KR960030297A - 전자빔원의 제조 및 활성화 방법과, 전자빔원을 포함한 화상 생성 장치의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 전자빔원을 제조할시에 활성화를 행한다. 활성화는 다수의 전자 방출 소자를 다수의 그룹으로 나누어 각 그룹에 전압을 순차로 인가시킴으로써 다수의 전자 방출 소자에서 활성화 물질을 생성한다.

Description

전자빔원의 제조 및 활성화 방법과, 전자빔원을 포함한 화상 생성 장치의 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 멀티 SCE형 전자 방출 소자의 활성화 장치의 구성을 도시하는 블럭도, 제2도는 제1도의 행 선택기에 대한 상세도, 제3도는 제1실시예에 따른 행 스위칭의 타이밍을 도시하는 타이밍 챠트, 제4도는 본 발명의 제2실시예 따른 멀티 SCE형 전자 방출 소자의 활성화 장치의 구성을 도시하는 블럭도, 제5도는 제2실시예에 따른 행 스위칭의 타이밍을 도시하는 타이밍 챠트.

Claims (45)

1. 전자빔원의 제조 방법에 있어서, 다수의 전자 방출 소자들을 다수의 그룹으로 나누어 상기 각 그룹에 전압을 순차로 인가시킴으로써 상기 다수의 전자 방출 소자에서 활성화 물질을 생성하는 활성화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 각 그룹으로의 상기 순차적인 전압인가는 다수회 반복되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 각 그룹에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압 펄스를 가지며, 상기 어느 한 그룹에인가되는 펄스 간격동안 상기 나머지 그룹에 펄스가 인가되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 각 그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어 있으며, 상기 전압인가는 상기 공통배선의 양단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 각 그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어 있으며, 상기 전압인가는 상기 공통배선의 한 단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 다수의 전자 방출 소자들은 다수의 행방향 배선과 다수의 열방향 배선을 갖는 매트릭스로 배선되어 있으며, 상기 다수의 전자 방출 소자들로의 상기는 전압인가는 상기 각 행방향 배선에 의해 순차로 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 각 행방향 배선에 의해 순차히 행해지는 상기 전압인가는 다수회 반복되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
8. 제6항에 있어서, 상기 각 행방향 배선에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압 펄스를 가지며, 상기 어느 한배선에 인가되는 펄스 간격동안 상기 나머지 배선에 펄스가 인도되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
9. 제6항에 있어서, 상기 전입인가는 상기 행방향 배선의 양단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의제조 방법.
10. 제6항에 있어서, 상기 전압인가는 상기 행방향 배선의 한단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의제조 방법.
11. 제1항에 있어서, 상기 다수의 전자 방출 소자들은 다수의 행방향 배선과 다수의 열방향 배선을 갖는 매트릭스로 배선되어 있으며, 상기 다수의 전자 방출 소자들로의 상기 전압인가는 상기 각 열방향 배선에 의해 순차로 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
12. 제11항에 있어서, 상기 각 열방향 배선에 의해 순차로 행해지는 상기 전압인가는 다수회 반복되는 것을특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
13. 제11항에 있어서, 상기 각 열방향 배선에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압 펄스를 가지며, 상기 어느한 배선에 인가되는 펄스 간격동안 나머지 배선에 펄스가 인가되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
14. 제1항에 있어서, 상기 전압인가는 상기 열방향 배선의 한단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의제조 방법.
15. 제1항에 있어서, 상기 활성화 단계는 상기 다수의 전자 방출 소자들을 다수의 제1그룹으로 나누어 상기각 제1그룹에 전압을 순차적으로 인가시킴으로써 상기 다수의 전자 방출 소자에서 활성화 물질을 생성하는 제1 활성화 단계와, 상기 다수의 전자 방출 소자들을 다수의 제2그룹으로 나누어 상기 각 제2그룹에 전압을 순차적으로 인가시킴으로써상기 다수의 전자 방출 소자에서 활성화 물질을 생성하는 제2활성화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
16. 제15항에 있어서, 상기 활성화 단계는 상기 전자 방출 소자들의 방출 전류를 검출하면서 행해지는 것을특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
17. 제15항에 있어서, 상기 활성화 단계는 상기 전자 방출 소자들의 방출 전류의 포화상태를 검출할 때 종료되는 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
18. 제15항에 있어서, 상기 각 제1그룹의 전자 방출 소자의 수는 상기 각 제2그룹의 전자 방출 소자의 수보다 많으며, 상기 제1활성화 단계는 상기 제2활성화 단계 전에 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
19. 제15항에 있어서, 상기 제1 및 제2활성화 단계에서, 상기 각 그룹에 의해 순차로 행해진 상기 전압인가는다수회 반복되어지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
20. 제15항에 있어서, 상기 제1 및 제2활성화 단계에서, 상기 각 그룹에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압펄스를 가지며, 상기 어느 한 그룹에 인가되는 펄스 간격동안 상기 나머지 그룹에 펄스가 인가되는 것을을 특징으로 하는전자빔원의 제조 방법.
21. 제15항에 있어서, 상기 각 제1 및 제2그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어있으며, 상기 전압인가는 상기 공통배선의 양반부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
22. 제15항에 있어서, 상기 각 제1 및 제2그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어있으며, 상기 전압인가는 상기 공통배선의 양반부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
23. 제15항에 있어서, 상기 각 제1 및 제2그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들은 다수의 행방향 배선 및다수의 열 방향 배선을 갖는 매트릭스로 배선 되어 있으며, 상기 제1활성화 단계에서의 상기 전압인가는 상기 각 행방향배선에 의해 순차적으로 행해지며, 상기 제2활성화 단계에서의 상기 전압인가는 상기 각 열방향 배선에 의해 순차적으로행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
24. 제23항에 있어서, 상기 활성화 단계는 상기 전자 방출 소자들의 방출 전류를 검출하면서 행해지는 것을특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
25. 제23항에 있어서, 상기 활성화 단계는 상기 전자 방출 소자들의 방출 전류의 포화상태를 검출할 때 종료되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
26. 제23항에 있어서, 상기 열방향 배선의 수는 상기 행방향 배선의 수보다 많으며, 상기 제1활성화 단계는상기 제2활성화 단계 전에 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
27. 제23항에 있어서, 상기 제1 및 제2활성화 단계에서, 상기 각 행방향 배선 또는 상기 각 열방향 배선에 의해 순차로 행해진 상기 전압인가는 다수회 반복되어지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
28. 제23항에 있어서, 상기 제1및 제2활성화 단계에서, 상기 각 행방향 배선 또는 열방향 배선에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압 펄스를 가지며, 상기 어느 한 배선에 인가되는 펄스 간격동안, 상기 나머지 배선으로 펄스가 인가되어지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
29. 제23항에 있어서, 상기 제1 및 제2활성화 단계중 어느 한 단계에서, 상기 전압인가는 상기 행방향 배선또는 열방향 배선의 양단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
30. 제23항에 있어서, 상기 제1 및 제2 활성화 단계중 어느 한 단계에서, 상기 전압인가는 상기 행방향 배선또는 열방향 배선의 한단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 제조 방법.
31. 다수의 전자 방출 소자를 갖는 전자 빔원으로부터의 전자빔의 조사에 의해 화상을 생성하는 화상 생성 유닛을 포함하는 화상 생성 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 전자빔원은 제1 내지 30항 중 어느 한 항에 따라 제조되는 것을 특징으로 하는 화상 생성 장치의 제조 방법.
32. 제31항에 있어서, 상기 화상 생성 유닛은 형광부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 화상 생성장치의 제조방법.
33. 다수의 전자 방출 소자를 갖는 전자빔원을 활성화시키기 위한 전자빔원의 활성화 방법에 있어서, 상기 다수의 전자 방출 소자를 다수의 그룹으로 나누어 상기 각 그룹에 순차적으로 전압을 인가시킴으로써 상기 다수의 전자 방출 소자에서 활성화 물질을 생성하는 활성화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
34. 제33항에 있어서, 상기 각 그룹으로의 상기 순차적인 전압인가는 다수회 반복되어지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
35. 제33항에 있어서, 상기 각 그룹에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압 펄스를 가지며, 상기 어느 한 그룹에 인가되는 펄스 간격동안 나머지 그룹에 펄스가 인가되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
36. 제33항에 있어서, 상기 각 그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어 있으며,상기 전압인가는 상기 공통배선의 양단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
37. 제33항에 있어서, 상기 각 그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어 있으며,상기 전압인가는 상기 공통배선의 한 단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
38. 제33항에 있어서, 상기 활성화 단계는 다수의 전자 방출 소자들을 다수의 제1그룹으로 나누어 상기 각 제1그룹에 전압을 순차적으로 인가하는 제1활성화 단계와, 상기 다수의 전자 방출 소자들을 다수의 제2그룹으로 나누어 상기 각 제2그룹에 전압을 순차적으로 인가하는 제2활성화 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
39. 제38항에 있어서, 상기 활성화 단계는 전자 방출 소자들의 방출 전류를 검출하면서 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
40. 제38항에 있어서, 상기 활성화 단계는 상기 전자 방출 소자들의 방출 전류의 포화상태를 검출할 때 종료되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
41. 제 38항에 있어서, 상기 각 제1그룹의 전자 방출 소자의 수는 상기 각 제2그룹의 전자 방출 소자의 수부터 많으며, 상기 제1활성화 단계는 상기 제2활성화 단계 전에 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
42. 제38항에 있어서, 상기 제1 및 제2 활성화 단계에서, 상기 각 그룹에 의해 순차로 행해진 상기 전압인가는 다수회 반복되어지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
43. 제38항에 있어서, 상기 제1및 제2활성화 단계에서, 상기 각 그룹에 인가되는 상기 전압은 다수의 전압 펄스를 가지며, 상기 어느 한 그룹에 인가되는 펄스 간격동안 상기 나머지 그룹에 펄스가 인가되는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
44. 제38항에 있어서, 상기 각 제1 및 제2그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열되어있으며, 상기 전압인가는 상기 공통배선의 양반부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.
45. 제38항에 있어서, 상기 각 제1 및 제2그룹마다, 상기 다수의 전자 방출 소자들이 공통 배선으로 배열 되어 있으며, 상기 전압인가는 상기 공통배선의 한 단부터 행해지는 것을 특징으로 하는 전자빔원의 활성화 방법.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.