KR960026905A - 적외선 이미징장치 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 적외선 이미징장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 강유전체박막을 실리콘 스위칭 매트릭스위에 직접 형성시켜적외선 감지부의 열손실을 최소화하기 위한 것이다.
본 발명은 적외선을 투과시키는 렌즈시스템, 상기 렌즈시스템을 투과한 적외선을 주기적으로 차단하는 초퍼, 실리콘기판위에 매트릭스 형태로 형성된 전계효과트랜지스터로 이루어진 실리콘 매트릭스 스위칭부상에 형성된 열차단층인 공기층,및 상기 공기층위에 차례로 형성된 하부전극, 강유전체박막, 상부전극으로 구성된 단위소자가 매트릭스로 구성되며, 상기적외선을 감지하는 감지소자부, 상기 감지소자부를 구동시키고 감지된 신호를 읽어들이는 구동 및 출력회로부, 상기 구동및 출력회로부로부터 출력된 신호를 영상신호로 바꾸는 비디오 프로세서부, 상기 영상신호를 표시하는 화상장치, 상기 초퍼, 구동 및 출력회로부, 비디오 프로세서부를 제어하는 타이밍 조절장치로 구성된 적외선 이미징장치를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 적외선 이미징장치의 구성을 나타낸 블럭도. 제4도는 본 발명에 의한 적외선 이미징장치의 감지소자 구성도. 제5도는 본 발명에 의한 적외선 이미징장치의 구동 및 출력회로부 구성도.
Claims (7)
- 적외선을 투과시키는 렌즈시스템, 상기 렌즈시스템을 투과한 적외선을 주기적으로 차단하는 초퍼, 상기 적외선을 감지하는 감지소자부, 상기 감지소자부를 구동시키고 감지된 신호를 읽어들이는 구동 및 출력회로부, 상기 구동및 출력회로부로부터 출력된 신호를 영상신호로 바꾸는 비디오 프로세서부, 상기 영상신호를 표시하는 화상장치, 상기 초퍼, 구동 및 출력회로부, 비디오 프로세서부를 제어하는 타이밍 조절장치로 구성된 것을 특징으로 하는 적외선 이미징장치.
- 제1항에 있어서, 상기 감지소자부는 실리콘기판위에 매트릭스 형태로 형성된 전계효과트랜지스터로 이루어진 실리콘 매트릭스 스위칭부상에 형성된 열차단층인 공기층, 및 상기 공기층위에 차례로 형성된 하부전극, 강유전체박막, 상부전극으로 구성된 단위소자가 매트릭스로 구성된 것을 특징으로 하는 적외선 이미징장치.
- 제2항에 있어서, 상기 감지소자부는 적외선을 통과시키는 윈도우가 구비된 금속케이스에 의해 진공 또는불활성가스 분위기에서 하우징된 것을 특징으로 하는 적외선 이미징장치.
- 제3항에 있어서, 상기 금속케이스의 윈도우는 상기 감지소자부의 전면에 위치함을 특징으로 하는 적외선이미징장치.
- 제1항에 있어서, 상기 구동 및 출력회로부는 실리콘기판위에 매트릭스 형태로 형성된 전계효과트랜지스터들로 이루어진 실리콘 매트릭스 스위칭부와, X-어드레싱회로부, Y-어드레싱회로부 및 바이어스용 전원부로 이루어진 것을특징으로 하는 적외선 이미징장치.
- 제1항에 있어서, 상기 타이밍 조절장치는 상기 초퍼와 상기 X-어드레싱회로 및 Y-어드레싱회로를 동기화시켜 구동하는 것을 특징으로 하는 적외선 이미징장치.
- 실리콘기판 표면 소정부위에 불순물의 확산에 의해 소오스 및 드레인을 형성하는 단계와, 상기 실리콘기판상에 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층을 선택적으로 식각하여 상기 소오스 및 드레인을 노출시키는 윈도우를 형성하는 단계, 상기 소오스 및 드레인 사이의 절연층 상부와 상기 드레인영역상의 윈도우 상부에 게이트 전극과 드레인패드를각각 형성하는 단계, 상기 게이트전극 상부에 희생층을 형성하는 단계, 상기 소오스영역상의 윈도우 및 상기 희생층 상부에 걸쳐서 하부전극을 형성하는 단계, 상기 희생층을 제거하여 공기층을 형성하는 단계, 상기 하부전극 상부에 강유전체박막을 형성하는 단계, 상기 강유전체박막 상부에 상부전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는적외선 이미징장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940035564A KR0144258B1 (ko) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | 적외선 이미징장치 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940035564A KR0144258B1 (ko) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | 적외선 이미징장치 및 그 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960026905A true KR960026905A (ko) | 1996-07-22 |
| KR0144258B1 KR0144258B1 (ko) | 1998-07-01 |
Family
ID=66688201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940035564A KR0144258B1 (ko) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | 적외선 이미징장치 및 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0144258B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000004151A (ko) * | 1998-06-30 | 2000-01-25 | 전주범 | 볼로메터의 개선된 구조 |
-
1994
- 1994-12-21 KR KR1019940035564A patent/KR0144258B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000004151A (ko) * | 1998-06-30 | 2000-01-25 | 전주범 | 볼로메터의 개선된 구조 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0144258B1 (ko) | 1998-07-01 |
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