication date
KR0161413B1 (ko) 1999-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960003398B1 (ko) 소거모드시에 워드선에 부전압을 인가하는 행디코더회로를 갖춘 불휘발성 반도체기억장치
KR100297602B1 (ko) 비휘발성메모리장치의프로그램방법
US8045386B2 (en) Methods and apparatus for programming a memory cell using one or more blocking memory cells
US7512016B2 (en) Method of programming and erasing a p-channel be-SONOS NAND flash memory
KR100359357B1 (ko) 비휘발성 반도체 메모리 장치
TWI394163B (zh) 減少記憶體裝置中程式干擾之影響之方法與裝置
JP3843187B2 (ja) ナンドタイプセルアレーを含む不揮発性メモリ装置のプログラム方法
US7751243B2 (en) Semiconductor memory device provided with MOS transistor having charge accumulation layer and control gate and data write method of NAND flash memory
US20050254309A1 (en) Program method of non-volatile memory device
KR900011009A (ko) 낸드쎌들을 가지는 전기적으로 소거 및 프로그램 가능한 반도체 메모리장치
US5097444A (en) Tunnel EEPROM with overerase protection
KR910019060A (ko) 불휘발성 반도체 기억장치
KR20010055368A (ko) 낸드형 플래쉬 메모리소자 및 그 구동방법
US20110096609A1 (en) Novel punch-through free program scheme for nt-string flash design
KR970017670A (ko) 비휘발성 메모리소자
KR100390145B1 (ko) 불휘발성 반도체 메모리 장치의 프로그램 방법
KR100475541B1 (ko) 낸드 플래시 메모리 테스트 구조 및 이를 이용한 낸드플래시 메모리 채널 전압 측정 방법
US6822910B2 (en) Non-volatile memory and operating method thereof
KR101102505B1 (ko) 비휘발성 메모리 장치의 프로그램 방법
KR930005031A (ko) 낸드형 플래쉬 메모리의 과도 소거 방지 장치 및 방법
US5815438A (en) Optimized biasing scheme for NAND read and hot-carrier write operations
KR100988121B1 (ko) 불휘발성 메모리소자의 프로그램 방법
KR20090019718A (ko) Nand형 불휘발성 반도체 메모리
KR970003255A (ko) 비휘발성 메모리 장치
KR100655944B1 (ko) 신뢰성을 개선하기 위하여 eeproms을 소거하는동안 감소된 일정한 전계를 제공하는 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20060728

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee