KR940014322A - N, n-이치환 설폰아미드 및 이로부터 제조한 방사선 민감성 혼합물 - Google Patents
N, n-이치환 설폰아미드 및 이로부터 제조한 방사선 민감성 혼합물 Download PDFInfo
- Publication number
- KR940014322A KR940014322A KR1019930027408A KR930027408A KR940014322A KR 940014322 A KR940014322 A KR 940014322A KR 1019930027408 A KR1019930027408 A KR 1019930027408A KR 930027408 A KR930027408 A KR 930027408A KR 940014322 A KR940014322 A KR 940014322A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- radical
- compound
- radiation sensitive
- alkyl
- acid
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C311/00—Amides of sulfonic acids, i.e. compounds having singly-bound oxygen atoms of sulfo groups replaced by nitrogen atoms, not being part of nitro or nitroso groups
- C07C311/50—Compounds containing any of the groups, X being a hetero atom, Y being any atom
- C07C311/52—Y being a hetero atom
- C07C311/53—X and Y not being nitrogen atoms, e.g. N-sulfonylcarbamic acid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
본 발명은 일반식 R1[-N(CO-OR2)-SO2-R3]n(I) 및 R1[-SO2-N(CO-OR2)-R3]n(Ⅱ)의 N,N-이치환 실폰아미드[여기서, R1은, n이 1인 경우, (C1-C20)알킬, (C3-C10)사이클로알킬, (C6-C14)아릴 또는 (C7-C20)아르알킬 라디칼이고, n>1인 경우, (C1-C20)알칸 또는 (C5-C7)사이클로알칸, 축합되지 않거나 축합된 일핵 또는 다핵 (C6-C18) 방향족 화합물의 2-, 3- 또는 4가 라디칼이며, R2는 (C3-C11)알킬, (C3-C11)알케닐 또는 (C7-C11)아르알킬 라디칼이고, R3은 치환되지 않거나 치환된 (C1-C6)알킬, (C3-C6)사이클로알킬, (C6-C14)아릴 또는 (C7-C20)아르알킬 라디칼이다]에 관한 것이다. 또한 본 발명은 화학선의 영향하에서 산을 형성하는 화합물(a), 수성 알칼리 현상액 중에서 분해 생성물이 출발 화합물 보다 용해도가 더 큰 산-분해가능한 화합물(b)(여기서, 화합물(b)은 일반식(Ⅰ) 또는 (Ⅱ)의 설폰아미드이다) 및 물에는 불용성이지만 수성 알칼리 용액는 가용성이거나 적어도 팽윤성이 중합체성 결합제(c)를 함유하는 포지티브 방사선 민감성 혼합물에 관한 것이다. 본 발명에 따른 혼합물은 특히 옵셋 인쇄판 및 감광성 내식막을 제조하는데 적합하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (10)
- 일반식 R1[-N(CO-OR2)-SO2-R3]n(I) 또는 R1[-SO2-N(CO-OR2)-R3]n(Ⅱ)의 N,N-이치환 실폰아미드[여기서, R1은, n이 1인 경우, (C1-C20)알킬, (C3-C10)사이클로알킬, (C3-C14)아릴 또는 (C7-C20)아르알킬 라디칼(여기서, 알킬을 함유하는 라디칼중 개개의 메틸렌 그룹은 헤테로원자에 의해 임의로 치환된다)이고, n이 2, 3 또는 4인 경우, (C1-C20)알칸 또는 (C5-C7)사이클로알칸의 n가 라디칼(여기서, n가 (C3-C20)알칸 라디칼중 개개의 메틸렌 그룹은 헤테로원자, (C5-C7)사이클로알칸 라디칼 또는 페닐렌에 의해 임의로 치환된다) 또는 축합되지 않거나 축합된 일핵 또는 다핵 (C6-C18) 방향족 화합물의 n가 라디칼이며, R2는 (C3-C11)알킬, (C3-C11)알케닐 또는 (C7-C11)아르알킬 라디칼이고, R3은 치환되지 않거나 치환된 (C1-C6)알킬, (C3-C6)사이클로알칸, (C6-C14)아릴 또는 (C7-C20)아르알킬 라디칼이며, n가 1내지 4의 정수이다].
- 제 1 항에 있어서, 라디칼 R1에 있어서 3개 이하의 메틸렌 그룹이 헤테로원자, 특히 산소원자, 사이클로알킬렌 및/또는 페닐렌에 의해 치환된 설폰아미드.
- 제 1항 또는 제 2 항에 있어서, n이 1 또는 2인 설폰아미드.
- 제 1 항에 있어서, n이 2인 경우, 라디칼 R1의 일반식 -A-X-B-(여기서, X는 C-C 단일결합, 메틸렌 그룹 또는 산소원자이고, A 및 B는 각각 독립적으로 아릴렌, 특히 오르토-, 메타- 또는 파라-페닐렌, 또는 사이클로알칸디일, 특히 사이클로헥산디일이다)인 설폰아미드.
- 제 1 항에 있어서, R2가 이소프로필, 2급--부틸 또는 3급-부틸 라디칼인 설폰아미드.
- 화학선의 영향하에서 산을 형성하는 화합물(a), 수성-알칼리 현상액 중에서의 분해 생성물이 출발 화합물보다 용해도가 더 큰 산-분해가능한 화합물(b)(여기서, 산-분해가능한 화합물(b)는 제 1 항 내지 제 5 항중의 어느 한 항에 따른 이치환 설폰아미드이다) 및 물에는 불용성이지만 수성 알칼리 현상액에는 가용성이거나 적어도 팽윤성인 중합체성 유기 결합체(c)를 포함하는 방사선 민감성 혼합물.
- 제 6 항에 있어서, 산-형성 성분(들)(a)의 비율이 각각의 경우에 혼합물중의 고체의 총 중량을 기준으로 0.1 내지 20%, 바람직하게는 0.2 내지 10중량%인 방사선 민감성 혼합물.
- 제 6 항에 있어서, 산-형성 화합물(들)(a)의 비율이 각각의 경우에 혼합물중의 고체의 총 중량을 기준으로 5 내지 50%, 바람직하게는 10 내지 30중량%인 방사선 민감성 혼합물.
- 제 6 항에 있어서, 중합체성 결합체(c)의 비율이 각각의 경우에 혼합물중의 고체의 총 중량을 기준으로 30 내지 90중량%, 바람직하게는 55 내지 85중량%인 방사선 민감성 혼합물.
- 기재 및 방사선 민감성 층(여기서, 방사선 민감성 층은 제 6 항 내지 제 9 항중의 어느 한 항에 따른 방사선 민감성 혼합물을 포함한다)을 포함하는 기록물질.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4242051A DE4242051A1 (de) | 1992-12-14 | 1992-12-14 | N,N-Disubstituierte Sulfonamide und damit hergestelltes strahlungsempfindliches Gemisch |
DEP4242051.2 | 1992-12-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR940014322A true KR940014322A (ko) | 1994-07-18 |
KR100311848B1 KR100311848B1 (ko) | 2002-08-27 |
Family
ID=6475162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019930027408A KR100311848B1 (ko) | 1992-12-14 | 1993-12-13 | N,n-이치환설폰아미드및이로부터제조한방사선민감성혼합물 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5612169A (ko) |
EP (1) | EP0602376B1 (ko) |
JP (1) | JPH06263716A (ko) |
KR (1) | KR100311848B1 (ko) |
BR (1) | BR9305036A (ko) |
DE (2) | DE4242051A1 (ko) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69706773T2 (de) * | 1996-06-20 | 2002-07-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Positiv arbeitende, bilderzeugende Zusammensetzung |
TWI269940B (en) * | 1999-10-29 | 2007-01-01 | Shinetsu Chemical Co | Resist composition |
JP4029288B2 (ja) | 2003-05-21 | 2008-01-09 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP4081677B2 (ja) | 2003-05-21 | 2008-04-30 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
JP4009852B2 (ja) | 2003-05-21 | 2007-11-21 | 信越化学工業株式会社 | 塩基性化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
TWI296629B (en) * | 2003-06-12 | 2008-05-11 | Shinetsu Chemical Co | Polymerizable ester having sulfonamide structure, polymer, resist composition and patterning process |
JP4355917B2 (ja) | 2003-10-29 | 2009-11-04 | 信越化学工業株式会社 | 含窒素有機化合物、レジスト材料及びパターン形成方法 |
US7276324B2 (en) | 2003-11-14 | 2007-10-02 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Nitrogen-containing organic compound, resist composition and patterning process |
US7297318B2 (en) | 2005-11-17 | 2007-11-20 | J.M. Huber Corporation | Method of removing heavy metals from silicate sources during silicate manufacturing |
JP4784760B2 (ja) | 2006-10-20 | 2011-10-05 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3933894A (en) * | 1966-05-03 | 1976-01-20 | Monsanto Company | N-arylsulfonyl carbamates |
US3779778A (en) * | 1972-02-09 | 1973-12-18 | Minnesota Mining & Mfg | Photosolubilizable compositions and elements |
US3971650A (en) * | 1973-06-29 | 1976-07-27 | Chevron Research Company | Herbicidal N1 -methoxycarbonyl-N1 -alkyl-3,5-dinitro-N4 -N4 -dialkylsulfanilamide |
JPS5343371B2 (ko) * | 1973-12-11 | 1978-11-18 | ||
JPS5115321A (ja) * | 1974-07-30 | 1976-02-06 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd | Sosasochi |
CH621416A5 (ko) * | 1975-03-27 | 1981-01-30 | Hoechst Ag | |
JPS5270020A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-10 | Hokko Chem Ind Co Ltd | Fungicidal composition for agriculture and gardening use |
DE2718254C3 (de) * | 1977-04-25 | 1980-04-10 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Strahlungsempfindliche Kopiermasse |
JPS5461148A (en) * | 1977-10-20 | 1979-05-17 | Nippon Soda Co Ltd | Sulfamoylphenylcarbonates and miticide containing the same |
IT1109386B (it) * | 1977-11-08 | 1985-12-16 | Nippon Soda Co | Composizione acaricida |
DE2829512A1 (de) * | 1978-07-05 | 1980-01-17 | Hoechst Ag | Strahlungsempfindliches gemisch und verfahren zur herstellung von reliefbildern |
DE2829511A1 (de) * | 1978-07-05 | 1980-01-24 | Hoechst Ag | Strahlungsempfindliches gemisch und verfahren zur herstellung von reliefbildern |
DE2928636A1 (de) * | 1979-07-16 | 1981-02-12 | Hoechst Ag | Strahlungsempfindliches gemisch und verfahren zur herstellung von reliefbildern |
US4304834A (en) * | 1979-12-26 | 1981-12-08 | Polaroid Corporation | Novel xanthene compounds and photographic products and processes employing the same |
US4491628A (en) * | 1982-08-23 | 1985-01-01 | International Business Machines Corporation | Positive- and negative-working resist compositions with acid generating photoinitiator and polymer with acid labile groups pendant from polymer backbone |
JPS59204165A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-19 | Sumitomo Chem Co Ltd | N−フェニルカ−バメ−ト系化合物、その製造法およびそれを有効成分とする農園芸用殺菌剤 |
US4602263A (en) * | 1984-09-04 | 1986-07-22 | Polaroid Corporation | Thermal imaging method |
DE3750275T3 (de) * | 1986-06-13 | 1998-10-01 | Microsi Inc | Lackzusammensetzung und -anwendung. |
EP0366590B2 (en) * | 1988-10-28 | 2001-03-21 | International Business Machines Corporation | Highly sensitive positive photoresist compositions |
EP0394191B1 (de) * | 1989-04-14 | 1994-02-02 | Ciba-Geigy Ag | Sulfenylierte Carbaminsäureester |
EP0421388A3 (en) * | 1989-10-03 | 1991-12-18 | Mitsubishi Petrochemical Co., Ltd. | Positive-acting photoresist composition |
DE4112966A1 (de) * | 1991-04-20 | 1992-10-22 | Hoechst Ag | Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und damit hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial |
DE4242050A1 (de) * | 1992-12-14 | 1994-06-16 | Hoechst Ag | Polymere mit N,N-disubstituierten Sulfonamid-Seitengruppen und deren Verwendung |
-
1992
- 1992-12-14 DE DE4242051A patent/DE4242051A1/de not_active Withdrawn
-
1993
- 1993-11-05 DE DE59306262T patent/DE59306262D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-05 EP EP93117979A patent/EP0602376B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-13 KR KR1019930027408A patent/KR100311848B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1993-12-13 JP JP5311775A patent/JPH06263716A/ja active Pending
- 1993-12-13 BR BR9305036A patent/BR9305036A/pt not_active Application Discontinuation
-
1994
- 1994-08-08 US US08/287,054 patent/US5612169A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0602376B1 (de) | 1997-04-23 |
BR9305036A (pt) | 1994-06-21 |
DE4242051A1 (de) | 1994-06-16 |
JPH06263716A (ja) | 1994-09-20 |
DE59306262D1 (de) | 1997-05-28 |
KR100311848B1 (ko) | 2002-08-27 |
US5612169A (en) | 1997-03-18 |
EP0602376A1 (de) | 1994-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR960032093A (ko) | 화학 증폭형 감방사선성 수지 조성물 | |
KR940014322A (ko) | N, n-이치환 설폰아미드 및 이로부터 제조한 방사선 민감성 혼합물 | |
US5055439A (en) | Photoacid generating composition and sensitizer therefor | |
KR940005995A (ko) | 고분해능 i-선 고감도 포토레지스트 | |
KR970028825A (ko) | 신규 술포늄염 및 화학 증폭 포지형 레지스트 재료 | |
KR850003453A (ko) | 4,6-비스-트리클로로메틸-s-트리안진의 제조방법 및 이를 함유하는 감광성 혼합물 | |
EP0361907A2 (en) | Photoresist compositions for deep UV image reversal | |
KR960022623A (ko) | 가교결합된 중합체 | |
KR890004201A (ko) | 포지티브 방사선-감수성 혼합물 | |
KR890005570A (ko) | 포지티브 방사선-감응성 혼합물, 및 이로부터 제조된 방사선-감응성 기록물질 | |
US7601480B2 (en) | Photoactive compounds | |
KR910012811A (ko) | 감광성 조성물 및 수지봉지형 반도체장치 | |
KR970028826A (ko) | 신규 술포늄염 및 화학 증폭 포지형 레지스트 재료 | |
KR950002875B1 (ko) | 감광성 조성물 | |
AU581199B2 (en) | Negative photoresist systems | |
EP2078028B1 (en) | Photoactive compounds | |
KR940014323A (ko) | N, n-이치환 설폰아미드 펜던트 그룹을 갖는 중합체 및 이의 용도 | |
KR970016742A (ko) | 포지티브형 감방사선성 혼합물 및 릴리프 구조의 제조 방법 | |
KR960035148A (ko) | 가소제를 함유하는 방사선 감응성 조성물 | |
GB1434495A (en) | Pressure-sensitive record material | |
KR900000726A (ko) | 방사선-감응 혼합물 및 이로부터 생성된 방사선-감응 복사물질 | |
KR950003342A (ko) | 에폭시 아크릴레이트 | |
KR940009754A (ko) | 화학적으로 강화된 네가티브 포토레지스트 | |
US3770443A (en) | Photosensitive composition comprising a photosensitive polymer | |
KR920020262A (ko) | 포지티브 레지스트 조성물 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20060925 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |