KR960001882A - 산화막 식각방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 산화막 식각방법에 관한 것으로, 폴리실리콘과의 높은 식각선택비를 얻기 위한 것이다. 본 발명느 플라즈마를 이용한 산화막의 식각방법에 있어서, 안정화가스로 He과 Ar을 함께 사용하여 산화막을 식각하는 것을 특징으로 하는 산화막 식각방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 산화막 식각공정시 플라즈마 안정화가스로 He과 Ar을 함께 사용함으로써 Ar가스의 단점인 폴리실리콘과의 낮은 식각선택비 문제를 해결하여 폴리실리콘과의 식각선택비를 높일 수 있으며, 로딩효과를 완화시킬 수 있다. 또한, He가스를 단독으로 사용할 경우 스퍼터링 식각효과를 얻을 수 없어 식각속도가 낮아지는 문제를 해결할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 산화막 식각방법의 응용예를 나타낸 도면.
제2도는 본 발명의 산화막 식각방법의 일실시예를 나타낸 도면.
Claims (3)
- 풀러즈마를 이용한 산화막의 식각방법에 있어서, 안정화가스로 He과 Ar을 함께 사용하여 산화막을 식각하는 것을 특징으로 하는 산화막 식각방법.
- 제1항에 있어서, 상기 Ar가스는 300-900sccm 범위내에서 사용하는 것을 특징으로 하는 산화막 식각방법.
- 제1항에 있어서, 상기 He가스는 300-1500sccm 범위내에서 사용하는 것을 특징으로 하는 산화막 식각방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940013739A KR960001882A (ko) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 산화막 식각방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940013739A KR960001882A (ko) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 산화막 식각방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960001882A true KR960001882A (ko) | 1996-01-26 |
Family
ID=66685764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019940013739A KR960001882A (ko) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 산화막 식각방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR960001882A (ko) |
-
1994
- 1994-06-17 KR KR1019940013739A patent/KR960001882A/ko not_active Application Discontinuation
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