KR960010589A - 세라믹 접합체 및 세라믹 접합체의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
세라믹 소지의 접합체를 제조하는 방법은, 결합할 세라믹 소지를 기계가 공하여 평균 표면조로(Ra)가 0.2㎛을 넘지 않고 평활도가 0.2㎛을 넘지 않는 기걔가공 표면을 형성하는 단계와, 기계가공 표면의 적어도 하나에 접합촉진제를 함유한 용액을 가하는 단계와, 기계가공 표면을 서로 접촉시켜 어셈블리를 제조하는 단계, 및 어셈블리를 열처리하여 결합체를 제조하는 단계로 이루어진다. 조도와 평할도는 0.2㎛ 이하인 것이 바람직하다. 접합 촉진제는 하나이상의세라믹 소지에 적용할수 있는 소결촉진제인것이 바람직하다. 세라믹소지는 알루미늄나이트라이드 및 실리콘 나이트라이드로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그이상의 재료인것이 바람직하다. 나이트라이드 및 실리콘 아니트라이드로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그 이상의 접합촉진제인 것이 바람직하다, 접합체에 있어서,, 접합계면을 따라 재료인 것이 바람직하다. 상기 접합 촉진제는 이트륨 기지 및 이테르를 기지로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그 이상의 접합촉진제인 것이 바람직하다. 접합체에 있어서, 접합계면을 따라 접합촉진체의 성분이 풍부한 층이 형성도기, 세라믹 입자가 상기 접합계면을 가로질서서 성장되어 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (14)
- 고상 결합법으로 접합된 세라믹 소지의 접합체로서, 상기 접합체의 접합계면을 따라 접합촉진체의 성분이 풍부한 층이 형성되고, 세라믹 입자가 상기 결합계면을 가로질서서 성장되어 있음을 특징으로 하는 세라믹 접합체.
- 제1항에 있어서, 상기 접합체를 인장 파단시험하였을 때, 접합계면이 아닌 다른 계면를 따라 파단됨을 특징으로 하는 세라믹 접합체.
- 제1항에 있어서, 상기 접합촉진체가 상기 세라믹 소지의 적어도 하나에 적용할 수 있는 소결촉진제임을 특징으로 하는 세라믹 접합체.
- 제3항에 있어서, 상기 접합촉진제가 상기 세라믹 소지의 적어도 하나에 포함된 소결촉진체임을 특징으로 하는 세라믹 접합체.
- 제1항에 있어서, 상기 세라믹 입자가 알루미늄 나이트라이드 및 실리콘 나이트라이드로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그 이상의 재료로 되어 있으며, 상기 접합촉진제는 이트륨 기지 및 이테르븀 기지로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그 이상의 접합촉진제임을 특징으로 하는 세라믹 젭합체.
- 제1항에 있어서, 상기 접합체가 부식 가스 및 피막 생성 가스로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그 이상의 가스에 노출되는 가열장치이며, 상기 세라믹 소지중의 하나는 그 내부에 금속부재를 구성하여 인가된 전력에 의해 가열되는 가열기이고, 세라믹 소지중 다른 하나는 상기 가열기에 접합된 관상체이며, 상기 금속부재는 강기 관상체의내부 공간에 노출됨을 특징으로 하는 세라믹 접합체.
- 고장 접합법으로 세라믹 소지의 접합체를 제조하는 방법으로서, 접합할 세라믹 소지를 기계가공하여 평균표면조도(Ra)가 0.2㎛을 넘지 않고 평활도가 0.2㎛을 넘지 않는기계가공 표면을 형성하는 단계와, 상기 기계가공 표면의 적어도 하나에 접합촉진제를 함유한 용액을 가하는 단계와, 상기 기계가 공 표면을 서로 접촉시켜 어셈블리를 제조하는단계, 및 상기 어셈블리를 열처리하여 접합체를 제조하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 접합할 상기 세라믹 소지를 기계가공하여 형성된 기계가공 표면의 평균표면조도(Ra)가 0.1㎛을 넘지 않고, 평활도가 0.1㎛을 넘지 않음을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.
- 7항에 있어서, 각 세라믹 소지의 접합계면을 가로질러서 세라믹 입자가 성장할 수 있도록 세라믹 소지의 세라믹 입자가 성장할 수 있는 온도보다 낮지 않은 온도에서 상기 어셈블리를 열처리함을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.
- 제9항에 있어서, 상기 세라믹 소지중 하나의 소결온도가 T℃라 할때, (T-50℃)보다 낮지 않은 온도에서 상기 어셈블리를 열처리함을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.
- 제10항에 있어서, 상기 세라믹 소지중 하나의 소결온도가 T℃라 할때, (T+50)보다 높지 않은 온도에서 상기 어셈블리를 열처리함을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 소결온도보다 높지 않은 온도에서 상기 어셈블리를 열처리함을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 접합촉진제가 상기 세라믹 소지의 적어도 하나에 사용할 수 있는 소결촉진제임을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.
- 제13항에 있어서, 상기 세라믹 소지가 알루미늄 나이트라이드 및 실리콘 나이트라이드로 구성된 군에서 선정된 하나 또는 그 이상의 재료로 된 세라믹 입자를 구성하며, 상기 접합촉진제 나이트륨 기지 및 이테르븀 기지로 구성된 군으로 선정된 하나 또는 그 이상의 접합촉진제임을 특징으로 하는 세라믹 접합체의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP94-230213 | 1994-09-01 | ||
JP6230213A JP2783980B2 (ja) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | 接合体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960010589A true KR960010589A (ko) | 1996-04-20 |
KR0148432B1 KR0148432B1 (ko) | 1998-11-16 |
Family
ID=16904343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950022341A KR0148432B1 (ko) | 1994-09-01 | 1995-07-26 | 세라믹 접합체 및 세라믹 접합체의 제조방법 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5721062A (ko) |
EP (1) | EP0699643B1 (ko) |
JP (1) | JP2783980B2 (ko) |
KR (1) | KR0148432B1 (ko) |
DE (1) | DE69516772T2 (ko) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2783980B2 (ja) * | 1994-09-01 | 1998-08-06 | 日本碍子株式会社 | 接合体およびその製造方法 |
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TW200633947A (en) | 2005-02-16 | 2006-10-01 | Ngk Insulators Ltd | Joined body and manufacturing method for the same |
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JP6078450B2 (ja) | 2012-10-26 | 2017-02-08 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置用部材及びその製法 |
KR102276101B1 (ko) | 2013-12-27 | 2021-07-13 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 접합재 조성물, 질화알루미늄 접합체 및 그 제법 |
JP6370062B2 (ja) * | 2014-02-28 | 2018-08-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化アルミニウム接合体およびその製造方法 |
CN110959306B (zh) | 2018-07-13 | 2022-02-11 | 日本碍子株式会社 | 陶瓷加热器 |
JP6959201B2 (ja) | 2018-08-29 | 2021-11-02 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4920370B1 (ko) * | 1970-12-28 | 1974-05-24 | ||
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EP1120817B8 (en) * | 1991-03-26 | 2007-10-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Use of a corrosion-resistant member |
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-
1994
- 1994-09-01 JP JP6230213A patent/JP2783980B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-06-07 US US08/487,690 patent/US5721062A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-06 DE DE69516772T patent/DE69516772T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-06 EP EP95304726A patent/EP0699643B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-26 KR KR1019950022341A patent/KR0148432B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-10-24 US US08/957,067 patent/US6071465A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0873280A (ja) | 1996-03-19 |
DE69516772D1 (de) | 2000-06-15 |
EP0699643A2 (en) | 1996-03-06 |
KR0148432B1 (ko) | 1998-11-16 |
DE69516772T2 (de) | 2001-04-05 |
US5721062A (en) | 1998-02-24 |
US6071465A (en) | 2000-06-06 |
JP2783980B2 (ja) | 1998-08-06 |
EP0699643A3 (en) | 1996-09-25 |
EP0699643B1 (en) | 2000-05-10 |
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FPAY | Annual fee payment |
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