KR960002275B1 - 집적회로 검사장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

집적회로 검사장치

제1도는 본 발명의 1실시예를 나타낸 도면.

제2도는 본 발명의 1실시예를 설명하기 위한 타이밍도.

제3도는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 도면.

제4도는 본 발명의 또 다른 실시예를 나타낸 도면.

제5도는 종래의 기술을 나타낸 도면.

제6도는 종래의 기술을 설명하기 위한 타이밍도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 피평가집적회로(DUT : Device Under Test)

20 : DUT(10)와 압력계(30)을 접속하는 신호선

30 : 압력계 40 : 압력계(30)와 판단회로(50)을 접속하는 신호선

50 : 패스(pass)/페일(fail)을 판단하는 판단회로

60 : 셀렉터 70,71 : 스트로브(strobe)위치를 전송하는 신호선

80,90 : 기대치를 전송하는 신호선

91 : 셀렉선(60)의 출력을 판단회로(50)로 전달하는 신호선

100 : 판단회로(50)와 표시기(110)를 접속하는 신호선

110 : 표시기 200 : 기준전압발생기

210,211 : 기준전압발생기(200)와 비교기군(220)을 접속하는 신호선

220 : 비교기군(比較器群)

230 : 비교기군(220)과 판단회로(50)를 접속하는 신호선.

[산업상의 이용분야]

본 발명은 집적회로를 검사하는 집적회로 검사장치에 관한 것으로, 특히 출력신호의 상승, 하강의 타이밍이 다른 집적회로의 검사를 효율적으로 행할 수 있는 집적회로 검사장치에 관한 것이다.

[종래의 기술 및 그 문제점]

집적회로중에는 클럭에 동기하여 내부회로가 동작하는 것이 있고(클럭동기식 회로), 마찬가지로 출력신호 및 입력신호도 클럭에 동기하는 것이 있다. 또, 클럭동기식에서도 클럭의 상승에 동기하는 것과 클럭의 하강에 동기하는 것의 2종류가 있다.

통상, 집적회로의 검사에는 집적회로 검사장치(IC 테스터)를 사용하고, 검사로는 기능검사(function 檢査)와 AC 특성검사 및 DC 특성검사로 크게 나눌 수 있다. 클럭동기식 집적회로의 기능검사는 각 핀의 클럭마다 준비되어 있는 기대치와 실행결과를 결정된 타이밍으로 비교하는 것이다. 통상의 집적회로의 출력은 하이레벨과 로우레벨의 2값 또는 하이임피던스를 포함하는 3값이 많다.

이하, 제5도 및 제6도를 참조하여 2값의 출력레벨을 갖춘 클럭동기식 집적회로를 일예로 하여 종래 기술을 설명한다.

제5도는 종래 기술의 회로구성을 나타낸 것으로, 피평가집적회로[被評價集積回路(DUT : Device Under Test) ; 10]와 신호선(20), 전압계(30), 신호선(40), 패스(pass)/페일(fail)을 판단하는 판단회로(50), 결과를 기대치와 비교하는 타이밍(이하, 스트로브위치라 칭한다)을 지시하는 신호선(70), 기대치를 전송하는 신호선(80), 판단회로(50)의 결과를 전송하는 신호선(100) 및 판단회로(50)의 출력결과(즉, 기대치와의 일치 또는 불일치)를 표시하는 표시기(110)에 의해 구성되어 있다.

DUT(10)의 출력(전압)은 신호선(20)을 통하여 전압계(30)로 입력된다. 전압계(30)에서 전압을 측정하고, 그 결과를 신호선(40)을 이용하여 판단회로(50)로 입력한다. 이 판단회로(50)에서는 전압계(30)의 출력이외에 스트로브 위치가 신호선 (70)을 이용하여 입력되고, 또한 기대치(하이레벨과 로우레벨중 어떤 것) 및 기대치(하이레벨과 로우레벨)에 대응하는 전압정보가 신호선(80)을 이용하여 입력된다. 그리고, 전압계(30)로부터 입력된 결과가 신호선(70)에 의해 나타내는 스트로브위치에서 신호선(80)에 의해 입력된 기대치(기준전압)와 비교되어 패스/페일의 판단이 행해진다. 그후, 판단결과를 신호선(100)을 이용해 표시기(110)로 전송하여 표시한다.

다음으로, 제6도를 참조하여 종래 기술을 설명한다. 제6도는 클럭동기식 집적회로의 출력신호의 변화와 클럭신호와의 타이밍을 나타낸 것으로, 설명할 집적회로의 출력신호의 하강은 클럭의 하강에 동기하고 있고, 출력신호의 상승은 클럭의 상승에 동기하고 있다. 종래의 기술에서는 스트로브위치가 한곳밖에 지정될 수 없으므로, 스트로브위치를 백(白)삼각형의 위치로 한 경우에는 각 타이밍의 기대치는 H, H, L, H, H로 되고, 흑(黑)삼각형의 위치로 한 경우에는 H, L, L, H, H로 된다.

제2클럭의 후반부에서 출력신호가 로우레벨로 변화하고 있는데, 스트로브위치를 백삼각형으로 한 경우에는 그때의 기대치는 H이다. 이 때문에 출력신호가 로우레벨인 것을 검사할 수 있는 것은 제3클럭이다. 즉, 집적회로가 고장나서 제2클럭의 후반부에서 출력신호가 로우레벨로 되지 않더라도 파선(a)으로 나타낸 바와 같이 제3클럭의 전반부까지 로우레벨로 변화하며 마치 정상동작하고 있는 것처럼 보인다. 이 때문에, 스트로브위치는 클럭의 후반부(흑삼각형)로 이동하는 쪽이 바람직하지만, 동일한 문제가 제4클럭의 출력이 상승하는 것에서 발생해 버린다. 즉, 파선(b)으로 나타낸 바와 같이 상승이 지연되어도 정상동작과 구별할 수 없게 된다.

이와 같이 이 집적회로에 있어서 1회만의 평가로는 출력신호가 규정의 타이밍에서 변화하고 있는지의 여부를 검사할 수 없고, 기대치와 스트로브위치를 변화시켜 2회 검사할 필요가 있다.

또, 종래의 기술에 대해 클럭동기식 집적회로를 사용하여 설명했지만, 클럭동기식 집적회로에 한정할 필요는 없고, 클럭비동기시 집적회로에도 동일한 문제가 발생한다.

이상, 설명한 바와 같이 출력신호의 상승, 하강의 타이밍이 다른 집적회로의 검사가 행하는 경우, 종래에는 상승 및 하강에서 공통스트로브위치를 사용하고 있기 때문에, 상승 및 하강에서 별개의 테스트패턴을 작성하여 각각 평가하지 않으면 안되므로 평가의 효율을 현저히 저하시키는 원인으로 되었다.

[발명의 목적]

이에 본 발명은 상기와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 집적회로의 기능검사에 있어서 출력신호의 상승, 하강의 타이밍이 다른 집적회로의 검사를 효율적으로 행할 수 있는 집적회로 검사장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.

[발명의 구성]

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 집적회로 검사장치는, 검사해야 할 회로로부터의 출력신호와 그 기대치를 비교하는 스트로브위치를 나타내는 신호를 출력하는 스트로브신호 출력회로와, 상기 검사해야 할 회로로부터의 출력신호와 상기 기대치 및 상기 스트로브신호 출력회로로부터의 스트로브신호를 입력받아 상기 스트로브신호에 동기하여 상기 출력신호와 상기 기대치를 비교하는 비교판단회로를 구비하고, 상기 스트로브신호 출력회로는 상기 기대치를 입력받아 그 기대치의 값에 따라 상기 기대치로 적합한 스트로브위치신호를 상기 비교판단회로로 출력하는 것을 특징으로 한다.

[작용]

상기한 구성으로 이루어진 본 발명은, 출력신호의 상승, 하강의 타이밍이 다른 집적회로의 기능검사를 행할 때, 상승인지 하강인지에 따라 별개의 스트로브위치를 지정할 수 있는 집적회로 검사장치(IC 테스터)를 제공하는 것이다.

[실시예]

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

제1도는 본 발명의 1실시예에 따른 집적회로 검사장치를 나타낸 것으로, 제5도의 구성요소 이외에 상승에서의 스트로브위치(제6도의 경우에서는 백삼각형의 위치)를 전송하는 신호선(70)과, 하강에서의 스트로브위치(제6도의 경우에서는 흑삼각형의 위치)를 전송하는 신호선(71), 기대치에 의해 신호선(70)과 신호선(71)의 신호를 선택하는 셀렉터(60) 및, 셀렉터(60)에 의해 선택된 스트로브위치를 전송하는 신호선(91)으로 구성되어 있다.

또, 제2도는 본 실시예의 타이밍을 나타낸 것으로, 제6도의 종래예와 대응하고 있다.

DUT(10)의 출력은 신호선(20)을 통하여 전압계(30)로 입력된다. 전압계(30)에서 전압을 측정해서 그 결과를 신호선(40)을 이용하여 판단회로(50)에 입력한다. 여기까지는 종래 기술의 경우와 동일하다.

먼저, 제2클럭부터 설명한다. 제2클럭에서는 기대치가 하이레벨이기 때문에 셀렉터(60)에 의해 하이레벨용 스트로브위치가 선택되고, 판단회로(50)에 이 스트로브위치가 입력된다(제2도의 흑삼각형의 위치). 판단회로(50)에서는 전압계(30)의 출력결과와 스트로브위치이외에 신호선(90)에 의해 기대치 및 기대치에 대응하는 전압정보가 입력된다. 제2클럭에서는 DUT(10)가 바로 하이레벨을 출력하고 있으므로, 표시기(110)는 패스라고 표시한다.

다음으로, 제4클럭에서는 기대치가 로우레벨이므로 셀렉터(60)에 의해 로우레벨용 스트로브위치가 선택되어 판단회로(50)에 이 스트로브위치가 입력된다. 이하, 마찬가지로 처리되어 제4클럭에서는 DUT(10)가 바로 로우레벨을 출력하고 있으므로, 표시기(110)는 패스라고 표시한다.

지금까지는 2값(2값)의 경우에 대해 설명했지만 하이임피던스상태를 포함하는 3값의 경우라도 마찬가지이고, 일반적으로 n값의 경우라도 마찬가지이다.

즉, 제3도는 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 셀렉터(95)는 n개의 스트로브위치신호를 받아서 기대치의 값(이것도 n개)에 따라 그중 1개를 선택하여 판단회로(50)로 출력한다.

또, 제4도는 본 발명의 또 다른 실시예를 나타낸 것으로, 제1도의 구성요소의 일부이다. 즉, 전압계(30)와 신호선(40) 대신에, 기준전압발생기(200)와 비교기군(220), 비교기군(220)에 기준전압발생기(200)에 의해 발생된 기준전압을 입력하는 신호선(210,211) 및 비교기군(220)의 비교결과를 판단회로(50)로 전달하는 신호선(230)으로 구성되어 있다. 판단회로(50)는 비교기군(220)으로부터의 출력패턴에 의해 DUT로부터의 출력신호값을 판단한다.

기본적인 동작은, 제1도에 나타낸 것과 동일하지만, 제4도에서는 기대치에 대응하는 전압정보를 기준전압발생기(200)에 입력하여 비교기군(220)에 의해 비교하는 방법을 채택하고 있다. 물론, 비교기의 수는 필요에 따라 3개 이상 설치하는 경우도 있다. 이 방법은 아날로그비교이고, 제1도에 나타낸 것은 디지탈비교이다. 일반적으로 아날로그비교이고, 제1도에 나타낸 것은 디지탈비교이다. 일반적으로 아날로그비교쪽이 디지탈비교보다 처리속도가 빠르다는 특징이 있다.

한편, 본원 청구범위의 각 구성요건에 병기한 도면참조부호는 본원 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것으로, 본원 발명의 기술적 범위를 도면에 도시한 실시예에 한정할 의도로 병기한 것은 아니다.

[발명의 효과]

이상, 상세히 설명한 바와 같이 본 발명을 이용하면, 출력신호의 상승, 하강의 타이밍이 다른 집적회로의 검사를 행하는 경우에, 상승 및 하강에서 별개의 스트로브위치를 사용할 수 있게 되어 검사의 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.

Claims (4)

1. 집적회로(10)를 검사하기 위한 집적회로(IC) 검사장치에 있어서, 스트로브신호를 출력하는 스트로브신호 집적회로(60)와, 상기 집적회로(10)의 출력신호와 소정의 기준신호 즉 기대치 및 상기 스트로브신호 집적회로(60)로부터의 스트로브신호를 입력받아 상기 스트로브신호에 동기하여 상기 집적회로와 상기 소정의 기준신호를 비교하는 비교판단회로(30,50)를 구비하고, 상기 스트로브신호 집적회로(60)는, 상기 소정의 기준신호를 입력받아 그 기준신호에 따라 상기 스트로브신호를 변경하는 것을 특징으로 하는 집적회로 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 비교판단회로는, 상기 집적회로(10)의 출력신호의 전압을 측정하는 전압계(30)와, 이 전압계(30)의 출력과 상기 소정의 기준신호를 비교하는 회로(50)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 집적회로 검사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 비교판단회로의 출력결과를 표시하기 위해 상기 비교판단회로에 접속된 수단(100,110)을 더 구비한 것을 특징으로 하는 집적회로 검사장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 비교판단회로는, 기대치에 기초해서 2개의 기준전압을 발생시키는 회로(200)와, 상기 검사해야 할 집적회로(10)의 출력신호를 이들 기준전압의 각각의 비교하는 2개의 비교회로(220) 및, 이들 2개의 비교회로(220)로부터의 출력을 받아서 상기 기대치와 상기 검사해야 할 집적회로(10)의 출력신호가 대응하고 있는지의 여부를 판단하는 회로(50)를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 집적회로 검사장치.