KR960037104A - 폐가스 정화 장치를 갖춘 배출 시스템 및 이의 운전 방법 - Google Patents

폐가스 정화 장치를 갖춘 배출 시스템 및 이의 운전 방법

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KR960037104A
KR960037104A KR1019960012628A KR19960012628A KR960037104A KR 960037104 A KR960037104 A KR 960037104A KR 1019960012628 A KR1019960012628 A KR 1019960012628A KR 19960012628 A KR19960012628 A KR 19960012628A KR 960037104 A KR960037104 A KR 960037104A
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KR
South Korea
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vacuum pump
pump device
exhaust system
gas
purifier
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KR1019960012628A
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하우프 알프레드
킨지그 볼케르
Original Assignee
하우프 알프레드
에바라 저머니 게엠베하
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46Removing components of defined structure
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46Removing components of defined structure
    • B01D53/68Halogens or halogen compounds

Abstract

폐가스 정화 장치를 가지는 배출 시스템(1)은 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4)와 이것 뒤에 연결된, 이 진공 펌프 장치(4)에 의해 제공되는 유체 매체를 위한 정화 장치(10)로 이루어진다. 가스 연결 라인(9)에서 응축을 피하기 위해 그리고 상기 배치 자리를 줄이기 위해 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4)와 적어도 하나의 정화 장치(10)가 하나의 구성 유니트로 되고, 이 진공 펌프 장치(4)와 정화 장치(10) 사이에 배열된 가스 연결라인(9)이 가능한 최단 거리로 놓여 적어도 본질적으로는 외부의 열 공급 없이 상기 진공 펌프 장치(4)의 응축열에 의해 일정 온도로 유지되고, 이 온도는 상기 응축가능한 성분의 응축 온도 위에 있다. 더욱이 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4) 위에 이 진공 펌프 장치(4)와 정화 장치(10)를 위한 중앙 제어장치(16)가 배열될 수 있다. 운전 시에 상기 정화 장치(10)는 약 80℃, 바람직하게는 적어도 160°C의 유체의 유입 온도로 운전된다.

Description

폐가스 정화 장치를 갖춘 배출 시스템 및 이의 운전 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 완전한 배출 시스템의 부분 정면도, 제2도는 제1도에 따른 배출 시스템의 변형예의 하측 부분도.

Claims (14)

  1. 상기 실내온도 이상으로 응축가능한 성분으로 폐가스를 정화하기 위한 폐가스 정화 장치, 흡입 라인(7)과 가스-연결 라인(9) 사이에 적어도 팩터 5의 압력차의 형성을 위한 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4) 및 상기 진공 펌프 장치(4)에 의해 제공되는 유체 매체를 위한 압소바, 연소로, 가스 워셔, 가스 반응기 및 중화기 그룹으로 된 적어도 하나의 장치를 가지는 적어도 하나의 정화 장치를 가진 배출 시스템에 있어서, a) 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4)와 적어도 하나의 정화 장치(10)가 하나의 구성 유니트로 되고, b) 상기 가스-연결라인(9)이 근본적으로 외부의 열 공급 없이 진공 펌프 장치(4)의 압축 열에 의해, 응축가능한 성분의 응축온도 위에 있는 온도에서 유지되는 길이로 제한됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진공 펌프 장치(4)와 상기 정화 장치(10)가 공동의 기본 프레임(2)을 가짐을 특징으로 하는 배출 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공동의 기본 프레임(2)이 바퀴(3)를 가진 이동 구조물로서 형성되어 있음을 특징으로 하는 배출 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 진공 펌프 장치(4)와 상기 정화 장치(10)가 가상의 직방체 내에 배열되어 있고, 이의 수평 횡단면이 기본 프레임의 외곽에 의해 정해짐을 특징으로 하는 배출 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4) 위에 이 진공 펌프 장치(4)와 상기 정화 장치(10)를 위한 중앙 제어 장치(16)가 배열됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 진공 펌프 장치(4)위에 진공 펌프 장치(4)와 정화 장치(10)의 운전 변수를 적어도 일부를 위한 디스플레이 장치(18)가 배열됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 이 진공 펌프 장치(4)는 10-2mbar과 1100mbar 사이의 압력 범위에서 작동하는 3 날개의 건조 회전자-펌프(4b)를 가짐을 특징으로 하는 배출 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 폐가스의 흐름 방향으로 볼 때-상기 3 날개 건조 회전자-펌프(4b) 앞에 제1단계로서 루츠 펌프(4a)가 연결되고, 이것은 10-3mbar 과 10mbar 사이의 압력 범위에서 작동함을 특징으로 하는 배출 시스템.
  9. 제2항에 있어서, 상기 정화 장치(10)는 수직의 주축(A-A)을 가지고 상기 기본 프레임(2) 위에 배열됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 정화 장치(10)가 정화할 폐가스를 위한 공급 라인(9a), 가연성 가스 공급 라인(11), 공기 공급 라인(23) 및 세척액을 위한 공급 라인(24)을 가지는 연소로(21)를 구비하며, 이 연소로(21) 아래 가연성 가스 및 세척액의 접촉을 위한 반응 챔버(26)가 배열됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 순환되는 세척액을 위한 수집 용기(25)가 상기 반응 챔버(26) 아래 상기 진공 펌프 장치(4) 옆에 배열됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  12. 제10항에 있어서, 상기 가스-연결 라인(9) 안에 전환 밸브(22)가 배열되고, 이것을 통해 상기 폐가스가 선택적으로 상기 연소로(21)에 그리고 상기 폐가스 라인(12)에 제공될 수 있음을 특징으로 하는 배출 시스템.
  13. 제5항에 있어서, 상기 내장된 제어 장치(16)에 의해 작동되는 차단 밸브(48)가 상기 진공 펌프 장치(4)의 흡입측에 상기 구성 유니트 내에 배열됨을 특징으로 하는 배출 시스템.
  14. 상기 정화 장치(10)가 약 80℃, 바람직하게는 적어도 160℃의 유체의 유입 온도로 운전됨을 특징으로 하는 운전 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960012628A 1995-04-25 1996-04-24 폐가스 정화 장치를 갖춘 배출 시스템 및 이의 운전 방법 KR960037104A (ko)

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DE19515145A DE19515145C1 (de) 1995-04-25 1995-04-25 Evakuierungssystem mit Abgasreinigung und Betriebsverfahren hierfür
DE19515145.3-43 1995-04-25

Publications (1)

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29712026U1 (de) 1997-07-09 1998-11-12 Ebara Germany Gmbh Brenner für die Verbrennung von Abgasen mit mindestens einer kondensationsfähigen Komponente
DE102006027882B4 (de) * 2005-09-02 2009-04-30 Clean Systems Korea Inc., Seongnam Wäscher zum Behandeln von Halbleiter-Abgas
DE102015106718A1 (de) 2015-04-30 2016-11-03 Das Environmental Expert Gmbh Vorrichtung zur Behandlung von schädlichen Abgasen aus einer Vakuum-Prozessanlage

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1340876A (en) * 1970-06-24 1973-12-19 British Oxygen Co Ltd Vacuum a-paratus
DE3264494D1 (en) * 1981-03-25 1985-08-08 Euratom Device for sampling and testing aerosols taken in by living beings
DE4314942A1 (de) * 1993-05-06 1994-11-10 Ahlbrandt Andreas Abscheider für insbesondere Ozon aus Gas

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ATE183405T1 (de) 1999-09-15
DE59602765D1 (de) 1999-09-23
EP0739650B1 (de) 1999-08-18
DE19515145C1 (de) 1996-11-07
EP0739650A3 (de) 1997-02-19

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