KR960005858A - Bpsg막의 크리스탈디펙트 방지방법 - Google Patents
Bpsg막의 크리스탈디펙트 방지방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 소자의 제조공정 중 BPSG막의 크리스탈디펙트 방지방법에 관한 것으로, BPSG막 플로우 공정 후 웨이퍼를 공정로 내부에서 꺼낼 때 상기 공정로 내부의 온도를 600℃ 근처까지 내린 후 꺼내는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (1)
- 반도체 소자의 제조공정 중 BPSG막의 크리스탈디펙트 방지방법에 있어서, BPSG막 플로우 공정 후 웨이퍼를 공정로 내부에서 꺼낼 때 상기 공정로 내부의 온도를 600℃ 근처까지 내린 후 꺼내는 것을 특징으로 하는 BPSG막의 크리스탈디펙트 방지방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940017307A KR960005858A (ko) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | Bpsg막의 크리스탈디펙트 방지방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940017307A KR960005858A (ko) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | Bpsg막의 크리스탈디펙트 방지방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960005858A true KR960005858A (ko) | 1996-02-23 |
Family
ID=66689442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940017307A KR960005858A (ko) | 1994-07-18 | 1994-07-18 | Bpsg막의 크리스탈디펙트 방지방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960005858A (ko) |
-
1994
- 1994-07-18 KR KR1019940017307A patent/KR960005858A/ko not_active Application Discontinuation
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