KR950002866A - 회전컵식 도포장치 - Google Patents

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KR950002866A
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히로요시 사고
히데유키 미즈키
가츠히코 쿠도
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나카네 히사시
도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
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Abstract

본 발명은 베이스; 상기 베이스에 설치된 회전 자재의 인너 컵; 상기 베이스에 고정 설치되고, 상기 인너 컵 주위까지 연장되는 아웃터 컵; 도포될 피처리물을 지지하기 위해 상기 인너 컵의 중앙부에 상하운동 가능하게 설치된 척; 상기 인너 컵을 회전하는 모터; 및 상기 인너 컵과 상기 척이 서로 맞물리도록 상기 인너 컵과 상기 척상 계합부를 설치하여 상비 모터에 의해 상기 인너 컵을 통해 상기 척이 회전하도록 구성된 회전컵식 도포장치에 관한 것으로서, 실린더 유니트를 연장하여 척 상면을 인너 컵 상면보다 높이 들어 올려진 상태에서 판상 피처리물 W의 수납과 이송을 행하고, 이 상태에서 계합부는 떨어지고 스토퍼는 구멍이 삽입되어 척은 회전하지 않는다. 그리하여 실린더 유니트를 압축하여 척을 최하위로 위치시키면 계합부가 맞물려 모터에 의해 회전되는 인너 컵의 회전이 척에 전달될 수 있는 상태로 된다.

Description

회전컵식 도포장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명에 관한 회전컵식 도포장치의 단면도이다. 제 2 도는 회전컵식 도포장치의 요부확대 단면도이다. 제 3 도는 종래의 회전컵식 도포장치의 단면도이다.

Claims (8)

  1. 베이스; 상기 베이스에 설치된 회전 자재의 인너 컵; 상기 베이스에 고정 설치되고, 상기 인너 컵 주위까지 연장되는 아웃터 컵; 도포될 피처리물을 지지하기 위해 상기 인너 컵의 중앙부에 상하운동 가능하게 설치된 척; 상기 인너 컵을 회전하는 모터; 및 상기 인너 컵과 상기 척이 서로 맞물리도록 상기 인너 컵과 상기 척상 계합부를 설치하여 상기 모터에 의해 상기 인너 컵을 통해 상기 척이 서로 회전하도록 구성된 회전컵식 도포장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 척상에 피처리물을 수납하는 상승위치와 상기 인너 컵과 상기 척이 상기 계합부에 의해 맞물리게 하는 하강위치 사이에 상하운동 가능하게 척부재를 설치한 회전컵식 도포장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 척이 상승위치인 경우 상기 척이 회전이 정지되는 부재를 갖는 회전컵식 도포장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 계합부가 상기 척과 상기 인너 컵에 설치된 투쓰에 의해 형성된 회전컵식 도포장치.
  5. 회전 인너 컵; 인너 주위에 배치된 고정 아웃터 컵; 도포될 피처리물을 지지하기 위해 인너 컵의 중앙부에 상하운동 가능하게 설치된 척; 상기 회전 인너 컵과 상기 척이 동시에 회전하도록 계합하는 계합부재 및 상기 회전 인너 컵을 회전시키는 부재로 구성된 회전컵식 도포장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 피처리물을 척에서 수납하는 상승위치와 상기 인너 컵과 상기 척이 계합부에 의해 맞물리게 하는 하강위치 사이에 상하운동 가능하게 척부재를 설치한 회전컵식 도포장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 척이 상승위치인 경우 상기 척이 회전이 정지되는 부재를 갖는 회전컵식 도포장치.
  8. 제 5 항에 있어서, 계합부가 상기 척과 상기 인너 컵에 설치된 투쓰에 의해 형성된 회전컵식 도포장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940017670A 1993-07-26 1994-07-21 회전컵식 도포장치 KR100235244B1 (ko)

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