KR960003159B1

KR960003159B1 - 전기 도금 금속박막 제조방법 및 장치

Info

Publication number: KR960003159B1
Application number: KR1019890700317A
Authority: KR
Inventors: 더블유. 폴란 네드
Original assignee: 굴드 일렉트로닉스 인코포레이티드; 마이클 에이. 센타니
Priority date: 1987-06-23
Filing date: 1988-06-09
Publication date: 1996-03-05
Also published as: EP0323505A4; JPH02500374A; AU1959588A; WO1988010327A1; KR890701801A; EP0323505A1; DE3887490T2; DE3887490D1; JP2990676B2; EP0323505B1

Abstract

내용 없음.

Description

[발명의 명칭]

전기 도금 금속박막 제조방법 및 장치

[도면의 간한한 설명]

제1도는 본 발명에 따른 전기 주조 장치의 부분 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 형성 장치 12 : 탱크

14 : 전해질 16 : 양극

18 : 광통영역 20 : 간극

24 : 음극

[발명의 상세한 설명]

본 발명은 우수한 등방성의 기계적 성질을 갖는 전기 도금 금속박막 또는 단편을 형성하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다.

E-D 구리박막과 같은 전기 주조 또는 전기 도금 금속박막이 전자 및 전기 산업에서 광범위하게 사용된다. 전기 도금 박막에 대한 한가지 응용이 인쇄회로이다. 인쇄회로의 필요조건은 보다 정밀한 설계로 인해 보다 엄격해지므로, 구리박막 제조자에게는 이같은 필요조건이 부가된다. 인쇄회로 제조자는 실제로 기공이 없는 우수한 기계적 성질을 갖는 박막을 제조하기를 희망한다. 따라서 이러한 박막을 제조하는데 사용된 기술 및 장치는 고품질의 박막을 제조할 수 있어야 한다.

에디슨씨에게 허여된 미국 특허 제1,417,464호 및 맥코드씨에게 허여된 미국 특허 제1,543,861호에서 볼수 있는 바와 같이, 기본적인 전기 주조 기술이 잘 알려져 있다. 일반적으로, 전기 주조 금속박막은 양극 및 가동 도금 표면을 도금될 금속값 농도를 함유한 전해질에 침지시키고 상기 표면상에 비교적 평편한 금속층을 도금시키기 위해 양극과 도금 표면간에 전류를 인가함으로써 형성된다. 도금 표면 및 새로이 도금된 박막을 전해질로부터 꺼낼 때, 박막은 도금 표면으로부터 벗겨져 권취 릴(reel)상에 잠긴다.

전기 도금 구리박막을 형성하기 위해서 회전하는 크롬 도금된 강철 드럼을 사용하여 전기 도금 박막의 품질을 향상시킬 수 있다고 오랫동안 여겨져왔다.

보다 양호한 품질의 박막을 얻기 위해서 도금 전해질에 침지하기 전에 도금 표면을 연마하는 기술이 사용되어왔다. 이러한 기술에서는 도금 표면의 이물질 및 산화물을 제거시키기위해 구동 브러시가 일반적으로 사용된다. 가능한한 표면을 가장 새롭게 제공하기 위해서는 통상적으로 가동 도금 표면이 전해질에 입수되는 지점에 밀접하게 브러시를 위치시킨다. 레비씨 및 그외 공동 발명자에게 허여된 미국 특허 제1,952,762호, 맥킨씨에게 허여된 미국 특허 제2,335,776호, 졸다스씨에게 허여된 미국 특허 제2,865,830호 및 예크씨에게 허여된 미국 특허 제2,944,954호 및, 영국 특허 제1,543,301호 및 제1,548,550호에서는 드럼 연마롤을 갖는 전기 주조 시스템에 관해서 기술하고 있다. 예이츠씨에게 허여된 미국 특허 제1,978,037호에서는 도금표면을 연마하기 위하여 롤 대신에 고무 연마제 벨트를 사용한 전기 주조 장치에 관해서 기술되어 있다.

이러한 기술은 드럼 또는 벨트로 가동 도금 표면의 원주를 따라 연마하는 것을 제공한다. 결과적으로 연마 표시 또는 자국의 비등방성 분포가 생겨난다. 이러한 자국은 일반적으로 드럼의 원주면 둘레에서 세로방향으로 연장된다. 여기서 사용된 “세로”란 용어는 도금 표면의 이동방향을 칭한다. 만일 연마 롤 또는 브러시가 단지 고정위치에서 회전하면 서로 평행한 세로방향에 연마 표시가 연장된다. 이것은 도금표면을 세로방향에 비해서 가로방향으로 보다 거칠게 만든다. 비등방성 표면의 자국 또는 표시를 갖는 이러한 표면 도금의 결과로 형성된 박막이 또한 비등방성을 가지며, 특히 박막의 가로방향 인장 연신성이 세로방향보다 현저하게 약해진다. 요약하면, 이러한 원주면 연마로 다른 방향보다 한 방향에서 현저히 약한 기계적 성질을 나타낼 수 있는 박막이 형성된다. 기계적 성질에서 이러한 불일치는 연마용 롤 또는 벨트에 의해 도금 표면상에 행해진 원주면 연마의 결과로 여겨진다.

보다 양호한 품질의 박막을 생산하기 위해서 회전 드럼형 음극 대신에 가동 순환 벨트를 사용하는 시스템이 사용되어 졌다. 이들 시스템에 있어서, 벨트 자체 또는 벨트의 표면상에서 형성된 새로운 층상에 전기도금 박막이 형성된다. 도금 또는 벨트 표면의 준비에는 종종 청정 및 미연마 작용이 포함된다. 예를 들어, 데이비드 오프씨에게 허여된 미국 특허 제2,433,441호에서는 도금된 박막이 제거된 후 순환 벨트가 연마작용을 하게된다. 이러한 연마작용이 다수의 왕복 연마용 헤드를 사용하더라도 벨트 표면으로부터 오염물질 및 다른 불순물을 제거시키도록만 의도된다. 이것은 벨트 표면을 연마하도록 의도된 것으로는 보이지 않는다. 후트킨씨에게 허여된 미국특허 제4,073,699호에서는 후속 도금을 하기 위한 준비로써 순환 벨트를 미연마 처리하는 벨트 도금 시스템에 관해서 기술하고 있다.

본 발명에 따라 실제로 균일 또는 등방성인 기계적 성질로 특징된 실제로 무기공인 전기 도금 금속박막을 형성할 수 있는 시스템이 고안되었다. 본 발명의 전기 주조 장치는 전자 화학셀, 도금될 금속값의 농도를 갖는 전해질, 전해질에 적어도 부분 침수된 양극 및 등방성 표면 마무리된 가동 도금 표면을 구비한다. 가동 도금 표면은 회전 드럼 음극 또는 순환 벨트일 수 있다. 바람직한 등방성 표면 마무리는 일련의 연마단계를 사용하여 도금 표면에 적합하게 제공되면 상기 각 단계에서는 일반적으로 약 29 내지 17 미크론(약 320 내지 600 그리트(grit))의 범위에서 순차로 보다 미세한 그리트 크기를 갖는 연마장치를 사용한다. 각 단계는 도금 표면에 임의의 마무리를 제공하기 위하여 수행되는 것이 바람직한 반면, 일련의 단계중 최종 단계만이 도금 표면에 상기의 마무리를 제공할 필요가 있다.

한편, 비록 덜 바람직하더라도, 등방성 방향으로 개선된 기계적 성질을 갖는 박막은 도금 표면의 이동방향과 평행한 제1세로방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향으로 동일하게 분포된 마무리된 표면을 도금함으로써 생산될 수 있는 것으로 발견되었다.

본 발명의 목적은 실제로 등방성 기계적 성질로 특징된 전지 도금 금속박막을 형성하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 또는 실제로 무기공인 상기와 같은 전기 도금 금속박막을 형성하는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 전자 및 전기 분야에 적합한 상기와 같은 전기 도금 금속박막을 형성하는데 있다.

본 발명의 또다른 목적은 상기 금속박막을 형성하기 위한 방법 및 장치를 제공하는데 있다.

이들 및 다른 목적과 장점들은 하기의 설명 및 동일 참조번호가 동일 소자를 표시하는 도면으로 명백해질 것이다.

제1도는 본 발명에 따른 전기 주조 장치의 부분 단면도이다.

본 발명은 실제로 등방성인 기계적 성질로 특징된 실제로 무기공인 전기 도금 금속박막을 형성하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 등방성이란 용어는 적어도 세로 및 가로축을 따라 일반적으로 박막 평면의 모든 방향으로 실제로 균일한 성질을 의미하는 것이다. 또한, 박막이란 용어는 단편 또는 막대기 형태로 전기 주조된 금속을 의미한다.

이하, 제1도를 참조하여 본 발명에 따른 전기 형성 장치(10)를 설명한다. 장치(10)는 전해질(14)을 보유하는 탱크(12)를 포함한다. 탱크(12)는 납 또는 스테일레스강 등의 불활성 물질로 형성된 것이 바람직하지만, 고무 또는 폴리염화비닐 등의 내부식성 물질로 라이닝된 콘크리트 등의 구조 물질로 형성될 수 있다.

장치(10)는 또한 적합하게는 아치형이며 중심에 구멍이 뚫린 영역(18)을 갖는 양극(16)을 포함한다. 양극(16)은 임의의 적합한 전기 도전성이며, 불용해성인 금속 또는 금속합금으로 제조될 수 있다. 통상의 양극물질은 납, 안티몬 및 이들의 합금을 포함한다. 필요에 따라, 중심이 구멍뚫린 영역(18)은 양극(16)의 잔여부와는 다른 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 관통영역(18)의 양극(16)의 잔여부를 형성하는 물질보다 부식에 강한 물질로 형성될 수 있다. 양극(16)은 폴랜씨에게 허여된 미국 특허 제4,529,486호에 보다 상세히 기술되어 있다.

양극(16)은 본 기술에서 공지된 임의의 적합한 수단(도시되지 않음)을 사용하여 임의의 방법으로 탱크(12) 내에 설치될 수 있다. 일반적으로, 양극(16)은 축 A를 중심으로 회전하도록 설치된 드럼 음극(24)의 가동 도금 표면(22)을 실제로 균일한 간극(20)에 제공하는 방법으로 설치된다. 통상, 축 A는 실제로 수평축이다. 본 기술에서 공지된 임의의 적합한 수단이 탱크(12) 내에 드럼 음극(24)을 설치하는데 사용될 수 있다. 바람직하게는, 음극(24)은 거의 절반부가 전해질(14)의 표면 아래로 잠기도록 설치된다.

회전 드럼 음극(24)은 납, 스테인레스강, 니오브, 탄탈, 티탄, 크롬 및 이들의 합금을 포함하지만 이에 국한되지 않으며 임의의 적합한 전기 도전 금속 또는 금속 합금으로 형성될 수 있다. 적합한 실시예에 있어서, 드럼 음극(24)은 티탄, 니오브, 탄탈 또는 이들의 합금으로 형성되는 도금 표면(22)을 갖는 스테인레스강 드럼을 포함한다. 이하에서 상술될 바와 같이, 도금 표면(22)은 적합하게 본 발명에 따라 등방성 표면 마무리로 특징된다. 드럼 음극(24)은 본 기술에서 공지된 임의의 적합한 모터 구동 시스템(도시되지 않음)에 의해 회전될 수 있다.

양극(16) 및 음극(24)은 간극(20)이 너무 넓게 되지 않도록 탱크(12) 내에 설치해야만 한다. 간극(20)이 너무 넓으면, 간극 사이에 상당한 IR 손실이 있을 수 있다. 실제로, 이것을 간극(20)이 약50mm 미만이어야 함을 의미한다. 바람직하게는 간극(20)은 약 5mm 내지 약 40mm, 가장 바람직하게는 약 15mm 내지 약 30mm의 범위이다.

탱크(12) 내의 전해질(14)은 일반적으로 도금 표면(22)상에 도금되어질 금속 이온의 농도를 갖는 수용성 산용액으로 구성된다. 예를 들어, 구리박막을 형성시키려면, 전해질(14)은 일정의 구리이온 농도를 가져야 한다. 도금동안, 전해질을 약 실온 내지 약 100℃의 범위의 온도로 보존하는 것이 바람직하다. 이러한 목적을 위해서, 탱크(12)에 전해질을 희망온도로 보존하는 본 기술에서 공지된 임의의 적합한 수단(도시되지 않음)이 제공될 수 있다. 예를 들어, 도시되지 않은 가열/냉각 루프가 탱크(12) 내에 내장되거나 탱크(12)에 접속된다.

전기 도금된 구리박막을 형성할 때는, 황산구리-황산 전해질이 사용될 수 있다. 약 60℃의 온도로 전해질을 사용하여 특히 고품질의 박막이 형성될 수 있다는 것이 발견되었다. 60℃에서 전해질은 약 10g/리터 내지 320g/리터, 바람직하게는 약 100g/리터 내지 300g/리터의 일반적으로 황산구리형태로 구리를 함유한다. 또한 전해질은 적합하게는 약 10g/리터 내지 약 100g/리터의 황산구리로서 구리를 침전시키는 농도까지 황산을 함유한다. 그러나, 본 발명에 따르면, 임의의 희망 전해질을 사용할 수 있다.

장치(10)는 또한 매니폴드(manifold)(28)를 포함하는데, 이를 통해 새로운 전해질이 간극(20)에 실제 연속적으로 제공된다. 매니폴드(28)는 임의 희망방법으로 탱크(12)에 설치될 수 있으며 임의의 희망 수단으로 전해질원에 적합하게 접속될 수 있다.

본 발명의 장치에서 사용된 통상의 전해질 유속은 약 1m/초 내지 약 4m/초, 바람직하게는 약 1m/초 내지 2.5m/초의 범위이다. 통상, 전해질은 매니폴드(28) 및 양극의 관통영역(18)의 관통구멍을 통해 아치형양극(16)의 엣지(30)에 걸쳐 간극(20)내로 흐르며 다시 탱크(12)로 흐른다. 필요에 따라, 매니폴드는 도시되지 않은 펌프에 접속되어 셀 전체에 바람직한 전해질이 흐르게 된다. 만일 펌프가 사용되면, 본 기술에서 공지된 임의의 적당한 종래의 펌프를 사용할 수 있다.

최종적으로, 장치(10)는 음극(24) 및 양극(16)이 전기 접속되는 전원(32)을 포함한다. 전원(32)은 약 0.4 A/㎠ 내지 2.0 A/㎠, 바람직하게는 약 0.5 A/㎠ 내지 1.5 A/㎠ 범위의 전류 밀도를 갖는 전기 도금 전류를 양극과 음극간에 인가하는데 사용된다. 전원(32)은 AC 또는 DC 전류를 공급하기 위한 본 기술에서 공지된 임의의 적합한 종래의 전원으로 구성될 수 있다.

본 발명에 따라 도금 표면(22)에 통상 등방성 마무리를 제공함으로써 실제로 등방성인 기계적 성질이 전기 도금된 박막에 제공된다. 이것은 적합하게 음극(24)을 탱크(12) 내에 설치하기 전에 일련의 순차 연마단계로 도금 표면을 연마시킴으로써 달성된다. 연마단계는 바람직한 표면 마무리를 제공하도록 시행된다. 본 기술의 장점중 하나는 음극 실치전에 도금 표면 준비 단계를 수행함으로써, 전해질을 오염시키는 표면 준비 단계로부터 특정 물질을 피할 수 있다는 것이다. 본 기술에 관련된 다른 장점은 전기 주조 처리 동안 박막에 우수한 기계적 부착을 보존하며 종종 표면 준비를 필요로 하지 않는 도금 표면의 형성을 포함한다.

초기 표면 준비 또는 연마 단계는 예를 들어, 약 29 내지 17 미크론(약 320 내지 약 600 그리트)의 범위의 그리트 크기를 갖는 연마지를 사용하여 도금 표면(22)을 연마하는 단계를 포함한다. 비록 표면이 이 단계동안 임의의 희망 방법으로 연마될 수 있어도, 통상 무작위 운동을 이용하는 것이 적합하다. 이것은 궤도 연마 운동을 갖는 수동작 연마 장치 또는 본 기술에서 공지된 임의의 다른 적합한 수단을 사용하여 실행될 수 있다. 초기 표면 준비 단계 다음에 하나 이상의 부가 연마 단계를 실행한다. 각각의 후속 연마 단계는 선행 연마 단계에서 사용된 것보다 미세한 그리트 크기를 갖는 연마지 등의 연마장치를 사용한다. 각각의 후속 연마단계는 선행 단계에 기인한 임의의 자국을 적합하게 제거해야만 한다. 이들 단계는 또한 궤도 연마 장치를 사용함으로써 통상 무작위 운동을 이용한다.

상기 최종 연마단계는 자국 또는 연마표시가 실제로 무작위로 배향되는 도금 표면을 마무리해야 하므로 가장 중요하다. 최종 연마단계후 도금 표면이 너무 매끄럽거나 너무 거칠게 되지 않는 것이 중요하다. 너무 매끄럽다면, 박막은 처리도중 일찍 떨어지게 되며, 너무 거칠다면 박막은 도금 표면(22)에서 쉽사리 벗겨지지 않는다.

연마 단계동안 무작위 운동을 이용하는 것이 바람직한 반면, 도금 표면(22)의 운동방향인 세로방향과 평행한 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향으로 실제로 동일하게 분포된 표면 패턴을 형성하는 운동이 등방성 기계적 성질에 근사한 성질을 갖는 박막을 생산할 수 있는 표면을 완성하는데 사용될 수 있음이 발견되었다.

연마단계 각각은 도금 표면이 건조 또는 습윤 상태에서 수행될 수 있다. 만약 습윤상태에서 수행되면, 연마전에 물 또는 등유 또는 임의의 다른 윤활유와 같은 적합한 윤할유가 표면에 도포될 수 있다.

통상 구리박막을 사용하는 인쇄회로 응용에 있어서, 특히 관심을 끄는 기계적 성질은 통상 인장 연신성으로서 측정된 박막의 연성이다. 종래 기술의 박막은 높은 비등방성의 연성을 보유할 수 있음이 발견되었다. 예를들어, 5.08cm(2인치) 게이지 길이에 걸쳐 측정된 세로방향 인장 연신성은 약 17%가 되는 것으로 발견된 반면에 대응하는 가로방향 인장 연신성은 약 11%의 것으로 발견되었다. 적어도 15%의 인장 연신성이 아주 바람직하지만, 박막의 인장 연신성은 비등방성보다는 오히려 등방성이어야 한다. 즉, 성질이 박막의 세로 또는 가로방향으로 측정되든지간에 거의 동일해야만 한다. 상기 박막은 0.0305gm/㎠(제곱피트당 1온스)의 1급인 구리박막으로 구성된다.

박막의 매끄러운 측면, 예를들어 드럼과 대면하는 측면은 드럼 표면상에서 원주면 자국 또는 연마 표시를 나타내는 세로방향 표식을 나타내었다. 이러한 표면 조도의 정량 측정은 가로방향으로 약 0.88 미크론 내지 약 1.25 미크론(약 35 내지 50 마이크로 인치)의 조도 대 세로방향으로 약 0.375 내지 약 0.88 미크론(약 15 내지 약 35 마이크로 인치)의 조도를 나타냈다. 본 발명에 따라, 종래 기술의 박막으로 나타낸 바와 같이 비등방성 표면의 조도는 생성된 비등방성 신장도 성질에 중요한 역할을 하는 것으로 발견되었다.

따라서, 본 발명에 의하면, 도금 표면(22)에 대한 표면 조도는 적합하게는 약 0.125 미크론 내지 약 1 미크론(약 5 내지 약 40 마이크로 인치), 가장 바람직하게는 약 0.125 미크론 내지 약 0.75 미크론(약 5 내지 30 마이크로 인치)이며, 이들 표면 조도는 도금 표면상에서 세로 또는 가로방향, 바람직하게는 도금 표면에서 실제로 모든 방향에서 거의 동일하다. 거의 동일하다는 의미는 각 방향에서의 표면 조도가 서로 20% 이내, 바람직하게는 약 15% 이내, 가장 바람직하게는 약 10% 이내라는 것이다.

본 발명을 증명하기 위해서, 하기 실시예를 수행하였다.

[실시예]

무작위로 배향된 일련의 자국 표시를 갖는 등방성 표면의 마무리가 종래의 손잡이가 달린 연마기를 사용하여 직경 30.5cm(1피트), 길이 30.5cm(1피트)인 티탄 드럼 도금 표면에 행해졌다. 표면은 29 미크론(320그리트) 연마지를 사용하여 초기에 연마되었다. 후속 연마단계는 23 미크론(400그리트)의 보다 미세한 연마지로 수행되었다.

0.0305gm/㎠(1 oz/ft²) 중량의 구리박막이 제1도에서 도시된 바와 동일한 장치를 사용하여 이 드럼상에서 전기 주조되었다. 전해질은 1.7몰의 CuSO₄및 0.4몰의 H₂SO₄를 함유하며 60℃의 온도로 유지되었다. 1.3m/초의 전해질 유속은 간극에 걸쳐 유지되며 0.6A/㎠의 전류밀도를 갖는 전류가 인가되었다.

구리박막에 대한 검사로 약 0.375 미크론 내지 약 0.625 미크론(약 15 내지 약 25 마이크로 인치)의 박막의 매끄러운 측면 또는 드럼 측면상의 등방성 표면 조도가 세로 및 가로방향에서 발견되었다. 박막의 유연성은 또한 등방성인 것으로 발견되었으며 5.08cm(2인치) 게이지 길이에 대해 높은 16% 세로방향 신장도 및 17% 가로방향 신장도를 가졌다. 이러한 우수한 등방성의 유연성은 상당한 열응력을 받게되는 인쇄회로 특히 다층회로에서는 중요한 것이다.

비록 본 발명이 회전 드럼 음극에 일정한 표면 마무리를 행하는 것에 관해서 기술되어졌더라도 본 발명의 표면 마무리 준비단계는 벨트가 음극 및 도금 표면(20)을 구비한 순환 벨트형 전기 주조 장치와 함께 사용될 수 있음이 명백하다.

여기서 사용된 “표면 조도”란 용어는 물질에 대한 평균 표면 조도이며 임의의 종래 프로필로미터로 쉽게 측정될 수 있다.

본 발명에 따라 상술된 목적, 수단 및 장점들을 모두 만족하는 금속박막 또는 단편을 전기 주조하기 위해 음극 표면 처리가 제공된다는 것은 명백하다. 비록 본 발명이 이들에 대한 특정 실시예에 관해서만 기술되어졌더라도, 상기의 설명으로부터 본 기술의 숙련자에게는 여러가지 변형 및 수정이 가능하다는 것이 명백하다. 따라서 첨부된 특허 청구의 범위의 사상 및 범주를 벗어나지 않는한 이러한 모든 수정 및 변형을 망라할 수 있다.

Claims

전자 및 전기 응용에 적합한 전기 도금 금속박막에 있어서, 상기 박막은 실제로 등방성의 인장 연신성을 가지며, 또한 세로방향의 표면 조도가 가로방향의 표면 조도의 20% 이내인 제1주표면을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막.
제1항에 있어서, 상기 제1표면에서 세로방향으로의 표면 조도는 가로방향으로의 표면 조도의 10% 이내인 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막.
제1항에 있어서, 상기 박막은 인쇄회로에서 실제로 무기공성 구리박막인 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막.
제1항에 있어서, 세로방향으로의 상기 제1주표면의 표면 조도는 0.125 미크론 내지 0.75 미크론(5 내지 30 마이크로 인치)이며 가로방향으로의 상기 제1주 표면의 표면 조도는 0.125 미크론 내지 0.75 미크론(5 내지 30 마이크로 인치)인 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막.
제1항에 있어서, 상기 표면 조도는 0.125 미크론 내지 0.75 미크론(5 내지 30 마이크로 인치)이며, 상기 인장 연신성은 상기 박막의 상기 평면에서 실제로 어떠한 방향으로라도 통상 등방성인 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막.
전기 도금 금속박막을 형성하기 위해 개선된 도금 표면(2)을 제공하기 위한 방법에 있어서, 상기 도금 표면(22)을 통상 무작위 방식으로 연마하는 단계를 포함하여 가로방향으로 상기 표면의 표면 조도의 20% 이내인 세로방향으로 표면 조도를 제공하는 것을 특징으로 하는 개선된 도금 표면 형성방법.
제6항에 있어서, 상기 연마단계는 상기 도금 표면(22)이 다수의 순차 연마 단계를 받게되는 단계를 구비하며, 상기 각 연마단계는 상기 표면(22)을 특정한 그리트 크기를 갖는 연마제로 연마하는 단계를 구비하며, 후속 연마단계는 선행 연마 단계에서 사용된 것보다 미세한 그리크 크기의 연마제를 사용하는 것을 특징으로 하는 개선된 도금 표면 형성방법.
제7항에 있어서, 적어도 최종 연마단계는 상기 도금 표면에서 무작위로 배향된 일련의 자국을 형성하기 위해 무작위 운동을 이용하여 상기 도금 표면(22)을 연마하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 개선된 도금 표면 형성방법.
제8항에 있어서, 상기 각각의 연마단계는 상기 도금 표면에 무작위로 배향된 일련의 자국을 형성하기 위해 무작위 운동을 이용하여 상기 도금 표면(22)을 연마하는 단계를 구비하며, 각각의 후속단계에서는 선행단계에서 형성된 자국을 제거시키는 것을 특징으로 하는 개선된 도금 표면 형성방법.
실제로 등방성의 인장 연신성을 갖는 전기 도금 금속박막을 형성하기 위한 방법에 있어서, 금속 이온 농도를 함유한 전해질(14) 및 상기 전해질(14)에 적어도 부분적으로 침수된 제1전극(16)을 셀(12)에 제공하며, 도금표면(22)을 갖는 제2전극(24)을 제공하며, 가로방향 표면 조도의 20% 이내의 세로방향 표면 조도를 제공하기 위해 통상 무작위 방식으로 상기 도금 표면(22)을 연마하며, 상기 제1전극(16)과 함께 간극(20)을 형성하기 위해 상기 전해질(14)에 상기 제2전극(24)을 배열하며, 상기 제1전극(16)에 대해 상기 도금 표면(22)을 이동시키며, 전해질(14)을 희망 유속으로 상기 간극(20) 내로 유입시키며, 상기의 실제로 등방성인 인장 연신성을 갖는 상기 박막을 형성하기 위해 상기 전극(16,24) 간에 전류를 인가하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막 제조방법.
제10항에 있어서, 또한 상기 배열단계전에 상기 제2전극상에서 상기의 실제로 등방성인 도금 표면(22)을 연마하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막 제조방법.
제11항에 있어서, 상기 연마단계는 상기 도금 표면(22)이 다수의 순차 연마단계를 받게 되는 단계를 구비하며, 상기 각각의 연마단계는 상기 표면(22)을 특정 그리트 크기를 갖는 선행 연마 단계에서 사용된 것보다 미세한 그리크 크기를 갖는 연마제를 사용하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막 제조방법.
제12항에 있어서, 적어도 최종 연마단계는 상기 도금 표면(22)에서 무작위로 배향된 일련의 자국을 형성하기 위해 무작위 운동을 이용하여 상기 도금 표면(22)을 연마하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막 제조방법.
제10항에 있어서, 상기 각각의 연마단계는 상기 도금 표면(22)에 무작위로 배향된 일련의 자국을 형성하기 위해 무작위 운동을 이용하여 상기 도금 표면(22)을 연마하는 단계를 구비하며, 각각의 후속단계에서는 선행 단계에서 형성된 자국을 제거시키는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막 제조방법.
제10항에 있어서, 상기 연마단계는 상기 도금 표면(22)의 이동방향과 평행한 제1세로방향 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 동일하게 분포되는 상기 도금 표면(22)에서 자국표시를 형성하기 위해 상기 표면(22)을 연마하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 금속박막 제조방법.
제10항에 따로 형성된 실제로 등방성 인장 연신성을 갖는 실제로 무기공성인 것을 특징으로 하는 금속박막.
실제로 등방성의 기계적 성질을 갖는 전기 도금 박막을 형성하기 위한 장치(10)에 있어서, 금속이온 농도를 함유한 전해질(14)을 보유하기 위한 탱크(12), 상기 전해질(14)에 적어도 부분적으로 침수되도록 상기 탱크(12)내에 설치된 제1전극(16), 상기 제1전극(16)과 함께 간극(20)을 형성하기 위해 상기 탱크(12)내에 설치된 제2전극(24), 실제로 등방성 표면 마무리를 갖는 도금 표면(22)을 갖는 상기 제2전극(24), 상기 간극(20)을 통해 상기 전해질(14)을 희망 유속으로 유입하기 위한 수단(28) 및 상기 도금 표면(22)상에 상기의 실제로 등방성 인장 연신성을 갖는 상기 박막을 형성하도록 상기 전극(16,24)간에 전류를 인가하기 위한 수단(32)을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 박막 제조장치.
제17항에 있어서, 상기의 실제로 등방성인 표면 마무리는 상기 도금 표면(22)에서 무작위로 배향된 일련의 자국 표시를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 박막 제조장치.
제18항에 있어서, 또한 상기 도금 표면(22)은 제1방향으로 이동가능하며, 상기의 실제로 등방성인 표면 마무리는 상기 제1방향과 평행한 방향 및 상기 제1방향과 교차하는 방향으로 동일하게 분포된 자국표시 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 박막 제조장치.
구리로 이루어지고 인쇄회로판에 사용하기에 적합한 제1항의 전기 도금 금속박막.
제18항에 있어서, 상기의 실제로 등방성인 표면 마무리는 가로방향 표면 조도의 20% 이내인 세로방향 표면 조도를 갖는 표면(22)을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 도금 박막 제조장치.
제21항에 있어서, 상기 세로방향의 상기 표면 조도는 상기 가로방향의 상기 표면 조도의 10% 이내인 것을 특징으로 하는 전기 도금 박막 제조장치.
제21항에 있어서, 상기 세로방향의 상기 표면 조도는 0.125 미크론 내지 0.75 미크론(5 내지 30 마이크로 인치)이며 상기 가로방향의 상기 표면조도는 약 0.125 미크론 내지 약 0.75 미크론(5 내지 30 마이크로 인치)인 것을 특징으로 하는 전기 증착 박막 제조장치.
제23항에 있어서, 상기 표면 조도는 0.125 미크론 내지 0.75 미크론(5 내지 30 마이크로 인치)인 것을 특징으로 하는 전기 도금 박막 제조장치.