KR930011090A - 전계방출 음극장치 및 그 청정화방법 - Google Patents
전계방출 음극장치 및 그 청정화방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 미소냉음극에 대해서 청정화 처리를 행하는 구성으로된 전계방출 음극장치에 관한 것이며 가열수단을 사용하지 않고 청정화 처리를 행하는 것을 목적으로 한다.
전계방출 효과에 의해서 전자를 방출하는 캐소드와 상기 캐소드에서 전자를 방출시키는 게이트전극으로 되는 전사선원을 복수개 배열하여 되는 전자선원어드레이와, 상기 전자선원어레이에 대향되게 설비되고 전자선원어레이에서 방출된 전자를 가속 및 포착하는 에노드와, 상기 전자선원어레이에서 방출된 전자를 전자선원의 방향으로 끌리게 하는 전자반발 수단을 구비하여 구성되고 캐소드의 청정화 처리시에 상기 전자반발수단을 기동하여 하나의 캐소드에서 방출된 전자를 다른 캐소드로 끌리게 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명의 제1실시예에 의한 전계방출 음극장치에 있어서의 청정화처리를 나타낸 도면.
제6도는 본 발명의 제1실시에의 동작원리를 나타낸 도면.
제7도는 본 발명의 제2실시예에 의한 전계방출 음극장치에 있어서의 청정화처리를 나타낸 도면.
제8도는 본 발명의 제2실시예의 동작을 나타낸 타이밍도.
제9도는 본 발명의 제3실시예에 의한 전계방출 음극장치에 있어서의 청정화 처리를 나타낸 도면.
제10도는 본 발명의 제3실시예의 동작을 나타낸 타이밍도.
제11도는 본 발명의 제4실시예에 의한 전계방출 음극장치에 있어서의 청정화 처리를 나타낸 도면.
Claims (11)
- 캐소드전압을 인가받아 전계방출효과에 의해서 전자를 방출하는 캐소드(15a, 15b)와, 상기 캐소드에 근접하여 형성되고 소정의 케이트전압을 인가받아 상기 캐소드에서 전자를 전계방출 효과에 의해서 방출시키는 게이트(13a, 13)를 각각 갖는 복수의 전자선 발생요소(14a, 14b)로 된 전자선원어레이(1)와 상기 전자선원어레이(1)의 캐소드에서 방출된 전자를 소정의 애노드 전압을 인가받아 포착하는 애노드(16)로된 전계방출 음극장치에 있어서 상기 전자선발생 요소의 캐소드에서 방출된 전자를 상기 전자선원어레이 방향으로 힘을 가해주는 전자반발 수단(16)을 구비한 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치.
- 제1항에 있어서, 상기 전자반발 수단(16)은 상기 애노드에 소정의 부의전압을 인가하는 전압원으로 되는것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치.
- 제2항에 있어서, 상기 전자반발수단(16)은 상기 전자설발생 요소를 청정화할때에 조작되어 상기 에노드에 상기 전압원이 발생시킨 상기 소정의 부의 전압을 인가하는 절환 수단(SW)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치.
- 캐소드전압을 인가받아 전계방출 효과에 의해서 전자를 방출하는 캐소드(33a, 33b)와 상기 캐소드에 근접하여 형성되고 소정의 게이트전압을 인가받아 상기 캐소드에서 전자를 전계방출 효과에 의해서 방출시키는 게이트(35)로 구성되는 전자선 발생요소(A-D)를 복수개 배열하여 형성된 전자 선원어레이(1)와, 상기 전자선원어레이에 대향하여 형성되고 소정의 정의 애노드 전압을 인가받아 상기 전자선원어레이중의 상기 캐소드에서 방출된 전자를 가속 및 포착하는 애노드전극(36)을 구비한 전계방출 음극장치의 정화방법에 있어서, 상기 전자선원어레이중의 한쌍의 캐소드(33a, 33b)간에 소정의 여기전압을 인가하여 상기 한쌍의 캐소드를 연결하도록 전사선을 형성하는 공정과, 상기 공정과 실질적으로 동시에 상기 애노드전극(36)에 부의 전압을 인가하는 공정으로 되는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 복수의 전자선 발생요소는 각각 복수의 전자선 발생요소를 포함하는 복수의 군(33a, 33b)으로 분할되고, 상기 여러전압은 상기 복수의 군중에 포함되는 제1전자선 발생요소군(33a)중의 캐소드와 상기 복수의 군중에 포함되는 제2전자선 발생요소군(33b)중의 캐소드간에 인가되는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 한쌍의 캐소드간에 전자선을 형성하는 상기 공정은 상기 전자선원어레이(30)의 하나의 단에서 다른단까지 인접하는 한쌍의 전자선 발생요소들(A, B)을 순차로 선택하고, 상기 선택된 한쌍의 전자선발생요소중의 캐소드간에 상기 여기 전압을 인가하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 여기전압을 인가하는 공정은 제1 및 제2전자선 발생요소(A, B)로 되는 제1전자선 발생요소쌍을 선택하고 이어서 상기 제2전자선 발생요소(B)와 제3전자선 발생요소(C)로 되는 제2전자선 발생요소쌍을 선택하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 여기전압을 인가하는 공정은 최초에 선택되는 한쌍의 전자선 발생요소에 인가하는 소정의 여기전압(Vel)을 다음에 선택되는 한쌍의 전자선 발생요소에 인가되는 소정의 여기전압(Ve2)보다도 높게 설정하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 한쌍의 캐소드간에 전자선을 형성하는 공정은 인접하는 한쌍의 전자선 밭생요소간에 반복되고 상기 소정의 여기전압(Ve1, VX)을 인가하고 그때에 상기 소정의 여기전압(Vel)의 값을 순차로 감소시키는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 캐소드전압을 인가받아 전계방출 효과에 의해서 전자를 방출하는 캐소드(44)와 상기 캐소드에 근접하여 형성되고 소정의 게이트전압을 인가받아 상기 캐소드에서 전자를 전계방출 효과에 의해서 방출시키는 게이트(45)로 구성되는 전자선발생 요소(43a, 43b)를 복수개 방출하는 형성되는 전자선원어레이(40)와, 복수의 애노드 전극요소들(48a-48f)로 분할되며, 소정의 정의 애노드전압을 인가받아 상기 전자 전원어레이의 상기 캐소드에서 방출된 전자를 포착하는 애노드(46)를 구비한 전계방출 음극장치의 청정화방법에 있어서, 상기 전자선원어레이중에서 제1전자선 발생요소(43a)와 제2전자선 발생요소(43b)로 된 한쌍의 전자선 발생요소를 선택하는 공정과 상기 제1전자선 발생요소중의 캐소드와 상기 제2전자선 발생요소중의 캐소드와의 사이에 소정의 여기전압을 인가하여 상기 한쌍의 캐소드를 연결하도록 전자선을 형성하는 공정과, 상기 공정과 실질적으로 동시에 상기 애노드전극요소에 상기 제1전자선 발생요소로부터 제2전자선 발생요소로 향하여 순차로 증가되도록 부의 전압(VH1∼VH3)을 각각 인가하는 공정으로 된 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 전자선을 형성하는 공정은 상기 제1전자선 발생요소를 포함하는 복수의 전자선 발생요소로 된 제1전자선 발생요소군(43b)을 선택하고 또 상기 제2전자선 발생요소를 포함하는 복수의 전자선 발생요소(44)로 된 제2전자선 발생요소(43b)을 선택하고 상기 제1전자선 발생요소군중의 복수의 캐소드군과 상기 제2전자선 발생요소군중의 복수의 캐소드군을 연결하게 전자선을 형성하는 공정으로 된 것을 특징으로 하는 전계방출 음극장치의 청정화 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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|---|---|---|---|---|
| JP2800879B2 (ja) * | 1994-06-21 | 1998-09-21 | 富士通株式会社 | 蛍光表示装置及びその駆動方法 |
| US5721560A (en) * | 1995-07-28 | 1998-02-24 | Micron Display Technology, Inc. | Field emission control including different RC time constants for display screen and grid |
| JP3526673B2 (ja) * | 1995-10-09 | 2004-05-17 | 富士通株式会社 | 電子放出素子、電子放出素子アレイ、カソード板及びそれらの製造方法並びに平面表示装置 |
| JP2917898B2 (ja) * | 1996-03-29 | 1999-07-12 | 日本電気株式会社 | 電界放出冷陰極素子およびその使用方法 |
| FR2756969B1 (fr) * | 1996-12-06 | 1999-01-08 | Commissariat Energie Atomique | Ecran d'affichage comprenant une source d'electrons a micropointes, observable a travers le support des micropointes, et procede de fabrication de cette source |
| EP0912990B1 (de) * | 1997-03-21 | 2003-06-04 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Gasentladungslampe mit dielektrisch behinderten elektroden |
| JP2962270B2 (ja) * | 1997-04-03 | 1999-10-12 | 日本電気株式会社 | 陰極線管の製造方法 |
| RU2000111546A (ru) * | 1997-10-01 | 2002-08-10 | Комплит Дисплей Солушнз Лимитед (Gb) | Индикатор изображения |
| US6338663B1 (en) | 1998-05-14 | 2002-01-15 | Micron Technology, Inc. | Low-voltage cathode for scrubbing cathodoluminescent layers for field emission displays and method |
| US6512335B1 (en) * | 1998-08-31 | 2003-01-28 | Candescent Technologies Corporation | Cathode burn-in procedures for a field emission display that avoid display non-uniformities |
| US6104139A (en) | 1998-08-31 | 2000-08-15 | Candescent Technologies Corporation | Procedures and apparatus for turning-on and turning-off elements within a field emission display device |
| JP2000311611A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-11-07 | Canon Inc | 画像形成装置の製造方法および、該製造方法により製造された画像形成装置 |
| JP2000315458A (ja) * | 1999-04-28 | 2000-11-14 | Toshiba Corp | 平面型画像表示装置の製造方法、および平面型画像表示装置の製造装置 |
| US6380914B1 (en) * | 1999-08-02 | 2002-04-30 | Motorola, Inc. | Method for improving life of a field emission display |
| US6364730B1 (en) | 2000-01-18 | 2002-04-02 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a field emission device and method for the operation thereof |
| FR2805663A1 (fr) * | 2000-02-25 | 2001-08-31 | Pixtech Sa | Procede de nettoyage par plasma d'un ecran plat de visualisation |
| US6387717B1 (en) * | 2000-04-26 | 2002-05-14 | Micron Technology, Inc. | Field emission tips and methods for fabricating the same |
| US6542136B1 (en) * | 2000-09-08 | 2003-04-01 | Motorola, Inc. | Means for reducing crosstalk in a field emission display and structure therefor |
| KR100763890B1 (ko) * | 2001-08-06 | 2007-10-05 | 삼성에스디아이 주식회사 | Ｃｎｔ를 적용한 전계방출표시소자의 제조방법 |
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| US20050241671A1 (en) * | 2004-04-29 | 2005-11-03 | Dong Chun C | Method for removing a substance from a substrate using electron attachment |
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| EP1739705A2 (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-03 | ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh | Continuously cleaning of the emission surface of a cold field emission gun using UV or laser beams |
| EP1746629A1 (en) * | 2005-07-22 | 2007-01-24 | ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik Mbh | Field emitter arrangement and method of cleansing an emitting surface of a field emitter |
| KR100846503B1 (ko) * | 2006-11-22 | 2008-07-17 | 삼성전자주식회사 | 전계방출소자의 에이징 방법 |
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| FR2568394B1 (fr) * | 1984-07-27 | 1988-02-12 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de visualisation par cathodoluminescence excitee par emission de champ |
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