KR960013958A - 컨베이어 - Google Patents

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Publication number
KR960013958A
KR960013958A KR1019940016857A KR19940016857A KR960013958A KR 960013958 A KR960013958 A KR 960013958A KR 1019940016857 A KR1019940016857 A KR 1019940016857A KR 19940016857 A KR19940016857 A KR 19940016857A KR 960013958 A KR960013958 A KR 960013958A
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KR
South Korea
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electromagnet
floating member
partition wall
magnetic
magnetic support
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Application number
KR1019940016857A
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English (en)
Inventor
요시마사 오다
신지 고야노
Original Assignee
모리토모 사다오
세이코세이키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
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  • Power Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Control Of Conveyors (AREA)

Abstract

본 발명은 전력소비가 적고 가스발생량이 감소된 컨베이어에 관한 것이다. 상기 컨베이어는, 작업편을 적재하는 운반봉과, 슬리이브형 칸막이벽을 통해 부유부재와 자기적으로 연결된 운반동체와, 부유부재의 위치를 검색하기 위한 센서부와, 부유부재를 지지하기 위한 자력을 발생시키는 전자석과, 전자석과 대향하도록 부유부재상에 배설된 타겟과, 전자석, 타겟 및 센서부로 구성되는 자기지지부에 가해지는 힘의 균형을 조절하기 위한 조정수단으로 구성되어 있다. 이와 같이 구성된 컨베이어에 의하면, 운반물품의 하중(즉, 작업편의 중량)이 변하더라도, 부유부재와 센서부간의 공간을 조정수단에 의해 소량의 자기 전류에 의해서 조절가능한 범위내로 조절할 수 있다. 따라서, 열발생량이 감소되어 진공과 접촉상태로 유지되는 슬리브형 부재의 온도를 하강시키므로써 가스배출량이 감소된다. 또한, 운반가능 중량은 감소시킴이 없이 전자석의 수를 줄일 수 있다.

Description

컨베이어
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 컨베이어의 정면도,
제2도는 제1도에 도시한 컨베이어의 운반동체의 후단부중 일부를 도시하는 횡단면도,
제5도는 본 발명의 제2실시예에 의한 컨베이어의 운반동체의 전단부중일부를 도시하는 횡단면도,
제6도는 본 발명의 제3실시예에 의한 컨베이어의 정면도.

Claims (6)

  1. 슬리이브형 칸막이 벽과, 작업편을 적재하는 운반봉과, 상기 칸막이벽의 원주외표면측에 위치하며 상기 운반봉을 가진 부유부재와, 상기 간막이벽의 원주내표면측에 위치하며 상기 칸막이벽의 양 단부 사이를 운동할 수 있는 운반동체와, 상기 부유부재를 지지하는 자력을 발생시키기 위해 상기 운반동체상에 배설된 전자석과, 상기 부유부재의 위치를 검출하기 위한 센서부와, 상기 전자석과 대향하도록 상기 부유부재상에 배설된 자석물질로 이루어진 타겟과, 상기 전자석, 상기 타겟 및 상기 센서부로 구성되는 자기지지부와, 상기 작업편에 의해 상기 자기지지부에 가해지는 힘의 균형을 조절하기 위한 조정수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자기지지부중 적어도 하나의 전자석의 일부에 영구자석을 구비한 것을 특징으로 하는 컨베이어.
  3. 슬리이브형 칸막이형과, 작업편을 적재하는 운반봉과, 상기 칸막이벽의 원주외표면측에 위치하며 일측에 상기 운반봉을 갖춘 부유부재와, 상기 칸막이벽의 원주내표면측에 위치하며 상기 칸막이벽의 양 단부 사이를 운동할 수 있는 운반동체와, 상기 부유부재를 지지하는 자력을 발생시키기 위해 상기 운반동체의 운반봉측상의 일단부의 하측에, 그리고 상기 운반동체의 타측상의 일단부의 하측과 상측에 배설된 전자석과, 상기 부유부재의 위치를 검출하기 위한 센서부와, 상기 전자석과 대향하도록 상기 부유부재상에 배설된 자석물질로 이루어진 타겟과, 상기 전자석, 상기 타겟 및 상기 센서부로 구성되는 자기지지부로 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어.
  4. 제3항에 있어서, 상기 자기지지부중 적어도 하나의 전자석의 일부에 영구자석을 구비한 것을 특징으로 하는 컨베이어.
  5. 슬리이브형 칸막이형과, 양단부에 작업편을 적재하는 운반봉과, 상기 칸막이벽의 원주외표면측에 위치하며 상기 운반봉과 연결되는 부유부재와, 상기 칸막이벽의 원주내표면측에 위치하며 상기 칸막이벽의 양단부 사이를 운동할 수 있는 운반동체와, 상기 부유부재를 지지하는 자력을 발생시키기 위해 상기 운반동체의 양단부의 하측에 배설된 전자석과, 상기 부유부재의 위치를 검출하기 위한 센서부와, 상기 전자석과 대향하도록 상기 부유부재상에 배설된 자석물질로 이루어진 타겟과, 상기 전자석, 상기 타겟 및 상기 센서부로 구성되는 자기지지부로 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어.
  6. 제5항에 있어서, 상기 자기지지부중 적어도 하나의 전자석의 일부에 영구자석을 구비한 것을 특징으로 하는 컨베이어.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940016857A 1993-07-13 1994-07-13 컨베이어 KR960013958A (ko)

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JP17331293 1993-07-13
JP93-173312 1993-07-13
JP94-135902 1994-06-17
JP6135902A JPH0779507A (ja) 1993-07-13 1994-06-17 搬送装置

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JPH0779507A (ja) 1995-03-20

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