KR960010563A - 저반사 코팅유리 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

광흡수층을 이용하여 명암대비효과가 매우 향상된 간단한 구조의 저반사 코팅유리 및 그 제조방법이 개시된다.
본 발명에 의한 저반사 코팅유리는 투명기판상에 제1광흡수층을 구비하여 이루어지며, 상기 제1광흡수층상에 저굴절박막층을 더 포함할 수 있으며, 상기 투명기판과 제1광흡수층사이에 고굴절박막층을 더 포함할 수 있다. 또한 상기 투명기판과 고굴절박막층 사이에 제2광흡수층을 더 포함할 수도 있다. 상기 광흡수층은 질화티타늄, 질화크롬등의 질화물과 산화니켈등의 산화물이 사용된다.
또한 본 발명에 의한 저반사 코팅유리의 제조방법은 스퍼터링에 의해 투명기판상에 광흡수층을 단계를 구비하여 이루어진다.
저반사효과, 명암대비상승효과, 정전기방지특성 및 전자파차폐 특성이 매우 우수하며, 제막속도가 빨라 연속생산이 가능하다.

Description

저반사 코팅유리 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (17)

  1. 투명기판 위에 제1광흡수층을 구비하여 이루어진 저반사 코팅유리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1광흡수층상에 저굴절박막층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  3. 제2항에 있어서, 상기 투명기판과 제1광흡수층 사이에 고굴절박막층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  4. 제3항에 있어서, 상기 투명기판과 상기 고굴절박막층 사이에 제2광흡수층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 투명기판은 무기질 유리기판 또는 유기질 유리기판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  6. 제1항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 제1광흡수층 및 제2광흡수층은 질화티타늄(TiNx) 또는 질화크롬(CrNx)을 포함하는 광흡수층 질화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1광흡수층의 두께는 50∼250Å의 범위내이며, 상기 제1광흡수층 및 제2광흡수층의 두께의 합은 100∼500Å의 범위내인 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느한항에 있어서, 상기 제1광흡수층 및 제2광흡수층은 산화니켈(NiOx)을 포함하는 광흡수성 산화물로 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1광흡수층의 두께는 50∼150Å의 범위내이며, 상기 제1광흡수층 및 제2광흡수층의 두께의 합은 100∼300Å의 범위내인 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  10. 제3항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 고굴절박막층은 굴절률 1.5∼2.7인 투명물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  11. 제10항에 있어서, 상기 고굴절박막층의 굴절률은 1.5∼2.5범위내인 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  12. 제10항에 있어서, 상기 고굴절박막층은 규소(Si), 티타늄(Ti), 주석(Sn), 토륨(Th), 인듐(In), 세륨(Ce), 아연(Zn), 지르코늄(Zr), 니오븀(Nb), 탄탈(Ta), 알루미늄(Al), 아연/주석(Zn/Sn), 인듐/주석(In/Sn)등의 산화물, 및 규소(Si), 알루미늄(Al), 니오븀(Nb)의 질화물로 이루어진 군으로부터 선택되어진 적어도 하나이상의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  13. 제12항에 있어서, 상기 고굴절박막층의 두께는 1,000∼1,500Å의 범위내인 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  14. 제2항 내지 제4항중 어느 한항에 있어서, 상기 저굴절박막층은 이산화규소(SiO2)로 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  15. 제14항에 있어서, 상기 저굴절박막층의 두께는 700∼1,000Å의 범위내인 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리.
  16. 투명기판을 스퍼터링장치의 코팅챔버에 넣은 후 코팅챔버를 질소분위기로 유지하는 단계; 타겟들을 연속 스퍼터링하여 상기 투명기판상에 질화물로 된 제2광흡수층, 고굴절박막층, 제1광흡수층을 차례로 적층시키는 단계; 코팅챔버를 아르곤+산소분위기로 유지한 후 스퍼터링하여 상기 제1광흡수층상에 산화물로 된 저굴절박막층을 형성시키는 단계를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리의 제조방법.
  17. 투명기판을 스퍼터링장치의 코팅챔버에 넣은 후 코팅챔버를 산소+아르곤분위기로 유지하는 단계; 타겟을 스퍼터링하여 상기 투명기판상에 산화물로 된 제2광흡수층을 형성하는 단계; 코팅챔버를 질소분위기로 유지한 후 스퍼터링하여 상기 제2광흡수층상에 질화물로 된 고굴절박막층을 형성하는 단계; 코팅챔버를 산소+아르곤분위기로 유지한 후 연속 스퍼터링하여 상기 고굴절박막층상에 산화물로 된 제1광흡수층, 제굴절박막층을 차례로 형성시키는 단계를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 저반사 코팅유리의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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