KR940011382B1 - 모드구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치 및 상기 패턴을 이용한 반도체 장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
제1도는 본 발명의 모드 구분을 패턴이 형성된 반도체 기판의 모드 구분용 패턴부위를 확대한 사진이고,
제2도는 반도체 기판에 형성되는 모드 구분용 패턴의 일 예를 나타낸 것이고,
제3도는 반도체 장치의 모드를 구분할 수 있도록 레이저로 표시된 상기 모드 구분용 패턴을 나타낸 것이다.
본 발명은 반도체 장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 모드 구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조에 있어서 메모리 반도체의 모드는 사용용도에 따라서 구분된다. 이들 각 모드를 갖는 반도체 장치는 반도체 기판을 제조할 때부터 별도의 공정을 통하여 제작하였기 때문에 조립시 각 반도체 장치를 용이하게 구분할 수 있었다. 그렇지만 최근에 반도체 장치의 제조에 있어서는, 다양한 종류의 반도체 장치를 동일한 공정에서 제조하고 그 반도체 장치의 모드에 따라 조립 공정을 진행한다. 이와 같이, 그 반도체 장치를 제조하는 경우에는 반도체 장치의 제조공정을 진행하면서 형성된 공정 진행 표식을 보고 반도체 장치를 식별하거나 또는 반도체 장치의 제조 공정을 마친 후 조립전 동작 테스트시에 레이저로 수정되어진 모드 변경 회로를 찾아 확인하여야 한다. 이 경우에 상기한 표식과 모드 변경 회로는 매우 작아서 높은 배율의 확대경에 의해 분간하여야 하지만, 이는 반도체 장치의 생산성을 저하시키는 요인이 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 반도체 장치의 조립 공정 이전에 반도체 장치의 모드 구분을 위한 검사시 저 배율의 확대경으로 구분이 가능하도록 다양한 모드가 모두 표시될 수 있는 모드 구분용 패턴을 반도체 장치에 형성하고 레이저로 표시하여 조립공정중 검사시에 정확한 모드 구분에 의해 반도체 장치를 분류시켜 이를 조립함으로써 반도체 장치의 조립 공정의 생산성을 향상시키는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 모드를 구분하기 위한 문자를 나타내는 문자 패턴부 및 상기 문자 패턴부의 아래 부분에 형성된 문자를 가르킬 수 있는, 동작 시험시 레이저로 표시 가능한 레이저 패턴부로 구성된 모드 구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치를 제공한다. 상기 모드 구분용 패턴은 예를 들면, 폴리 실리콘을 사용하여 형성시킬 수 있다.
또한 본 발명에 의하여 반도체 기판 상에 모드 구분용 패턴을 형성한 후, 반도체 장치 모드를 구분하여 반도체 장치의 동작시험시 상기 모드 구분용 패턴에 확인할 수 있도록 표시하고, 상기 표시된 모드에 따라서 반도체 장치를 조립하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법이 제공된다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명의 모드 구분용 패턴이 형성된 반도체 기판의 모드 구분용 패턴부위를 확대한 사진이다.
동도에서 모드를 구분하기 위한 문자 패턴부는 횡방향의 첫째줄에 4, W 및 1의 숫자 및 영문자가 형성되어 있고, 둘째줄에는 S, F, N 등의 영문자가 형성되어 있음을 알 수 있다. 상기 문자 패턴부의 하부에는 레이저로 표시 가능한 줄무늬 형상의 패턴부가 형성되어 있다. 이러한 줄무늬 형상의 패턴부를, 동작 시험시에 레이저로 표시하여 이후 조립 공정에서 상기한 문자 패턴과 조합함으로써 반도체 장치의 모드를 구분하게 되고, 이 모드에 따라 반도체 장치를 조립한다.
제2도는 반도체 기판에 형성된 상기 모드 구분용 패턴의 일예를 나타낸 것이다.
상기 패턴의 문자 패턴부는 하부 레이저 패턴부의 표시에 따라서, 256K×4 Static column 모드, Write Per Bit Fast Page 모드, Write Per Bit Static Column 모드, 1Mega×1Fast Page모드, Nibble모드, 1Mega×1Static Column모드를 의미한다.
제2도에서 첫째줄의 4, W 및 1은 256K×4, Write Per Bit 및 1Mega×1을 각각 의미하고, 둘째줄의 S, F 및 N은 Static Column, Fast Page 및 Nibble를 각각 의미한다.
제3도는 상기한 모드 구분용패턴에 반도체 장치 제조 후 조립전 동작 시험시 레이저로 표시된 모드 구분용 패턴의 일예를 나타낸 것이다.
상기에서 나타낸 모드 구분용 패턴에 제3도와 같이, 줄무늬 레이저 패턴부에 반도체 장치의 모드를 확인할 수 있도록 표시한다.
모드 판독은 첫째줄의 패턴과 둘째줄의 패턴을 조합하여 수행한다. 즉, 첫째줄의 '4'와 둘재줄의 'S'의 아래에 레이저로 표시한 경우에는 상기 모드는 256K×4Static Column모드를 나타내고, 첫째줄의 'W'와 둘째줄의 'F'아래에 표시되면 Write Per Bit Fast Page모드를 나타내고, 제3도와 같이 첫째줄 'W'와 둘째줄에서 첫째줄 'W'의 오른쪽 방향의 첫번째 'S' 아래이면 Write Per Bit Static Column모드를 나타내고, 첫째줄의 '1'과 바로 아래쪽의 둘째줄 'F'의 아래 지역에 표시되면 1Mega×1Fast Page모드를 나타내고, 둘째줄의 'N'아래쪽에 표시되면 Nibble 모드, 첫째줄의 '1'오른쪽 방향에 있는 'S'아래에 표시되면 1Mega×1static Column모드를 나타낸다.
본 발명의 모드 구분용 패턴은 저배율의 확대경으로 용이하게 판독할 수 있다. 따라서 본 발명의 방법에 따라서 반도체 장치를 제조하는 경우에 동일한 모양의 상이한 반도체 모드를 동일한 공정에서 제조하고 용이하게 조립할 수 있다.
Claims (4)
- 모드를 구분하기 위한 문자를 나타내는 문자 패턴부 및 상기 문자 패턴부의 아래 부분에 형성된 상기 문자를 가르킬 수 있고, 동작 시험시 레이저로 표시 가능한 레이저 패턴부로 구성된 모드 구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치.
- 반도체 기판 상에 모드 구분용 패턴을 형성한 후, 반도체 모드를 구분하여 반도체 장치 모드를 동작시험시 상기 모드 구분용 패턴에 확인할 수 있도록 표시하고, 상기 표시된 모드에 따라 반도체 장치를 조립하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 모드 구분용 패턴을 반도체 장치의 실리콘 기판 제작시에 형성함을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 모드 구분용 패턴에 레이저를 이용하여 모드를 확인할 수 있도록 표시함을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920002222A KR940011382B1 (ko) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 모드구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치 및 상기 패턴을 이용한 반도체 장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920002222A KR940011382B1 (ko) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 모드구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치 및 상기 패턴을 이용한 반도체 장치의 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930018709A KR930018709A (ko) | 1993-09-22 |
| KR940011382B1 true KR940011382B1 (ko) | 1994-12-07 |
Family
ID=19329010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920002222A KR940011382B1 (ko) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 모드구분용 패턴을 포함하는 반도체 장치 및 상기 패턴을 이용한 반도체 장치의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940011382B1 (ko) |
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1992
- 1992-02-14 KR KR1019920002222A patent/KR940011382B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| KR930018709A (ko) | 1993-09-22 |
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