KR940018647A - 미소갭폭측정방법 - Google Patents

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KR940018647A
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케이시 쿠보
케이이치 요시즈미
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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Abstract

본 발명은, 자기기록장치등의 자기헤드갭의 갭폭측정방법에 관한 것으로서, 자기헤드등의 0.2㎛ 이하의 종래의 광학적수법에서는 계측불가능한 미소한 갭폭을 고정밀도로 측정할 수 있는 미소갭폭측정방법을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 끝이 예리하게 뾰족한 탐침(1)과 샘플(5)과, 탐침(1)과 샘플(5)사이에 가해지는 압력을 일정하게 하는 피드백기능과, 탐침(1)과 샘플(5)의 위치를 상대이동시키는 스테이지(6)와, 탐침(1)과 샘플(5)사이에 바이어스전압을 인가하는 전원(3)과, 탐침(1)과 샘플(5)사이에 흐르는 전류를 검출하는 앰프(4)와, 신호처리하는 컴퓨터(10)에 의해 구성하고, 상기 바이어스전압 인가수단에 교류전원을 사용하고, 앰프의 출력중 교류전원에 동기한 신호를 검출하여 샘플링하므로써 주사방향의 도전성 재료와 비도전성재료로 형성된 샘플(5)의 미세한 갭폭을 계측하는 것을 특징으로 한다.

Description

미소갭폭측정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 제 1 실시예에 있어서의 갭폭측정방법의 동작원리를 표시한 설명도, 제 2 도는 본 발명의 제 2 실시예에 있어서의 갭폭측정방법의 동작원리를 표시한 설명도, 제 3 도는 본 발명의 제1 또는 제 2 실시예에 있어서의 갭폭측정방법의 탐침과 샘플의 구성을 표시한 설명도.

Claims (3)

  1. 끝이 예리하게 뾰족한 도전성의 탐침과, 상기 탐침을 장착한 외팔보와, 상기 탐침에 대향해서 설치되고 도전성재료와 비도전성재료에 의해 형성된 갭을 가진 샘플과, 상기 샘플을 XYZ의 3방향으로 이동시키는 스테이지와, 상기 탐침과 상기 샘플사이에 전압을 인가하는 바이어스전원과, 상기 탐침과 상기 샘플사이에 흐르는 접촉전류를 검출하는 앰프와, 상기 샘플이 상기 탐침에 접촉하므로써 휘어지는 상기 외팔보의 휘어짐량을 검출하는 미소변위검출부와, 상기 외팔보의 휘어짐량을 상기 미소변위검출부에 의해 검출하여 일정한 휘어짐량이 되도록 상기 샘플의 상기 탐침방향으로의 위치를 변화시키도록 상기 스테이지에 피드백제어하는 서보부와, 상기 스테이지를 상기 샘플상의 도전성재료의 비도전성재료에 의해 형성된 갭방향으로 주사하는 동시에 상기 접촉전류를 검출하는 앰프의 출력을 샘플링하므로서 주사방향의 도전성재료와 비도전성 재료에 의해 형성된 갭폭을 계측하는 계측수단을 구비한 것을 특징으로 하는 미소갭폭측정방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 바이어스전압인가수단에 교류전원을 사용하고, 상기 청구범위 제 1 항 기재의 앰프의 출력중 상기 교류전원에 동기한 신호를 검출하여 샘플링하므로서 주사방향의 도전성재료와 비도전성재료에 의해 형성된 갭폭을 계측하는 것을 특징으로 하는 미소갭폭측정방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 도전성의 탐침에 ZnO2제의 위스커를 사용한 것을 특징으로 하는 미소갭폭측정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940000275A 1993-01-12 1994-01-10 미소갭폭측정방법 KR0126250B1 (ko)

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