KR960030105A - 연자성박막의 제조방법 - Google Patents

연자성박막의 제조방법 Download PDF

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KR960030105A
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이사무 아오쿠라
히토시 야마니시
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
    • H01F41/18—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates by cathode sputtering
    • H01F41/183—Sputtering targets therefor
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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Abstract

본 발명은, 높은 포화자속밀도를 표시한 연자성박막을, 각종의 자기헤드에 적합한 투자율로, 넓은 면적에서 이방성을 제어하면서 양산성좋게 제조할 수 있도록 하는, 연자성박막의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 질소가스를 혼입한 불활성 가스분위기속에, Fe 또는 Co를 주성분으로 하는 타겟(10)을 배설하는 동시에, N 극끼리가 배열하는 제1영역에 계속해서, S 극끼리가 배열하는 제2영역이 한쪽에 배열하도록 인라인배열된 복수의 자석으로 이루어진 자석열(13),(14)를, 타켓(10)의 표면쪽의 양사이드에, 한쪽의 자석열(13)이 다른쪽의 자석열(14)에 반대극성으로 마주보도록 배설한다. 타겟(10)을 증발원으로하는 반응성스퍼터링에 의해서 세라믹스기판(17)위에 연자성박막을 퇴적형성하는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

연자성박막의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 스퍼터장치의 측단면도, 제2도는 본 발명의 일실시예에 있어서의 스퍼터장치의 주로 자석열을 표시한 평면도.

Claims (3)

  1. 질소가스를 혼입해서 이루어진 불활성가스분위기속에 Fe 또는 Co를 주성분으로 하는 타겟을 배설하는 동시에, N 극끼리 인접하는 제1영역에 계속해서, S 극끼리 인접하는 제2영역이 한쪽에 배열하도록 인라인배열된 복수의 자석으로 이루어진 자석열을, 상기 타켓의 표면쪽의 양사이드에, 한쪽의 자석열이 다른쪽의 자석열에 반대극성으로 마주보도록 배설하고, 상기 타겟을 증발원으로하는 반응성스퍼터링에 의해서 연자성박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 연자성박막의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 가스분위기속의 질소가스의 분압이 2~10%인 것을 특징으로 하는 연자성박막의 제조방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 연자성박막이 적어도 제1 및 제2의 박막으로서 절연막을 개재해서 적층 또는 다층구성의 경우에, 제1의 박막의 형성시와 제2의 박막의 형성시에서, 가스분위기속의 질소가스의 분압을 상이하게 하는 것을 특징으로 하는 연자성박막의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960001492A 1995-01-25 1996-01-24 연자성박막의 제조방법 KR100237667B1 (ko)

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