KR910001864A - 전기 방전 소자 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

전기 방전 소자

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 캐소드와 전자 통로를 갖는 전기 방전소자의 일부분에 대한 개략적 단면도,

제2도는 제1도의 도시된 구조체의 측면도,

제3도는 캐소드와 또다른 전자 통로를 갖는 전기 방전관의 개략적 단면도.

Claims (21)

1. 전자원을 구비한 전기 방전 소자에 있어서, 캐소드는 전자 방출면을 갖고, 보조 방출 계수 δ인 전기 절연재의 벽으로 둘러싸인 공동으로 형성되어진 진공 전자 통로와 일체화되어 있고, 상기 공동은 출력구멍을 가지며, 전압원에 접속 가능한 전극수단은 동작시에 상기 캐소드로부터 출력 구멍까지의 공동내의 경로 양단에 강도 E인 전계를 인가하는 것을 특징으로 하는 전기 방전소자. (단, δ, E의 값은 공동을 통해서 전자를 이송시킬 수 있는 값이다)
2. 제1항에 있어서, 상기 캐소드는 공동 내부에 고정되는 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
3. 제1항에 있어서, 상기 캐소드는 공동 외부에 고정되며, 공동은 캐소드와 대면하는 입력 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
4. 제1. 2, 또는 제3항에 있어서, 상기 공동은 연장형태인 것을 특징으로 하는 전기 방전소자.
5. 제4항에 있어서, 상기 전자 방출 캐소드 표면과 입력 구멍의 표면은 실제로 동일한 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
6. 제1,2 또는 제3항에 있어서, 상기 출력 구멍의 표면은 전자 방출 캐소드 면보다 작은 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
7. 제6항에 있어서, 동작시에 출력 구멍을 떠나가는 전자 빔의 전류 밀도는 캐소드에서 방출된 전자 빔의 전류 밀도보다 작은 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
8. 제6항에 있어서, 동작시에 출력 구멍을 떠나는 전자 빔의 광도는 캐소드에서 방출된 전자빔의 광도보다 큰것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
9. 제1항에 있어서, 상기 캐소드에는 방출된 전자 전류를 조정하는 수단이 설치된 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
10. 제4항에 있어서, 적어도 하나의 출력 구멍은 세로축으로 연장된 공동벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
11. 제8항에 있어서, 서로 인접하여 있는 일련의 출력 구멍들은 세로축으로 연장된 공동벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
12. 제11항에 있어서, 상기 전극들은 출력 구멍측에 인접하여 설치되고, 작동시에 출력 구멍을 전기적으로 개방 또는 폐쇄하기 위해 필요한 전압으로 여기되기 위하여 여기 수단에 접속된 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
13. 제12항에 있어서, 상기 여기 수단은 출력 구멍을 여기화 하는데 적합한 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
14. 전자 빔 어드레싱 시스템에 있어서, 전자 방출기와 각각 일체화를 이루는 복수개의 인접한 수직 전자 통로 공동은 전기 절연재로된 벽으로 한정되고, 대응하는 세로축 연장 공동벽은 전기적으로 구동가능한 일련의 구멍이 설치되며, 상기 일련의 구멍은 매트릭스 배열로 구성된 것을 특징으로 하는 전자 빔 어드레싱 시스템.
15. 제14항에 있어서, 상기 방출기와 구멍은 작동시에 매트릭스 장치의 순차적인 라인 주사를 행하는 구동 수단에 접속 가능한 것을 특징으로 하는 전자 빔 어드레싱 시스템.
16. 제14항 또는 제15항에서 청구한 바와 같은 전자 빔 어드레싱 시스템을 구비한 카메라 튜브.
17. 제14항 또는 제15항에서 청구한 바와 같은 전자 빔 어드레싱 시스템을 구비한 표시관.
18. 전극 소오스로서 제1항 내지 제10항중의어느 한 항에서 청구된 바와 같은 전기 방전 소자를 구비한 전자 현미경.
19. 전기 방전 소자에 있어서, 전자 방출면이 있는 캐소드는, 각각이2차 방출 계수 δ인 전기 절연재의 벽으로된 복수개의 통로 공동과 일체화되고, 각 공동은 출력 구멍을 가지며, 전압원에 접속된 전극 수단은 작동시에 캐소드에서 출력 구멍까지의 각 공동의 경로 양단에 전계 강도 E인 전계를 인가하도록 설치되었으며, 2차 방출 계수 δ및 전계 강도 E는 전가각 공동을 투과시키도록 하는 값인 것을 특징으로 하는 전기 방전 소자.
20. 전자원으로서 제19항에서 청구한 바와 같은 전기방전 소자를 구비한 전자 빔 리소그래피용 디바이스.
21. 선행항중의 어느 한 항에 있어서, 동작시에 실효 보조 방출 계수 δeff는 약 1인 것을 특징으로 하는 디바이스.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.