KR940010252A - 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법 - Google Patents
정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명에 따른 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법은 웨이퍼 위에 감광막을 형성하는 단계, 소정간격을 두고 각각 스크라이브 라인 대응영역에 적어도 1쌍의 소정형상의 정밀도 측정용 패턴을 갖는 레티클을 이용하여 상기 감광막에 대한 1차 정렬/노광을 실시하는 단계, 정렬/노광장치를 1스텝 피치만큼 이동하는 단계, 상기 1차 정렬/노광시와 동일한 레티클을 이용하여 상기 1쌍의 정밀도 측정용 패턴중 이동방향쪽에 위치한 정밀도 측정용 패턴과 대응하는 상기 감광막 부분이 중복 노광되도록 2차 정렬/노광을 실시하는 단계, 상기 노광된 웨이퍼를 현상한 후 중복노광되어 패터닝된 정밀도 측정용 패턴을 검사하는 단계로 구성됨에 의해 종래의 측정방법에 비하여 오차없이 신속하고 간단하게 정렬/노광장치의 스텝핑 피치에러 및 웨이퍼의 틀어짐을 검증할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 따른 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도를 측정하기 위한 방법을 나타낸 흐름도,
제5도는 본 발명에 따른 정밀도 측정용 패턴이 스크라이브 라인영역에 배치된 래티클을 나타낸 도면,
제6도는 제5도에 도시된 각 패턴의 확대도,
제7도는 1샷 노즐후 두번째 샷 노출시 중복 노광되는 영역을 표시한 도면,
제8도는 스텝핑에러가 있는 경우의 중복 노광된 패턴을 나타낸 도면,
제9도는 스텝핑 에러가 없는 경우의 중복 노광된 패턴을 나타낸 도면이다.
Claims (10)
- 웨이퍼 위에 감광막을 형성하는 단계, 소정간격을 두고 각각 스크라이브 라인 대응영역에 적어도 1쌍의 소정형상의 정밀도 측정용 패턴을 갖는 레티클을 이용하여 상기 감광막에 대한 1차 정렬/노광을 실시하는 단계, 정렬/노광장치를 1스텝 피치만큼 이동하는 단계, 상기 1차 정렬/노광시와 동일한 레티클을 이용하여 상기 1쌍의 정밀도 측정용 패턴중, 이동방향쪽에 위치한 정밀도 측정용 패턴과 대응하는 상기 감광막 부분이 중복 노광되도록 2차 정렬/노광을 실시하는 단계, 상기 노광된 웨이퍼를 현상한 후 중복노광되어 패터닝된 정밀도 측정용 패턴을 검사하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 레티클에 형성된 정밀로 측정용 패턴턴은 좌·우 스크라이브 라인과 상·하 스크라이브 라인에 각각 1쌍의 상호 선대칭의 동일한 패턴인 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 1쌍의 정밀도 측정용 패턴간의 거리는 정렬/노광장치의 1스텝 피치와 동일한 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 정밀도 측정용 패턴은 빛이 통과할 수 있는 윈도우영역과 빛이 통과할 수 없는 아일랜드영역으로 구성되며, 상기 윈도우영역과 아일랜드영역은 소정간격을 갖고 상호 교대로 배치된 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제4항에 있어서, 상기 아일랜드영역은 몸체부와, 몸체부의 일측 중앙에 돌출형성된 기준점 패턴과, 상기 몸체부의 타측으로 기준점으로부터 소정간격을 두고 몸체로부터 연장된 다수의 빗살무늬 패턴으로 구성되는 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 2차 정렬/노광을 행하기 위한 상기 정렬/노광장치의 이동은 좌·우·상 ·하방향중 어느 하나의 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 중복노광되어 패터닝된 정밀도 측정용 패턴의 검사는 일차 노광에 의해 형성된 빗살무늬 패턴과 2차 노광에 의해 형성된 빗살무늬 패턴의 라인의 어긋남을 검사하는 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제7항에 있어서, 상기 어긋남 검사는 버니어판독방법으로 행하는 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 정렬/노광장치의 이동 및 2차 정렬/노광을 적어도 1회 이상 행함을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.
- 제1항에 있어서, 상기 감광막은 포지티브형 포토레지스트인 것을 특징으로 하는 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920018400A KR960002287B1 (ko) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019920018400A KR960002287B1 (ko) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940010252A true KR940010252A (ko) | 1994-05-24 |
| KR960002287B1 KR960002287B1 (ko) | 1996-02-14 |
Family
ID=19340764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1019920018400A KR960002287B1 (ko) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 정렬/노광장치의 스텝핑 정밀도 측정방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR960002287B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001047363A1 (en) * | 1999-12-23 | 2001-07-05 | Dsm N.V. | Bread improver comprising bile salt and phospholipase a |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007067018A (ja) | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Sharp Corp | 露光装置の露光動作評価方法および半導体デバイスの製造方法 |
-
1992
- 1992-10-07 KR KR1019920018400A patent/KR960002287B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| WO2001047363A1 (en) * | 1999-12-23 | 2001-07-05 | Dsm N.V. | Bread improver comprising bile salt and phospholipase a |
Also Published As
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| KR960002287B1 (ko) | 1996-02-14 |
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