KR960004099Y1 - 저압화학기상증착 반응로의 석영보트 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

저압화학기상증착 반응로의 석영보트

제1도는 일반적인 저압화학 기상증착 반응로의 석영보트를 보인 사시도.

제2도는 종래 석영보트에 웨이퍼 장착된 상태를 보인 요부 단면도.

제3도 및 제4도는 본 고안이 실시된 석영보트를 나타낸 도면으로서, 제3도는 본 고안 석영보트에 웨이퍼가 장착된 상태를 보인 평면도이고, 제4도는 제3도의 요부를 발췌해서 보인 단면도이다.

제5도는 본 고안의 다른 실시예에 의한 석영보트의 슬롯구조를 보인 요부단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 2 : 상, 하 원판 3, 3', 3'', 3''' : 보트바

4 : 웨이퍼 10 : 슬로트

10a : 웨이퍼지지부 10b : 파티클 수집부

본 고안은 수직형(vertical) 저압화학기상증착(LPCVD) 반응로의 석영보트(Quartz Boat)에 관한 것으로, 특히 웨이퍼(Wafer)를 지지하는 보트바(Boat bar)의 웨이퍼 슬로트(Slot)를 계단형태로 하여 웨이퍼와의 접촉면적을 줄임으로써 장비의 미세진동에 의한 슬로트와 웨이퍼와의 마찰에 기인한 파티클 발생을 억제할 수 있도록한 저압화학기상증착 반응로의 석영보트에 관한 것이다.

일반적으로 수직형 저압화학기상증착 반응로에 사용되는 석영보트는 다수개의 작업웨이퍼를 적재하여 반응로 내부에 내장됨으로써 다수개의 웨이퍼가 동시에 공정진행되도록 하는 역할을 하게 된다.

이러한 석영보트는 제1도에 도시한 바와 같이, 보트 몸체를 이루는 상, 하 원판(1)(2)과, 그 상, 하원판(1)(2)의 중심을 기준으로 반원형태로 배열되는 수개의 보트바(3)(3')(3'')(3''')로 구성되어 있으며, 상기 각각의 보트바(3)(3')(3'')(3''')에는 제2도에 도시한 바와 같이, 내측으로 웨이퍼(4)를 지지하는 복수개의 슬로트(3a)가 일정간격으로 형성되어 있다.

이와 같이 된 일반적인 석영보트는 반응로의 보트캡(도시되지 않음)위에 장착되고, 이때 캡과 보트는 핀에 의해 고정된다.

이와 같이 장착된 보트의 각 슬로트(3a)에 에이퍼(4)가 놓이게 되는 바, 웨이퍼 한면당 4개의 슬로트 면이 존재하게 되고, 통상, 보트의 상부에서 하부로 순서대로 놓이게 되면, 이재기(Transfer Machine)에 의해 5매씩 또는 1매씩 이동되어 놓이게 된다.

그러나, 상기한 바와 같은 종래 구성의 석영보트에 있어서는 수직형 반응로의 최대 단점인 장비진동에 의해 보트가 진동함으로써 웨이퍼(4)와 각 보트바(3)(3')(3'')(3''')의 슬로트(3a)간에 진동에 의한 마찰이 발생하게 되는바, 이때, 각 슬로트(3a)의 웨이퍼 지지면이 평평하게 일자로 형성되어 있어 웨이퍼 접촉면적이 커짐으로써 마찰에 의한 다량의 파티클이 발생하게 된다.

이러한 진동에의 마찰은 슬로트(3a)면이 고르지 않게되면 더욱 심하게 되며 이로 인하여 발생된 파티클이 바로밑의 웨이퍼에 떨어지게 되어 불안정한 공정이 이루어지고, 불량이 야기되는 단점이 있었다.

이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 웨이퍼와 슬로트간의 접촉면적을 최소화 함으로써 장비 진동에 의한 마찰로 야기되는 파티클 발생을 최대한 억제할 수 있도록 한 저압화학기상증착 반응로의 석영튜브를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 상, 하 원판 사이에, 수개의 보트바가 연결설치되고, 상기 각 보트바의 내측면에는 웨이퍼를 지지하는 복수개의 슬로트가 형성된 것에 있어서, 상기 슬로트의 상면에 외측의 웨이퍼 지지부와 이 웨이퍼 내측의 파티클 수집부를 계단상으로 형성하여 구성함을 특징으로 하는 저압화학기상증착 반응로의 석영보트가 제공된다.

상기 파티클 수집부의 표면은 일자(-)형태의 평면, 또는 웨이퍼 지지부 측으로 갈수록 하향 경사진 경사면으로 가공된다.

이와 같이된 본 고안에 의한 석영보트에 의하면, 웨이퍼와 슬로트면과의 접촉, 면적이 보다 작아지므로 장비진동에 의한 슬로트와 웨이퍼 마찰에 기인하는 파티클 발생을 억제할 수 있고, 또 웨이퍼 지지부의 표면거칠기 심화(보트세정에 의한 표면거칠기의 심화)를 방지할 수 있으므로 슬로트의 표면거칠기 심화로 인한 파티클 발생의 효과적인 방지로 보트의 수명을 연장시킬 수 있으며, 또한 8인치 웨이퍼에서 나타나는 슬로트부위에서의 웨이퍼 슬립현상을 방지할 수 있는 등의 여러 효과가 있다.

이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 저압화학기상증착 반응로의 석영보트를 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.

제3도는 본 고안이 실시된 석영보트에 웨이퍼가 장착된 상태를 보인 평면도이고, 제4도는 제3도의 요부를 발췌해서 보인 단면도로서 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 저압화학기상증착 반응로의 석영보트는 웨이퍼(4)를 지지하는 보트바(3)(3')(3'')(3''')의 슬로트(10)를 웨이퍼지지부(10a)와, 파티클 수집부(10b)를 가지는 계단형으로 형성하여 웨이퍼(4)와의 접촉 면적을 최소화하고, 장비진동에 의한 마찰에 의해 발생되는 극소량의 파티클이 바로 밑의 웨이퍼(4)에 떨어지지 않고 파티클 수집부(10b)에 포집되도록 구성한 것으로, 그외 석영보트를 구성하는 기본구조는 종래와 같으므로 도면에서는 도시를 생략하였으며 여기서도 상세한 설명은 생략한다.

한편, 상기 계단형 슬로트(10)의 구조를 상세히 살펴보면, 상단에 웨이퍼 지지부(10a)가, 하단에는 파티클 수집부(10b)가 소정간격으로 단차지게 형성되어 있는 바, 상기 파티클 수집부(10b)의 표면은 일자(-)형태의 평면으로 가공할 수 있고, 제5도에 도시한 바와 같이 웨이퍼 지지부(10a) 쪽으로 갈수록 하향경사진 경사면으로 가공하여 파티클을 보다 안전하게 포집함으로써 바로 밑의 웨이퍼로 파티클이 떨어져 내리는것을 보다 효과적으로 방지하도록 할 수도 있다.

이때, 상기 웨이퍼 지지부(10a)의 경사면의 경삭가는 90°이내로 함이 바람직하다.

이와 같이 본 고안에 의한 석영보트는 종래와 같이 다수개의 웨이퍼를 적재한 상태로 반응로의 내부에 내장되는바, 이때, 종래에는 공정진행에 따른 장비진동에 의해 웨이퍼와 슬로트면과의 접촉면적이 큼으로써 마찰에 의한 다량의 파티클이 발생되었으나, 본 고안에서는 슬로트(10)의 웨이퍼지지부(10a)에 웨이퍼(4)가 지지되므로 접촉면적이 보다 작아지게 되어 파티클의 발생이 현저하게 줄어들고, 파티클이 발생되더라도 이 파티클은 슬로트(10)의 파티클 수집부(10b)에 떨어지게 되므로 파티클이 바로밑의 웨이퍼에 떨어짐으로 인하여 야기되는 제 불량을 방지할 수 있는 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안의 석영보트에 의하면, 웨이퍼와 슬로트면과의 접촉면적이 보다 작아지게 되므로 장비에 진동에 의한 슬로트와 웨이퍼 마찰에 기인하는 파티클 발생을 억제시킬 수 있고, 또 웨이퍼 지지부의 표면거칠기 심화(보트세정에 의한 표면 거칠기의 심화)를 방지할 수 있으므로 슬로트의 표면거칠기 심화로 인한 파티클 발생의 효과적인 방지로 보트의 수명을 연장시킬 수 있으며, 또 8인치 웨이퍼에서 나타나는 슬로트부에서의 웨이퍼 슬립현상을 방지할 수 있는 등의 여러효과가 있다.

Claims (2)

1. 상, 하 원판 사이에 수개의 보트바가 연결설치되고, 상기 각 보트바의 내측면에는 웨이퍼를 지지하는 복수개의 슬로트가 형성된 것에 있어서, 상기 슬로트의 상면에 외측의 웨이퍼 지지부와 이 웨이퍼 지지부 보다 낮은 내측의 파티클 수집부를 계단상으로 형성하여 구성함을 특징으로 하는 저압화학기상증착 반응로의 석영보트.
2. 제1항에 있어서, 상기 파티클 수집부의 표면은 일자(-) 형태의 평면, 또는 웨이퍼 지지부 측으로 갈수록 하향 경사진 경사면으로 가공된 것을 특징으로 하는 저압화학기상증착 반응로의 석영보트.