NL8901390A

NL8901390A - Elektrisch ontladingselement.

Info

Publication number: NL8901390A
Application number: NL8901390A
Authority: NL
Original assignee: Philips Nv
Priority date: 1989-06-01
Filing date: 1989-06-01
Publication date: 1991-01-02
Also published as: EP0400751B1; JPH0322319A; KR910001864A; HUT53981A; HU903249D0; HU204142B; JP2860346B2; ES2083420T3; CN1047757A; DE69024406T2; DE69024406D1; EP0400751A1; CN1041972C

Description

De uitvinding heeft betrekking op een elektrisch ontladingselement met een elektronenbron. Conventionele elektrische ontladingselementen, zoals b.v. elektronenbuizen, hebben geen faciliteiten om op gelocaliseerde wijze elektronenbundels te geleiden. Daarnaast hebben ze de beperking dat hun elektronenbronnen elektronenstromen met een beperkte stroomdichtheid leveren. Voor een aantal toepassingen zou het zeer interessant zijn als er elektrische ontladingselementen beschikbaar zouden zijn met faciliteiten om op gelocaliseerde wijze elektronenbundels te geleiden, resp. om elektronenstromen met grotere stroomdichtheid te kunnen leveren. Zulke toepassingen zijn b.v. (T.V.) beeldbuizen, elektronenmicroscopen, electron beam lithografie inrichtingen.

Aan de uitvinding ligt de opgave ten grondslag aan deze wens tegemoet te komen. Een elektrisch ontladingselement met elektronenbron volgens de uitvinding wordt daartoe gekenmerkt door een kathode met een oppervlak voor het emitteren van elektronen die samenwerkt met een elektronenbundelgeleidingsholte die omgeven is door wanden van een elektrisch isolerend materiaal met een secundaire emissiecoëfficiént δ welke holte van een uitgangsopening is voorzien, waarbij met een spanningsbron verbindbare elektroderaiddelen aanwezig zijn om in bedrijf over een traject in de holte tussen de kathode en de uitgangsopening een elektrisch veld met een veldsterkte E aan te leggen, waarbij δ en E waarden hebben die elektronentransport door de holte mogelijk maken.

De uitvinding berust op het inzicht, dat elektronentransport door elektrisch isolerende pijpen (van b.v. glas, keramiek, kapton, pertinax, etc) mogelijk is mits in de lengte richting van de pijp een voldoende sterk elektrisch veld aangelegd wordt. De grootte van dit veld hangt nog af van de materiaalsoort en van de geometrie en de maten van de pijp. Het elektronentransport vindt dan plaats via een secundaire emissie proces, zodanig dat voor ieder op een holtewand aankomend elektron er gemiddeld één wordt geëmitteerd.

De omstandigheden kunnen dus zo gekozen worden dat vrijwel evenveel elektronen als de pijp binnengaan er aan de uitgang ook weer uitkomen. Hiermee is een zeer voordelige vacuüm elektronenbundel-geleider te realiseren.

Het ontladingselement volgens de uitvinding kan zeer eenvoudig van constructie zijn indien de kathode binnen de elektronenbundelgeleidingsholte is gelegen. Een interessant aspect van deze laatste uitvoeringsvorm is dat indien de uitgangsopening een oppervlak Su^t heeft dat kleiner is dan het emitterend oppervlak scath van katho<Je» de stroomdichtheid v|n de elektronenstroom die de uitgangsopening verlaat een factor catfr groter is uit dan de stroomdichtheid van de kathode.

Op alternatieve wijze kan de kathode buiten de elektronen-bundelgeleidingsholte zijn gelegen en de holte een tegenover de kathode gelegen ingangsopening hebben. In een praktische uitvoeringsvorm zijn het emitterend kathode oppervlak en het oppervlak van de ingangsopening nagenoeg aan elkaar gelijk.

Om elektronentransport over een zekere afstand mogelijk te maken is het praktisch als de holte een langgerekte vorm (pijpvorm) heeft. In een uitvoeringsvorm worden de elektronen vanuit een kathode met een emitterend oppervlak Scatjj aan één kant de pijp ingeschoten. Het ingangsoppervlak is S^n. Elders in de pijp bevindt zich een uitgangs-gat met oppervlak Su^t. Aldaar bevindt zich aan de buitenkant een electrisch geleidende elektrode. Het spanningsverschil AV tussen deze elektrode en de kathode zorgt voor het voor het transport benodigde elektrische veld.Aangezien de wanden (nagenoeg) geen stroom kunnen opnemen of leveren, zullen nagenoeg evenveel elektronen als de pijp binnengaan er aan de uitgang uitkomen. Voor de stroomdichtheid aan de uitgang geldt dan (als J^n de stroomdichtheid aan de ingang voorstelt): (1)

Indien >> Su^t, is een grote winst in stroomdichtheid mogelijk, m.a.w. op deze wijze is een ontladingselement te realiseren dat stroom met een grote stroomdichtheid kan leveren.

Een verdere uitvoeringsvorm wordt gekenmerkt, doordat de de kathode voorzien is van middelen om de te emitteren elektronenstroom te moduleren. Door te moduleren op een plaats waar de stroomdichtheid klein is, kan het moduleren met een geringere spanningszwaai geschieden dan in vergelijkbare conventionele ontladingsbuizen (met b.v. een triode) mogelijk is.

Enige uitvoeringsvoorbeelden die de voorgaande en ook nog andere aspecten van de uitvinding illustreren zullen aan de hand van de tekening worden toegelicht.

Fig. 1 toont schematisch een doorsnede door een deel van een elektrisch ontladingselement met een kathode en een elektronenbundel-geleidingsholte volgens de uitvinding;

Fig. 2 toont een zijaanzicht van de constructie van fig. 1;

Fig. 3 toont schematisch een doorsnede van een elektrische ontladingsbuis met een kathode met een alternatieve elektronenbundelgeleidingsholte;

Fig. 4 illustreert de werking van een elektronenbundelgeleidingsholte;

Fig. 5 toont een alternatieve uitvoering van een elektronenbundelgeleidingsholte;

Fig. 6 toont een aantal elektronenbundelgeleidingsholtes met een gemeenschappelijke kathode;

Fig. 7 toont een kathode die samenwerkt met een elektronenbundelgeleidingsholte met een aantal elektrisch aanstuurbare uitgangsopeningen;

Fig. 8 toont een arrangement van een aantal elektronenbundelgeleidingsholtes die samenwerken met afzonderlijk aanstuurbare kathodes;

Fig. 9 toont schematisch een elektronenmicroscoop met een elektrisch ontladingselement volgens de uitvinding;

Fig. 10 toont een kathodestraalbuis met een elektrisch ontladingselement volgens de uitvinding;

Fig. 11A, B en C tonen aspecten van een elektronenbundel adresseersysteem; en

Fig. 12 stelt een grafiek voor waarin van een voor de uitvinding geschikt materiaal de sec. emissiecoêfficiênt 5 als functie van de primaire elektronenenergie Ep is uitgezet.

Fig. 1 toont schematisch een doorsnede door een deel van een elektrisch ontladingselement 1 met een kathode 2 met een gloeidraad 3 en een door een basis 4 gedragen emitterende laag 5. De emitterende laag 5 heeft een oppervlak Scatjj waarmee hij naar een ingangsopening 6 met oppervlak S^n van een langwerpige, door wanden 7, 8, 9 van elektrisch isolerend materiaal omgeven elektronenbundelgeleidingsholte 10 gekeerd is. Dit materiaal moet een relatief hoge weerstand (hoe hoger de weerstand, hoe minder vermogen nodig is) en tenminste over een zeker gebied Ej-Ejj van primaire elektronenenergieën Ep een secundaire emissiecoêfficiênt δ > 1 hebben (zie Fig. 12). Bij voorkeur is Ej zo laag mogelijk, b.v. één of enkele malen 10 eV. O.a. glas (Ej is ongeveer 30 eV), keramiek, pertinax, kapton voldoen aan deze eis. In één van de wanden (in dit geval wand 8) is een uitgangsopening 11 met oppervlak Su^t aangebracht. Aangrenzend aan de opening 11 is een elektrode 12 aangebracht (zie ook fig. 2). Tussen de elektrode 12 en de kathode 2 wordt een spanningsverschil AV aangebracht voor het opwekken van een elektrisch veld in de lengterichting van de holte 10. Heeft dit veld een voldoend grote sterkte (die nog afhangt van het materiaal van de wanden en van de dimensionering van de holte 10) dan is elektronenbundelgeleiding in de (geëvacueerde) holte mogelijk. Het elektronentransport vindt plaats via een proces van secundaire emissie waarbij voor ieder op een wand aankomend elektron er gemiddeld één wordt geëmitteerd (Fig. 4). Nagenoeg evenveel elektronen als er bij het ingangsoppervlak 6 de holte 10 worden binnengeschoten komen er bij de uitgangsopening 11 uit omdat de elektrisch isolerende wanden een zodanig hoge weerstand hebben dat ze nagenoeg geen elektronen kunnen leveren of afstaan.

De in fig. 1 getoonde constructie representeert dus een zeer voordelige inrichting voor het geleiden van een gelocaliseerde elektronenbundel die op velerlei wijze toegepast kan worden (z.g. elektronenfiber).

Door Su£t << Scath te maken wordt, zoals hiervoor is uiteengezet, de stroomdichtheid aan de uitgang 11 hoger dan de door de kathode 2 geleverde stroomdichtheid J^n, waardoor een elektronencompressor wordt verkregen die op velerlei wijze toepasbaar is.

Echter, voor bepaalde toepassingen is van belang de helderheid B, welke evenredig is met J/ΔΕ, waarbij ΔΕ energiespreiding van de elektronen is.

Er geldt voor de helderheid Bu|t aan de uitgang (als B^n de helderheid aan de ingang is):

Voor de meeste thermische kathodes in triode configuratie geldt dat bij lage stromen ΔΕ ongeveer gelijk aan 0.2 eV is, terwijl bij stromen in de orde van mA's ΔΕ op kan lopen tot ongeveer 2 eV. De energiespreiding van de elektronen welke de uitgangsopening 11 verlaten (AE)u^t is in een bepaald geval ongeveer 4 eV. De verhouding (ΔΕ)in/(AEuit ligt in dat geval in het gebied van ongeveer 1/2 tot 1/20. Dus als S^n/ suit * 2 tot 20 is, dan is dus Buj^ > B^n>

Elektronenbundelgeleiders met S^n/Su^t = 200 zijn in het kader van de uitvinding al gerealiseerd, nog veel grotere waarden zijn mogelijk. Een helderheidswinst van 100-500 is dan realiseerbaar. Dit betekent dat de hier voorgestelde elektronencompressor zeer interessant is voor toepassing in b.v. TV-beeldbuizen, projektie TV buizen, elektronenmikroskopen, electron beam lithografie inrichtingen.

Behalve elektronenbundelgeleiding zonder versterking omvat de uitvinding ook elektronenbundelgeleiding met versterking. In het laatste geval dienen de wanden stroom te kunnen leveren. Daartoe kunnen ze b.v. voorzien zijn van lagen met een voldoend hoge secundaire emissiecoëfficiênt zodat stroomversterking door elektronenmuitiplicatie mogelijk is. Een probleem is echter dat de tot nu toe bekende lagen met een voldoend hoge secundaire emissiecoëfficiënt een relatief korte levensduur hebben. Voor bepaalde toepassingen hoeft dit geen bezwaar te zijn. In dat geval geldt voor de stroomdichtheid aan de uitgang Juit:

waarbij M is de stroomversterking door multiplicatie.

Op analoge wijze geldt voor de helderheid aan de uitgang Buj^:

Op te merken is dat het elektrische ontladingselement volgens de uitvinding al bij een relatief slecht vacuüm werkt (mits de kathode aan de ingang dan werkt); dat het moduleren van de bundelstroom aan de ingang van de buis kan geschieden met een veel geringere spanningszwaai dan gebruikelijk (b.v. ongeveer 20 V i.p.v. ongeveer 150 V); en dat de kathode zowel een thermische als een koude kathode, zoals een veldemitter of een pn emitter, kan zijn.

Fig. 3 toont een elektrische ontladingsbuis 13 met een kathode 14 en een elektronenbundelgeleidingsholte 15 van een ander type dan dat van Fig. 1. De holte 15 loopt taps toe en heeft een tegenover een ingangsopening 16 gelegen uitgangsopening 17.

Fig. 5 toont een zeer eenvoudig te construeren elektrisch ontladingselement 18 waarbij een kathode 19 binnen een elektronenbundelgeleidingsholte 20 is geplaatst. In een, in dit geval bolvormige, omhullingswand 21 bevindt zich een van een elektrode 22 voorziene uitgangsopening 23.

Fig. 6 toont een elektronenbron 27 met een gemeenschappelijke kathode 24 die samenwerkt met een aantal (in dit geval drie) elektronenbundelgeleidingsholten 26, 26', 26". Een dergelijke constructie kan b.v. gebruikt worden als elektronenbron voor een kleurenbeeldbuis, waarbij de holtes 26, 26', 26" achtereenvolgens in de elektronentransportmodus gebracht (aangestuurd) worden en de door de kathode 24 geëmitteerde elektronenstroom gemoduleerd. Een alternatief is het gebruik van een kathode 28 die samenwerkt met één elektronenbundelgeleidingsholte 29 die in plaats van één uitgangsopening is voorzien van een aantal (in dit geval drie) uitgangsopeningen 30, 30, 30' die van elektroden 31, 32, 33 voorzien zijn om ze naar wens elektrisch te “openen" of te “sluiten". (Fig. 7).

Een arrangement van rechte of gebogen, al of niet taps toelopende, elk met een eigen of met een gemeenschappelijke kathode samenwerkende elektronenbundelgeleiders 34, 35, 36 kan b.v. worden gebruikt voor het produceren van een aantal elektronenspots op een klein oppervlak. Een dergelijk arrangement kan b.v. in combinatie met een elektron-optische lens 37 met voordeel worden toegepast in een inrichting voor electron beam lithografie. (Fig. 8).

Fig. 9 toont schematisch een elektronenmicroscoop 39 en Fig. 10 een (projectie) beeldbuis 40 met als elektronenbron een ontladingselement 41 resp. 42 van het hiervoor beschreven "elektronencompressie" type. Een elektronen-bron die een grote stroomdichtheid kan leveren kan van groot voordeel zijn voor elektronenmicroscopen resp. (projectie) beeldbuizen.

Fig. 11a, b en c tonen aanzichten van een elektronenbundel adresseersysteem waarvan de toepassing in een weergeefbuis meer in detail in de tegelijk ingediende octrooiaanvrage (PHN 12927) beschreven wordt.

Nabij de bodem van een wafelvormige structuur 49 met achterwand 54 bevindt zich een kathode arrangement, b.v. een lijnkathode 55 die bijvoorbeeld in 600 apart aanstuurbare kathodes voorziet. Indien noodzakelijk, kan i.p.v. een lijnkathode een aantal afzonderlijke emitters, b.v. veld-emitters of p-n emitters, toegepast worden. Deze behoeven ieder een stroom van slechts pico- of nano- (afhankelijk van versterking) ampères te leveren zodat vele types (koude dan wel thermische) kathodes bruikbaar zijn. De emissie van deze kathodes is moduleerbaar. Vlak boven de rij 55 van kathodes bevindt zich een rij kokers, 56, 56', 56", ... enz. één koker per kathode. Deze kokers hebben wanden die gemaakt zijn van bijvoorbeeld keramisch materiaal of van loodglas, dat voor het doel van de uitvinding een geschikte elektrische weerstand heeft, en die over een bepaald gebied van primaire elektronenenergieën een secundaire emissiecoëfficiênt δ > 1 hebben.

De elektrische weerstand dient zo groot te zijn dat bij een over de lengte 1 van de kokers aan te leggen spanningsverschil, nodig voor het geleiden van bundelstromen, er zo weinig mogelijk stroom (minder dan b.v. 10 mA) in totaal in de wanden gaat lopen. Eventueel kan aan de kathodezijde van de koker de weerstand lager zijn (b.v. in de buurt van 10®Q) dan in de rest van de koker om enige versterking van de kathodestroom te verkrijgen, maar bij voorkeur is de weerstand overal hoog (b.v. in de buurt van 109Q) en wordt alle benodigde stroom uit de kathode getrokken, zodat alleen bundelgeleiding optreedt. Eén van de wanden van elke koker kan door de achterwand 54 gevormd worden. In dat geval is de achterwand b.v. een vlak substraat in een oppervlak waarvan een aantal evenwijdige holtes gevormd is.

Over alle kokers tesamen wordt in de lengterichting 1 een spanning in de orde van kv's aangelegd. Door tussen de rij 55 van kathodes en de kokers 56, 56', 56" een spanning van bijvoorbeeld 50 a 100 V aan te brengen worden elektronen vanuit de kathodes naar de kokers versneld zodat ze in de kokers secundaire elektronen genereren.

De benodigde spanning is afhankelijk van de omstandigheden, maar zal i.h.a. boven 30 V moeten liggen. De gegenereerde secundaire elektronen worden ook weer versneld en genereren nieuwe elektronen. Dit gaat door totdat verzadiging optreedt. (Deze verzadiging kan ruimteladingsverza-diging zijn en/of ontstaan door veldvervorming). Vanaf het verzadigingspunt, dat al heel gauw bereikt kan zijn, zal een constante vacuümstroom door de desbetreffende koker lopen. (Vgl. Fig. 4). Indien het wandmateriaal hoogohmig genoeg is kunnen de wanden van de kokers geen netto stroom leveren of opnemen waardoor deze stroom zelfs tot in hoge benadering gelijk is aan de binnenkomende stroom. Indien het elektrisch veld groter gemaakt worden dan de minimum waarde die nodig is om een toestand met 5eff = 1 te krijgen, dan gebeurt het volgende.

Zodra δ iets groter dan 1 is dan laadt de wand inhomogeen positief op (vanwege de zeer geringe geleiding kan deze lading niet afgevoerd worden). Hierdoor zullen de elektronen eerder de wand bereiken dan in afwezigheid van deze positieve lading, met andere woorden·, de gemiddelde energie opgenomen uit het elektrische veld in de lengterichting wordt kleiner zodat zich een toestand met een effectieve secundaire emissiecoëfficiënt = 1 instelt. Dit is een gunstig aspect omdat de precieze waarde van het veld niet belangrijk is, zolang deze maar groter is dan het eerder genoemde minimum.

De kokerwanden die tegenover de achterwand 54 liggen vormen tezamen een *stuurplaat" 50 (zie ook figuur 11B). Hierin zijn gaten 58, 58', 58" ---- enz. aangebracht. Verder is een rij stuurelektrodes 59 aanwezig aan de buitenzijde van de stuurplaat 50.

Deze stuurelektrodes 59 kunnen b.v. worden uitgevoerd, op de in fig. 11C getoonde manier (electrodes "over" de gaten), en op de in fig. 11C getoonde manier in een elektrische schakeling met een weerstandsdeler opgenomen zijn. In de uit-toestand van een stuurelektrode 59 wordt een spanning - U1 relatief ten opzichte van de locale koker potentiaal aangelegd, welke ervoor zorgt dat de elektroden de koker daar niet kunnen verlaten. Als een beeldlijn aan geschakeld moet worden dan wordt een extra potentiaal + U2 toegevoerd. Gezien het feit dat de elektronen in de kokers ten gevolge van de botsingen met de wanden een relatief lage snelheid hebben kunnen 01 en 02 betrekkelijk laag zijn. In een bepaald geval bleek met een waarde 100 V voor zowel 01 als U2 een goed resultaat bereikt te kunnen worden.

Fig. 11B toont dat elektronen die door een stuurelektrode 59 uit een door kokerwanden omgeven elektronengeleidingsholte 51 worden getrokken, naar een target 57 doorversneld kunnen worden waardoor aldus één beeldlijn tegelijk gescand kan worden.

Op te merken is nog dat de structuur 49 (zie Fig. 11A) die a.h.w. een elektronenbundel adresseermodule vormt, uit losse onderdelen, b.v. uit een achterwand 54 met uithollingen en een voorplaat 50 met gaten, of op alternatieve wijze uit één stuk gevormd kan zijn.

Verder wordt opgemerkt, dat de holtewanden uit een elektrisch isolerend materiaal kunnen bestaan dat zowel een constructieve functie als een secundaire emissiefunctie vervult. Op alternatieve wijze kunnen ze uit een elektrisch isolerend materiaal dat een constructieve functie vervult (b.v. een kunststof) bestaan op welk materiaal een laag is aangebracht die een secundaire emissiefunctie vervult, (b.v. kwarts of glas of een keramisch materiaal zoals MgO).

Claims

1. Elektrisch ontladingselement met een elektronenbron, gekenmerkt, door een kathode met een oppervlak voor het emitteren van elektronen die samenwerkt met een elektronenbundelge-leidingsholte die omgeven is door wanden van een elektrisch isolerend materiaal met een secundaire emissiecoêfficiênt δ, welke holte van een uitgangsopening is voorzien, waarbij met een spanningsbron verbindbare elektrodemiddelen aanwezig zijn om in bedrijf over een traject in de holte tussen de kathode en de uitgangsopening een elektrisch veld met een veldsterkte E aan te leggen, waarbij δ en E waarden hebben die elektronentransport door de holte mogelijk maken.

2. Ontladingselement volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de kathode binnen de elektronenbundelgeleidingsholte is gelegen.

3. Ontladingselement volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de kathode buiten de elektronenbundelgeleidingsholte is gelegen en dat de holte een tegenover de kathode gelegen ingangsopening heeft.

4. Ontladingselement volgens conclusie 1, 2 of 3, met het kenmerk, dat de holte een langgerekte vorm heeft.

5. Ontladingselement volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat het emitterend kathode oppervlak en het oppervlak van de ingangsopening nagenoeg aan elkaar gelijk zijn.

6. Ontladingselement volgens conclusie 1, 2 of 3, met het kenmerk, dat het oppervlak van de uitgangsopening kleiner is dan het emitterende kathode oppervlak.

7. Ontladingselement volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat in bedrijf de stroomdichtheid van een de uitgangsopening verlatende elektronenbundel groter is dan de stroomdichtheid van een door de kathode geëmitteerde elektronenbundel.

8. Ontladingselement volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat in bedrijf de helderheid van een de uitgangsopening verlatende elektronenbundel groter is dan de helderheid van een door de kathode geëmitteerde elektronenbundel.

9. Ontladingselement volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de kathode voorzien is van middelen om de te emitteren elektronenstroom te moduleren.

10. Ontladingselement volgens 4, met het kenmerk, dat tenminste één uitgangsopening in een in de lengterichting lopende holtewand is aangebracht.

11. Ontladingselement volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat een reeks van aangrenzende uitgangsopeningen in een in de lengterichting lopende holtewand is aangebracht.

12. Ontladingselement volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat nabij de uitgangsopeningen elektrodes zijn aangebracht die met bekrachtigingsraiddelen verbindbaar zijn om hen in bedrijf met een voor het elektrisch openen of sluiten van de openingen benodigde spanning te bekrachtigen.

13. Ontladingselement volgens conclusie 12, met het kenmerk, dat de bekrachtigingsmiddelen ingericht zijn om de uitgangsopeningen in sequentie te bekrachtigen.

14. Elektronenbundel adresseersysteem, gekenmerkt door een aantal aangrenzende, elk met een elektronenemitter samenwerkende, langgerekte elektronenbundelgeleidingsholtes die door wanden omgeven zijn, waarbij overeenkomstige, in de lengterichting lopende, holtewanden voorzien zijn van een reeks elektrisch aanstuurbare openingen, welke reeksen van openingen tezamen een matrix arrangement vormen.

15. Adresseersysteem volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat de emitters en de openingen verbindbaar zijn met aanstuurmiddelen voor het in bedrijf realiseren van een lijngewijze aftasting van het matrix arrangement.

16. Opneembuis met een elektronenbundel adresseersysteem volgens conclusie 14 of 15.

17. Weergeefbuis met een elektronenbundel adresseersysteem volgens conclusie 14 of 15.

18. Elektronenmicroscoop met een elektrisch ontladingselement volgens één van de conclusies 1-10 als elektronenbron.

19. Elektrisch ontladingselement, gekenmerkt door een kathode met een oppervlak voor het emitteren van elektronen die samenwerkt met een aantal elektronenbundelgeleidingsholten die elk omgeven zijn door wanden van elektrisch isolerend materiaal met een secundaire emissiecoëfficiênt δ, waarbij elke holte van een uitgangsopening is voorzien, waarbij met een spanningsbron verbindbare elektrodemiddelen aanwezig zijn om in bedrijf over een traject in elke holte tussen de kathode en de uitgangsopening een elektrisch veld met een veldsterkte E aan te leggen, waarbij δ en E waarden hebben die elektronentransport door de holtes mogelijk maken.

20. Inrichting voor elektron beam lithografie met een elektrisch ontladingselement volgens conclusie 19, als elektronenbron.

21. Inrichting volgens één van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat in bedrijf de effectieve secundaire emissiecoëfficiênt ongeveer gelijk aan 1 is.