KR950021797A - 정전용량형 센서 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 화학 에칭을 필요로 하지 않고, 두께가 얇은 도전성박막을 사용한 정전용량형 센서 및 정전용량형 가속센서 등에 유용한 소형이며 고정밀도의 정전용량형 센서 및 그 제조방법에 있어서, 관통구멍(1a)에 KBr등의 알칼리하라이드재료(2)를 충전하고, 그 표면에 도전성박막(4)를 형성한 후 알칼리할라이드재료(2)를 도면에 의해 용해제거하므로서, 소형이고 고감도의 정전용량형 압력센서를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 절연체판(1)의 두께방향으로 형성한 관통구멍(1a)를 KBr등의 알칼리할라이드재료(2)를 용해해서 충전한다. 관통구멍(1a)에 메워진 알칼리할라이드재료(2)및 그 주변의 표면에 도전성박막(4)를 형성한 후, 수세에 의해 알칼리할라이드재료(2)를 용해해서 제거하고, 관통구멍(1a)와 도전성박막(4)로 다이아프램을 구성한다. 도전성박막(4)의 앞뒤면의 압력차에 의한 다이아프램의 변형을 도전성박막(4)와 전극층(6)의 사이의 정전용량의 변화로서 검지할 수 있는 것을 특징으로 한것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 정전용량형 압력센서의 일실시예의 구성을 표시한 단면도.
제2도는 본 발명의 정전용량형 압력센서의 제조방법의 일실시예를 표시한 공정도.
Claims (14)
- 두께방향으로 관통구멍을 가진 절연체판과, 상기 절연체판의 한쪼기표면에 형성되어 상기 관통구멍을 덮는 도전성박막과, 상기 절연체판의 다른쪽 표면에 형성되어 적어도 상기 관통구멍을 덮는 전극층과, 상기 전극층과 함께 상기 절연체판을 지지하는 베이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 제1항에 있어서, 도전성박막의 두께가, 10㎚이상 5㎛이하인 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 전극층은 베이스표면에 형성되고, 절연체판의 다른쪽 표면에 기계적으로 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 전극층은 베이스표면에 형성되고, 절연체판의 다른쪽 표면에 접착제에 의해 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 정전용량형 센서가 정전용량형 압력센서인 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 관통구멍과는 반대의 도전성박막의 표면에 추(錘)를 형성하고, 정전용량형 가속도 센서에 형성한 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 두께방향으로 관통구멍을 가진 절연체판과, 상기 절연체판의 한쪽표면에 형성되어 상기 관통구멍을 덮는 도전성박막과, 상기 절연체판의 다른쪽 표면에 형성되어 적어도 상기 관통구멍을 덮는 전극층과, 상기 전극층과 함께 상기 절연체판을 지지하는 베이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서로서, 두께방향으로 관통구멍을 가진 절연체판의 한쪽면을 소정의 평면도를 유지@@@@@@@@절연체판의 다른쪽면으로부터 알칼리할라이드재료를 용융해서 관통구멍을 메우고, 상기 알칼리할라이드재료를 냉각하고, 상기 유지기반에 의해 유지된 쪽의 상기 관통구멍을 메운 알칼리할라이드재료의 표면을 평탄화하고, 상기 유지기반으로부터 상기 절연체판을 떼앤고, 상기 관통구멍을 메운 알칼리할라이드재료 및 그 주변부를 덮도록 도전성박막을 퇴적하고, 수세에 의해 상기 알칼리할라이드재료를 용해제거하고, 상기 절연체판의 다른쪽면에 대향전극이 되는 도전면을 가진 베이스를 접합하는 것을 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서.
- 제7항에 있어서, 알칼리할라이드재료가, Na, K및 Cs로부터 선택된 적어도 1종의 알칼리금속원소와, F, Cl, Br 및 I로부터 선택된 1종의 할로겐원소와의 화합물의 돌소금형결정인 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 알칼리할라이드재료가, NaF, NaCl, KCl, KBr, CsBr, Kl및 Csl로부터 선택되는 적어도 하나의 소금인 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 도전성박막의 두께가, 10㎚이상 5㎛이하인 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 전극층을 베이스표면에 형성하고, 절연체판의 다른쪽 표면에 기계적을 밀착하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 전극층을 베이스표면에 형성하고, 절연체판의 다른쪽 표면에 접착제의 의해 접착된 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 정전용량형 센서가, 정전용량형 압력센서인 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 관통구멍과는 반대의 도전성박막의 표면에 추를 형성하고,정전용량형 가속도센서에 형성한 것을 특징으로 하는 정전용량형 센서의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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