KR960007833A - 액상성장(液相成長)방법 및 장치 - Google Patents

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이가라시 스구루
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Abstract

기판과 액상성장용 요액을 접촉시키기 전에, 기판 및 용액표면을 열처리용 가스, 예를 들면 H2가스 또는 H2가스를 포함하는 가스로 열처리함으로서 표면산화막을 제거하는 것을 가능하게 하고, 이에 의해서 양호한 액상성장층을 얻을 수 있도록 한 액상성장방법 및 장치를 제공한다.
여러개의 기판을 통기구멍수단을 가지는 성장실내에 수납하고 액상성장용 용액을 칸막이판에 의해서칸막이됨과 동시에 연통부를 통해서 서로 연이어 통하는 2개이상이 연이어 통하는 분실을 가지며 또한 통기구멍수단을 가지는 용액실에 수납하고 상기 기판과 상기 액상성장용 용액을 접촉하기 전에 상기 성장실과 상기 용액실을 회전시키고, 그 연이어 통하는 분실간의 연통부를 통하여 상기 액상성장용 용액의 이동을 행하고 상기 연이어 통하는 분실 각각의 공간부의 체적의 증감을 행하도록 상기 성장실 및 상기 용액실의 열처리용 가스의 치환하게 하여 열처리를 행하게 한다.

Description

액상성장(液相成長)방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (11)

  1. 여러개의 기판을 통기구멍수단을 가지는 성장실내에 수납하고 액상성장용 용액을 칸막이판에 의해서 칸막이됨과 동시에 연이어 통하는 부를통해서 상호간에 연이어 통하는 2개이상의 분실을 가지며 또한 통기구멍수단을 가지는 용액실에 수용하고, 상기 기판과 상기 액상성장용 용액을 접촉하기 전에, 상기 성장실과 상기 용액실을 회전시키고, 그 연이어 통하는 분실사이의 연이어 통하는 부를 통해서 상기 액상성장용 용액의 이동을 행하는 연이어 통하는 분실 각각의 공간부의 체적의 증감을 행함으로써 상기 성장실 및 상기 용액실내의 열처리용 가스의 치환을 행하게 하여 열처리하는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  2. 제1항에 있어서 상기 성장실 및 용액실에 설치되는 통기구멍 수단이, 기체는 통과시키나 액체는 통과시키지 않는 구조인 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서 상기 열처리용 가스가 H2또는 H2를 포함하는 가스인 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  4. 제1항 또는 제3항중 어느 한 항에 있어서 상기 액상성장용액의 이동은 2회이상인 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  5. 여러개의 기판을 수납가능한 통기구멍수단을 가지는 성장실과 이것과 연이어 설치되고 액상성장용 용액을 수납가능한 칸막이판에 의해서 칸막이됨과 동시에 연이어 통하는 부를 통해서 서로 연이어 통하는 2개 이상의 분실을 가지며 또한 통기구멍수단을 가지는 용액실과 그 성장실과 용액실을 회전시키고 이들을 경사 또는 거꾸로 세우는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  6. 제4항에 있어서 상기 성장실과 상기 용액실의 사이에는 이동이 자유롭게 하며 또한 양실간의 개폐를 행하기 위한 홈을 가지는 슬라이드판을 구비하는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  7. 제5 또는 제6항에 있어서 상기 성장실과 상기 용액실 및 상기 슬라이드판이 탄소재료로 제작되는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  8. 제5항 제7항 중 어느 한항에 있어서 상기 성장실과 상기 용액실 및/또는 상기 슬라이드판을 원통관내에 회전이 불가능하게 지지하고 그 원통판을 회전시킴으로써 상기 성장실과 상기 용액실 및/또는 슬라이드판을 회전시키는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  9. 제8항에 있어서 상기 원통관이 열처리로의 노중심관을 겸하는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  10. 제5항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서 상기 성장실 및 상기 용액실에 설치되는 통기구멍수단은 기체는 통과시키나 액체는 통과시키지 않는 구조인 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
  11. 제10항에 있어서 상기 성장실 및 상기 용액실에 설치되는 통기구멍 수단으로 개구면적이 0.5㎟이하인 통기구멍을 그 각 실에 뚫어서 여는 것을 특징으로 하는 액상성장방법 및 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950009738A 1994-08-30 1995-04-25 액상성장 방법 및 장치 KR0167411B1 (ko)

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