KR940704000A - 작은 샘플 셀을 위한 무반사 타원형 측정 장치 및 그 방법(reflection-free ellipsometry measurement apparatus and method for small sample cells) - Google Patents

작은 샘플 셀을 위한 무반사 타원형 측정 장치 및 그 방법(reflection-free ellipsometry measurement apparatus and method for small sample cells)

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Abstract

셀 내의 시험편(96) 근처에 배치된 투명 덮개(94)를 갖는 타원측정 셀이 제공됨으로서, 시험편을 작은 양의 습식 화학제로 처리하는 것을 가능케 하고, 또한 외각(98,100) 및 내부(104) 덮개 표면으로부터 탐색 빔(106)을 부분 반사시켜 타원측정의 간섭을 방지한다. 이것은, 타원측정 빔(106)과 그 반사(108,110,112)를 다른 각도롤 향하게 하는 덮개를 구성함으로서 달성되는데, 그래서 그것의 반사가 아니라 빔이 타원측정기(20)로 들어간다. 덮개는 바람직하게 빔 입구 및 출구 윈도우가 중앙의 융기(102)로부터 대칭으로 점점 낮아지고 그 내부 표면(104)이 셀 베이스에 대해 거의 평탄하고 평행한 각을 갖는 외각 표면(98,100)을 갖는다.

Description

작은 샘플 셀을 위한 무반사 타원형 측정 장치 및 그 방법(REFLECTION-FREE ELLIPSOMETRY MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD FOR SMALL SAMPLE CELLS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 상술된 종래의 타원측정 시스템도, 제 2 도 내지 제 4 도는 상술된 여러 종류의 빔 윈도우를 이용하는 종래의 타원 측정 시험편 하우징의 단순 정면도, 제 5 도는 상술된 반도체 웨이퍼를 청정하고 처리하는데 사용된 작은 체적의 셀의 단면도, 제 6 도는 타원측정 동안 제 5 도의 셀이 접하게 되는 반사 문제를 예시하는 부분 단면도, 제 7 도는 본 발명에 따른 신규한 타원측정 셀 덮개의 단순 부분 단면도, 제 8 도는 제 7 도 보다 더 정확한 척도인 본 발명에 의해 제공된 새로운 셀 덮개의 부분 단면도.

Claims (19)

  1. 타원형으로(ellipsometrically) 분석된 샘플을 지지하기 위한 수단, 타원으로(elliptically) 분극된 빔을 상기 샘플로 향하게 하기 위한 수단, 및 상기 샘플로부터 반사된 빔을 분석하기 위한 수단을 갖는 타원측정 시스템(ellipsometry system)에 있어서, 상기 샘플을 내포하기 위한 하우징과 상기 빔을 거의 투과시키거나 일부 빔은 부분적으로 반사시키는 것으로서, 윈도우 반사가 아니라 상기 빔(beam but not said window reflections)이 상기 분석 수단에 들어갈 수 있도록 상기 빔과 윈도우 반사를 다른 각도로 향하게 하도록 구성되어 있는 상기 하우징을 위한 입구 및 출구 윈도우(entrance and exit windows)로서 상기 샘플 지지 수단을 제공하는 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 윈도우는 상기 하우징을 위한 각각의 단일 덮개부분들을 구비하고, 상기 윈도우 부분들은 상기 빔을 향해 각각 다른 각도로 배향되어 있는 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 덮개의 내부 표면은 거의 평탄하고 외각 표면은 융기로부터 각 측면으로 점점 낮아지며(tapers on each side from a ridge), 상기 융기의 반대쪽은 상기 입구 및 출구 윈도우를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 덮개의 내부 표면은 상기 빔 배향 수단 및 상기 분석 수단의 축과 거의 같은 각도로(at a substantially equal angles) 배치되어 있고, 상기 융기 각 측면 상의 그 외각 표면은 거의 편탄한 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 입구 및 출구 윈도우의 외각 표면은 덮개의 내부 표면과 거의 같은 각도로 배치되어 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 입구 및 출구 윈도우는 상기 융기의 반대쪽 상에서 거의 대칭인 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  7. 제 3 항에 있어서, 상기 입구 및 출구 윈도우의 외각 표면은 덮개의 내부 표면에 대해 약 1°-5°범위 내의 각도로 배치되어 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  8. 제 3 항에 있어서, 상기 하우징은 상기 입구 윈도우의 내부 표면을 벗어나는 상기 빔의 반사가 상기 입구 윈도우의 외각 표면을 통해 하우징을 빠져나갈 수 있도록 상기 빔 배향 수단에 대해 위치조정되어 있는 것을 특징으로 하는 타원측정 시스템.
  9. 타원 분석을 위한 샘플 지지용 셀에 있어서, 베이스, 상기 베이스에 대해 샘플을 지지하기 위한 수단, 내부 및 외각 표면을 갖는 거의 투명한 덮개, 및 상기 베이스에 대해 밀폐관계로 상기 덮개를 지지하기 위한 수단을 구비하고, 상기 덮개는 상기 덮개를 통해 전달되고 상기 덮개를 통해 다시 나오는 셀 내의 샘플을 벗어나 반사되는 타원 분석 빔에 응답하여, 덮개의 상부 및 하부 표면에서 나오는 빔의 주 반사가 분석 빔과는 다른 각도로 셀을 빠져나오게 배향되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 타원 분석을 위한 샘플 지지용 셀.
  10. 제 9 항에 있어서, 외각 덮개 표면은 베이스에 대해 각각 다른 각도로 배향되어 있는 복수의 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 타원분석을 위한 샘플 지지용 셀.
  11. 제10항에 있어서, 외각 덮개 표면은 융기의 각 측면으로부터 점점 낮아지는 거의 평탄한 한쌍의 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 타원 분석을 위한 샘플 지지용 셀.
  12. 제11항에 있어서, 내부 덮개 표면은 거의 평탄한 것을 특징으로 하는 타원 분석을 위한 샘플 지지용 셀.
  13. 제12항에 있어서, 상기 외각 덮개 표면 부분은 덮개의 내부 표면과 거의 같은 각도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 타원 분석을 위한 샘플 지지용 셀.
  14. 제12항에 있어서, 상기 외각 덮개 표면 부분은 덮개의 내부 표면에 대해 1°-5°범위 내의 각도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 타원 분석을 위한 샘플 지지용 셀.
  15. 샘플을 타원형으로 분석하기 위한 방법에 있어서, 거의 투명한 입구 윈도우를 통해 타원형으로 분극된 빔을 상기 샘플로 향하게 하고, 상기 샘플을 벗어나 거의 투명한 출구 윈도우를 통해 상기 빔을 반사시키는 단계, 반사된 빔을 분리하기 위해 상기 입구 및 출구 윈도우에서 나오는 상기 빔의 표면 반사를 다른 각도로 상기 반사된 빔으로 향하게 하는 단계, 및 상기 표면 반사가 아니라 상기 반사된 빔을 검출하고 분석하기 위해 타원측정 분석기를 위치조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원측정 분석 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 타원 분석 이전에 상기 샘플을 화학적으로 처리한 후, 원위치에서 상기 타원분석을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 타원측정 분석 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 입구 및 출구 윈도우는 상기 샘플과 접하는 평탄한 공통 표면과 상기 샘플에서 벗어나 다른 각도로 접하는 각각의 외각 표면이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 타원측정 분석 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 입구 윈도우는 상기 빔이 샘플에 부딪치는 각도를 변경시키기 위해 상기 빔을 굴절시키며, 상기 변경된 각도를 보상하기 위해 상기 타원측정 분석을 보정하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 타원측정 분석 방법.
  19. 제15항에 있어서, 상기 입구 및 출구 윈도우를 통해 상기 빔의 전달로 인한 타원형 판독의 변화를 보상하기 위해 상기 타원 분석을 보정하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 타원측정 분석 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940702391A 1992-11-12 1993-11-09 작은 샘플 셀을 위한 무반사 타원형 측정 장치 및 그방법 KR100189596B1 (ko)

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