KR940012024A - 마이크로 광개폐 장치 및 그 제조방법 - Google Patents
마이크로 광개폐 장치 및 그 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR940012024A KR940012024A KR1019920020984A KR920020984A KR940012024A KR 940012024 A KR940012024 A KR 940012024A KR 1019920020984 A KR1019920020984 A KR 1019920020984A KR 920020984 A KR920020984 A KR 920020984A KR 940012024 A KR940012024 A KR 940012024A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- forming
- electrode
- mover
- signal
- shot
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F3/00—Optical logic elements; Optical bistable devices
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y15/00—Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/901—Printed circuit
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
- Y10T428/24917—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including metal layer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24802—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.]
- Y10T428/24926—Discontinuous or differential coating, impregnation or bond [e.g., artwork, printing, retouched photograph, etc.] including ceramic, glass, porcelain or quartz layer
Abstract
본 발명은 표면 마이크로머시닝 기법을 사용하여 제작된 마이크로 광개폐기에 관한 것으로, 표면 마이크로머시닝을 사용하여 좌우 직선운동을 할 수 있는 평판모양의 마이크로 이동자를 제작하고, 이 이동자를 정전기력으로 구동하여 개구의 개폐를 가능하게 한 것이 특징이다.
본 발명의 마이크로 광개폐기는 반도체 공정만으로 제작이 가능하여 조립공정이 필요하지 않으며, 액정과 같은 매개체를 사용하지 않으므로 빛의 손실이 작은 장점이 있다.
그리고 기존 액정 디스플레이의 구동방식과 유사한 방식으로 개폐기의 구동이 가능하며, 원리상 광개폐기의 크기가 미세화 될수록 구동이 용이해지는 특성이 있으므로 화소밀도가 높은 평면 디스플레이와 2차원 광모듈레이터가 필요한 광선 신경회로망 등의 분야에 응용이 가능하다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1A도 내지 제1H도는 본 발명에 따른 마이크로 광개폐기의 제조방법을 나타낸 공정 단면도.
Claims (11)
- 빛을 차단하거나 통과시키는 광개폐장치에 있어서, 저항체 박막으로 형성되는 샷터 이동자(12)와, 유리기판(1) 위에 형성되고 상기 샷터 이동자(12)를 직선운동 시키기 위한 3상의 고정자와, 상기 3상의 고정자 위에 도포된 절연막 (5a, 5b) 및, 상기 절연막 (5b) 위에 도포된 절연막 (5a, 5b) 및 상기 절연막 (5b)위에 형성되고 상기 샷터 이동자(12)의 운동 가이드가 되는 프레임 (13)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치.
- 제1항에 있어서, 상기 3상의 고정자는 상기 유리기판(1)위에 각각 소정의 폭으로 형성되는 신호선을 위한 신호전극(2), 선택선을 위한 선택전극(3) 및, 공통전극(4)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치.
- 제2항에 있어서, 상기 신호전극(2)과 상기 선택전극(3) 및 상기 공통전극(4)은 각각 30,30,20㎛ 정도의 폭을 갖고 상호간 약 20㎛정도의 간격을 두고 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치.
- 광개폐장치를 제조하는 방법을 있어서, 고온의 유리기판(1) 상에 데이타 신호가 제공되는 신호선을 위한 신호전극(2)을 형성하는 단계와, 상기 유리기판(1)상에 선택신호가 제공되는 선택전극(3)과 공통전극(4)을 각각 형성한 후 제1 및 제2절연층(5a,5b)을 순차로 증착하는 단계와, 운동하는 부재를 분리독립 시키기 위해 제거될 제1희생층(6)을 상기 제2절연층(5b) 상에 증착하고 샷터 이동자(12)를 형성한 후 제2희생층(9)을 증착하는 단계와, 상기 제1 및 제2희생층(6,9)의 소정영역을 순차로 부식시켜 드러나는 상기 제2절연층(5b)상에 상기 샷터 이동자(12)의 직선운동 가이드를 위한 프레임(13)을 형성하는 단계 및, 상기 제1 및 제2희생층(6,9)을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 신호전극(2)을 형성하는 단계는 스피터링 방법으로 상기 유리기판(1)상에 50㎚~10㎛의 두께로 ITO를 증착하고 5~100㎛ 정도의 폭으로 정의하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 선택전극(3) 및 상기 공통전극(4)을 형성하는 단계는 전자빔 증착방법으로 상기 유리기판(1)상에 50㎚~10㎛의 두께로 Cr을 증착하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2절연층(5a,5b)은 질화실리콘인 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2절연층(5a, 5b)의 증착단계는 선택선과 신호선이 교차하는 경우 상기 제1절연층(5a)에 상기 신호전극(2)과 상기 신호선의 전기적 연결을 위해 RIE방법으로 비아를 형성하고, 전자빔 증착방법으로 Cr을 50㎚~10㎛의 두께로 증착하고 포토레지스트를 도포한 후 상기 신호선을 정의하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2희생층(6,9)은 A1으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 샷터 이동자(12)를 형성하는 단계는 LPCVD방법으로 상기 제1희생층 (6)상에 질화 실리콘(7) 및 비정질 실리콘(8)을 순차로 증착하는 단계와, 포토레지스트를 도포한 후 포토레지스트를 마스크로 사용하여 상기 샷터 이동자(12)를 정의하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 프레임 형성 단계는 LPCVD방법으로 0.1~3㎛정도 두께의 질화실리콘(10)과 0.4~7㎛ 정도 두께의 비정질 실리콘(10)을 순차로 증착하는 단계와, 포토레지스트를 도포한 후 포토레지스트를 마스크로서 사용하여 상기 비정질 실리콘(11)과 상기 질화실리콘(10)을 순차로 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 광개폐장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019920020984A KR950010659B1 (ko) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | 마이크로 광개폐 장치 및 그 제조방법 |
US08/149,653 US5393710A (en) | 1992-11-10 | 1993-11-09 | Method for manufacturing a micro light valve |
JP5281530A JP2599886B2 (ja) | 1992-11-10 | 1993-11-10 | 光開閉装置 |
US08/224,295 US5554434A (en) | 1992-11-10 | 1994-04-07 | Micro light valve and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019920020984A KR950010659B1 (ko) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | 마이크로 광개폐 장치 및 그 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR940012024A true KR940012024A (ko) | 1994-06-22 |
KR950010659B1 KR950010659B1 (ko) | 1995-09-21 |
Family
ID=19342777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019920020984A KR950010659B1 (ko) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | 마이크로 광개폐 장치 및 그 제조방법 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5393710A (ko) |
JP (1) | JP2599886B2 (ko) |
KR (1) | KR950010659B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100685940B1 (ko) * | 2000-07-25 | 2007-02-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6057814A (en) * | 1993-05-24 | 2000-05-02 | Display Science, Inc. | Electrostatic video display drive circuitry and displays incorporating same |
EP1025711A1 (en) * | 1997-10-31 | 2000-08-09 | Daewoo Electronics Co., Ltd | Method for manufacturing thin film actuated mirror array in an optical projection system |
DE69903943T2 (de) * | 1998-06-04 | 2003-03-27 | Cavendish Kinetics Ltd | Mikro-mechanischer elementen |
JP3265479B2 (ja) | 1999-11-15 | 2002-03-11 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光アクチュエータ |
US6429034B1 (en) | 1999-12-16 | 2002-08-06 | Corning Incorporated | Method of making high aspect ratio features during surface micromachining |
US6753845B1 (en) | 2000-11-03 | 2004-06-22 | Electronics For Imaging, Inc. | Methods and apparatus for addressing pixels in a display |
AU2003215117A1 (en) * | 2002-02-09 | 2003-09-04 | Display Science, Inc. | Flexible video displays and their manufacture |
JP2006510066A (ja) * | 2002-12-16 | 2006-03-23 | イー−インク コーポレイション | 電気光学表示装置用バックプレーン |
CN1314986C (zh) * | 2003-10-22 | 2007-05-09 | 高通Mems科技公司 | 微机电结构及其制造方法 |
US7311861B2 (en) * | 2004-06-01 | 2007-12-25 | Boston Scientific Scimed, Inc. | Embolization |
US9261694B2 (en) * | 2005-02-23 | 2016-02-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US9082353B2 (en) * | 2010-01-05 | 2015-07-14 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US9158106B2 (en) * | 2005-02-23 | 2015-10-13 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US8310442B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-11-13 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
CN103336362B (zh) * | 2005-02-23 | 2015-10-14 | 皮克斯特隆尼斯有限公司 | 用于作动显示器的方法和装置 |
US7999994B2 (en) | 2005-02-23 | 2011-08-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US9229222B2 (en) * | 2005-02-23 | 2016-01-05 | Pixtronix, Inc. | Alignment methods in fluid-filled MEMS displays |
EP1859311B1 (en) * | 2005-02-23 | 2008-11-19 | Pixtronix Inc. | Light modulator and method for manufature thereof |
US8519945B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-08-27 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US20070205969A1 (en) | 2005-02-23 | 2007-09-06 | Pixtronix, Incorporated | Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon |
US8526096B2 (en) | 2006-02-23 | 2013-09-03 | Pixtronix, Inc. | Mechanical light modulators with stressed beams |
JP5397219B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2014-01-22 | イグニス・イノベーション・インコーポレイテッド | アクティブマトリックス表示装置用の安定な駆動スキーム |
US9176318B2 (en) * | 2007-05-18 | 2015-11-03 | Pixtronix, Inc. | Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays |
US8169679B2 (en) | 2008-10-27 | 2012-05-01 | Pixtronix, Inc. | MEMS anchors |
US20110205259A1 (en) * | 2008-10-28 | 2011-08-25 | Pixtronix, Inc. | System and method for selecting display modes |
KR20120139854A (ko) * | 2010-02-02 | 2012-12-27 | 픽스트로닉스 인코포레이티드 | 디스플레이 장치를 제어하기 위한 회로 |
ITTO20110995A1 (it) * | 2011-10-31 | 2013-05-01 | St Microelectronics Srl | Dispositivo micro-elettro-meccanico dotato di regioni conduttive sepolte e relativo procedimento di fabbricazione |
US9134552B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-09-15 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators |
DE202013008329U1 (de) * | 2013-09-19 | 2015-01-05 | Schölly Fiberoptic GmbH | Endoskop |
US11714316B2 (en) | 2017-09-20 | 2023-08-01 | New Visual Media Group, L.L.C. | Highly reflective electrostatic shutter display |
US10858884B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-12-08 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with improved coil strength, and/or method of making the same |
US10794110B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-10-06 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with perforations, and/or method of making the same |
US10895102B2 (en) | 2018-07-06 | 2021-01-19 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with improved electrical connection between internal shade and external power source, and/or method of making the same |
US10927592B2 (en) | 2018-07-06 | 2021-02-23 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with surface-modified polymer, and/or method of making the same |
US10871027B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-12-22 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with CIGS solar cell, and/or method of making the same |
US10876349B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-12-29 | Guardian Glass, LLC | Electro-polymeric shade for use at elevated temperature and/or methods of making the same |
US10801258B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-10-13 | Guardian Glass, LLC | Flexible dynamic shade with post-sputtering modified surface, and/or method of making the same |
US10914114B2 (en) | 2018-07-06 | 2021-02-09 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade including shutter supporting surface-modified conductive coating, and/or method of making the same |
US11428040B2 (en) | 2020-02-03 | 2022-08-30 | Guardian Glass, LLC | Electrostatic latching stop bar for dynamic shade, and/or associated methods |
US11174676B2 (en) | 2020-02-03 | 2021-11-16 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with improved shade extension control, and/or associated methods |
US11634942B2 (en) | 2020-02-03 | 2023-04-25 | Guardian Glass, LLC | Electric potentially-driven shade with electrostatic shade retraction, and/or associated methods |
US11421470B2 (en) | 2020-02-17 | 2022-08-23 | Guardian Glass, LLC | Coil skew correction techniques for electric potentially-driven shade, and/or associated methods |
EP4113843A4 (en) | 2020-06-28 | 2023-04-19 | Research Institute of Tsinghua University in Shenzhen | FLOATING POTENTIAL BASED SLIDING PARALLEL CAPACITIVE HIGH FREQUENCY SWITCH |
US11210972B1 (en) | 2020-12-23 | 2021-12-28 | New Visual Media Group, L.L.C. | Optical shutter and display panel |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4070206A (en) * | 1976-05-20 | 1978-01-24 | Rca Corporation | Polycrystalline or amorphous semiconductor photovoltaic device having improved collection efficiency |
US4754185A (en) * | 1986-10-16 | 1988-06-28 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Micro-electrostatic motor |
US5206749A (en) * | 1990-12-31 | 1993-04-27 | Kopin Corporation | Liquid crystal display having essentially single crystal transistors pixels and driving circuits |
US5181016A (en) * | 1991-01-15 | 1993-01-19 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Micro-valve pump light valve display |
-
1992
- 1992-11-10 KR KR1019920020984A patent/KR950010659B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1993
- 1993-11-09 US US08/149,653 patent/US5393710A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-10 JP JP5281530A patent/JP2599886B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-04-07 US US08/224,295 patent/US5554434A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100685940B1 (ko) * | 2000-07-25 | 2007-02-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5554434A (en) | 1996-09-10 |
KR950010659B1 (ko) | 1995-09-21 |
JPH06202009A (ja) | 1994-07-22 |
JP2599886B2 (ja) | 1997-04-16 |
US5393710A (en) | 1995-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR940012024A (ko) | 마이크로 광개폐 장치 및 그 제조방법 | |
US5367585A (en) | Integrated microelectromechanical polymeric photonic switch | |
US5506919A (en) | Conductive membrane optical modulator | |
US6323834B1 (en) | Micromechanical displays and fabrication method | |
US20010043385A1 (en) | Transmissive display device using micro light modulator | |
US6404942B1 (en) | Fluid-encapsulated MEMS optical switch | |
US6498870B1 (en) | Micromachined optomechanical switches | |
US6791731B2 (en) | Micro-optical switch and method for manufacturing the same | |
KR100672911B1 (ko) | 마이크로 전자 기계적 시스템 및 그 제조 방법 | |
CN103336362B (zh) | 用于作动显示器的方法和装置 | |
DE69811563T2 (de) | Mikromechanischer optischer Schalter | |
KR960001941B1 (ko) | 평면 디스플레이 장치 | |
EP1949357A1 (en) | Control circuit for overcoming stiction | |
KR20010031568A (ko) | 이산 엘리먼트 광변조 마이크로구조 장치 | |
JPS6135482A (ja) | 受動表示装置及びその製造方法 | |
JPH112764A (ja) | 光開閉装置及び表示装置並びに光開閉装置の製造方法 | |
US5069517A (en) | Integrated optical waveguide | |
KR20010054281A (ko) | 미세 광변조기를 이용한 투과형 표시소자 | |
CN1191981A (zh) | 制造低损耗光有源器件的方法 | |
Kim et al. | Micromechanically based integrated optic modulators and switches | |
Al Nusayer et al. | 39‐4: TFT Integrated Microelectromechanical Shutter for Display Application | |
JP2003334798A (ja) | 液中作動マイクロアクチュエータ及び光スイッチ | |
JP2001133703A (ja) | 半導体基板上に構造物を有する装置の製造方法および装置 | |
KR940018710A (ko) | 홀로그램 광학 소자의 제조 방법 | |
Kim | Micromachined movable platforms as integrated optic devices |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 19980616 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |