KR950004384A - 열처리장치 - Google Patents

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Abstract

열처리를 하기 위한 처리실과, 처리실내에 피처리체를 반입하고, 열처리된 피처리체를 반출하는 반송수단과, 이 처리실내에 있어서 반입된 피처리체를 유지하는 유지수단과, 이 유지된 피처리체를 소정온도로 가열하도록 피처리체의 윗쪽 및 아래쪽에 배치되고, 또 피처리체와의 사이에 균열부재가 장착된 면형상 가열체를 구비하고 있다. 처리실내에 수평으로 유지된 가열체가 그 상하면에 대향하여 설치됨과 동시에 소정온도로 제어된 면형상 가열체에 의하여 균열부재를 통하여 가열되기 때문에 피처리체를 그 구경에 불구하고 승온중에 면내 균일한 온도분포를 이루도록 더구나 재현성 좋고, 또 신속하게 가열하는 것이 가능하게 된다. 상부벽으로 부터 측부벽에서의 변화부 또는 하부벽으로 부터 축부벽으로의 변화부는 굴곡되거나 경사되어 있기 때문에 상부벽 중심으로 부터 도입된 프로세스가스는 어깨부의 형상에 의하여 종축 대칭의 흐름이 확보된다. 이것에 의하여 도입직후에 발생하기 쉬운 와류나 난류가 방지된다. 또 피처리체의 온도분포가 균일하게 되고, 처리의 면내 균일성이 향상된다.

Description

열처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 열처리장치의 제1실시예를 나타내는 측면도, 제2도는 제1도의 열처리장치의 평단면도, 제3도는 반송아암의 사시도, 제4도는 반출실의 확대 측면도, 제5도는 처리실내에 온도균배를 형성하는 웨이퍼를 소정온도로 상승가열하는 경우를 설명하는 도면.

Claims (21)

  1. 열처리를 하기 위한 처리실과, 열처리실내에 피처리체를 반입하고, 열처리된 피처리체를 반출하는 반송수단과, 이 처리실내에 있어서, 반입된 피처리체를 유지하는 유지수단과, 이 유지된 피처리체를 소정온도로 가열하도록 피처리체의 윗쪽 및 아랫쪽에 설치되고, 피처리체와의 사이에 균열부재가 장착된 면형성 가열체를 구비하는 열처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 면형상 가열체는 피처리체의 윗쪽에 위치하는 중앙부와, 피처리체의 경사 윗쪽에 위치하는 가장자리부를 포함하고, 이 중앙부와 가장자리부와의 사이에는 반차가 형성되어 있는 열처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 면형상 가열체의 중앙부와 이것의 가장자리부는 평행하게 배치되어 있는 열처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 반송수단은 처리실의 수평방향으로부터 피처리체를 반입하고, 반출하는 열처리장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 반송수단은 처리실의 개구에 배치된 열처리용 게이트 밸브와, 기밀차단용 게이트밸브를 포함하고 있는 열처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 면형상가열체의 온도를 제어하기 위한 제어수단이 더욱 구비되고, 이 제어수단은 면형상가열체의 중앙부와 가장자리부를 독립하여 제어하는 열처리장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 반송수단은 피처리체를 피복하면서 유지부에 피처리체를 건너주기위한 커버부재를 포함하고 있는 열처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 반송수단은 열처리를 종료하여 처리실로 부터 로드록실에서 반출된 피처리체를 냉각 또는 가열하는 수단을 포함하고 있는 열처리장치.
  9. 제1항에 있어서, 처리가스를 처리실내에 공급하는 가스공급수단과, 처리실로부터 처리가스를 공급하고, 가스배출수단이 더욱 구비되어 있는 열처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 가스공급수단은 처리가스를 처리실의 윗쪽 또는 아랫쪽으로부터 처리실로 공급하고, 가스배출수단은 처리가스를 처리실의 아랫쪽 또는 윗쪽을 통하여 배출하는 열처리장치.
  11. 제9항에 있어서, 가스공급수단은 가스를 처리실의 옆쪽으로부터 처리실내에 공급하고, 가스배출수단은 처리가스를 처리실의 반대쪽의 옆쪽을 통하여 배출하는 열처리장치.
  12. 열처리를 하기 위한 처리실과, 처리실내에 열처리체를 반입하고, 열처리된 피처리체를 반출하는 반송수단과, 이 처리실내에서 반입된 피처리체를 유지하기 위한 유지수단과, 이 유지된 피처리체를 소정온도로 가열하도록 피처리체의 윗쪽 및 아랫쪽에 설치되고, 또 피처리체와의 사이에 균열부재가 장착된 면형상 가열체와, 처리실을 구성하는 상부벽과, 측부벽과, 하부벽을 가지는 벽구조를 구비하고, 상부벽으로 부터 측부벽으로 변화부 또는 하부벽으로 부터 측부벽으로의 변화부는 만곡되거나 또는 경사되어 있는 열처리장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 변화부와, 피처리물의 중심과의 사이의 거리가 상기 변화부와 피처리물의 주연과의 거리보다도 길게 되어 있는 열처리장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 면형상가열체는 변화부의 바깥쪽에서 변화부에 따라서 형성되어 있는 열처리장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 균열부재는 상기 변화부와 면형상가열체와의 사이에서 변화부에 따라서 형성되어 있는 열처리장치.
  16. 제12항에 있어서, 처리가스를 처리실내에 공급하는 가스공급수단과, 처리실로부터 처리가스를 배출하는 가스배출수단이 더욱 구비되어 있는 열처리장치.
  17. 제16항에 있어서, 가스공급수단은 처리가스를 처리실의 윗쪽 또는 아래쪽으로 부터 처리실로 공급하고, 가스배출수단은 처리가스를 처리실의 아랫쪽 또는 윗쪽을 통하여 배출하는 열처리장치.
  18. 제16항에 있어서, 가스공급수단은 처리가스를 처리실 옆쪽으로부터 처리실내에 공급하고, 가스배출수단은 처리가스를 처리실의 반대쪽의 옆쪽을 통하여 배출하는 열처리장치.
  19. 제12항에 있어서, 상기 유지수단은 피처리체를 유지한후 승강하고, 피처리체의 위치를 조종하는 열처리장치.
  20. 제12항에 있어서, 상기 면형상가열체는 링형상 또는 나선형상의 저항발열체를 포함하고, 상기 벽구조는 이 저항발열체의 포위하여 지지하는 복수의 단열 피스부재를 포함하고, 이들 단열피스부재는 상기 변화부에 따라서 배치되어 있는 열처리장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 복수의 단열피스부재는 복수의 존으로 분할되고 상기 벽구조는 이들의 존사이의 열유통을 저지하는 차열벽을 포함하고 있는 열처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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