KR940008667B1 - Ccd 영상소자의 칼라 필터 제조방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

CCD 영상소자의 칼라 필터 제조방법

제1도는 종래 칼라 필터 제조 공정단면도.

제2도는 본 발명에 따른 칼라 필터 제조 공정단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 평단층 2 : 제1염색층

3 : 제2염색층 4 : 제3염색층

5 : 코팅층 6 : 렌즈층

6a : 렌즈 8 : 패드

9 : 포토다이오드 10 : 게이트

11 : 격리층

본 발명은 칼라 필터 제조방법에 관한 것으로서 특히 CCD 영상소자에서 복수개의 격리층 사이에 염색층을 형성시킨 칼라 필터링 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 CCD 영상소자는 반도체 기판상에 복수개의 포토다이오드의 특수개의 VCCD 영역이 일대일 대응하여 연속적으로 형성되어 있으며 빛에너지가 포토다이오드에 입사되면 포토다이오드는 빛에너지를 전기적 신호로 변환하기 위하여 검출된 영상 전하신호를 트랜스퍼 게이트에 인가되는 전압의 제어에 의해 VCCD 영역으로 이동된다.

여기서 포토다이오드 윗부분에 빛을 접속하기 위한 렌즈의 원하는 화상을 만들기 위한 종래 칼라 필터가 구비되었다. 제1도는 종래 칼라 필터의 제조 공정단면도로서, 제1도 (a)에 나타낸 바와같이 포토다이오드(9)위에 복수개의 게이트(10)가 형성된 CCD 영상소자에서 이 복수개의 게이트(10)를 포함하는 포토다이오드(9)위에 평탄층(1)을 형성하고 제1도 (b)에 나타낸 바와같이 제1염색층(2)을 도포하고 제1도 (c)에 나타낸 바와같이 사진 식각 공정을 이용하여 제1염색층(2)를 패터닝하여 염색을 실시하고 제1염색층(2)을 고착 물질을 이용하여 고착시킨다. 제1도 (d)에 나타낸 바와같이 제1염색층(2)이 형성된 기판 전표면에 제2염색층(3)을 도포하고 제1도 (e)에 나타낸 바와같이 사진 식각 공정을 이용하여 제2염색층(3)을 패터닝하여 염색을 실시하고 제2염색층(3)을 고착시킨다. 제1도 (f)에 나타낸 바와같이 제2염색층(3)이 도포된 기판 전표면에 제3염색층(4)을 도포하고 제1도 (g)에 나타낸 바와같이 사진 식각 공정을 이용하여 제3염색층(4)을 패터닝하여 염색을 실시하고 제3염색층(4)을 고착시킨다. 이어 제1도 (h)에 나타낸 바와같이 제1, 제2, 제3염색층(2,3,4)이 소정 배열 주기로 반복되어 형성된 기판 전표면에 코팅층(5)을 형성시킨후 제1도 (i)에 나타낸 바와같이 이 코팅층(5)전표면에 소정 간격을 갖는 복수개의 렌즈층(6)을 형성시킨후 제1도 (j)에 나타낸 바와같이 열처리하여 복수개의 렌즈(6a)를 형성한다. 여기서 제1염색층(2)은 선홍색(Magenta)이며, 제2염색층(3)은 청색(Cyan)이며 제3염색층(4)은 노랑색(Yellow)으로 이 세가지 염료의 농도차에 따른 각각의 색상의 혼합에 따라 원하는 색상을 만들수 있다.

그러나 상기와 같은 종래 기술은 서로 다른 염색층을 형성한때 먼저 염색 및 고착된 염색층이 나중에 염색되는 염색층 및 공정에 의해 색이 혼합되기도 하며 염색층과 염색층이 닿는 부분이 사진 식각 공정으로 인해 손상을 받게되는 단점을 가지고 있다.

본 발명은 상기와 같은 단점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 각각의 염색층의 색상이 손상을 입지 않고 염색층과 염색층사이도 손상이 없도록 하게하는 칼라 필터의 제조 방법에 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면 칼라 필터 제조공정시 평탄층을 형성한후 형성된 염색층을 분리 형성시키기 위한 소정 간격을 갖는 분리층을 미리 형성시킨후 이 분리층 사이에 염색층을 형성시킨다.

이하 제2도를 참조로 하여 본 발명에 따른 칼라 필터의 제조공정을 설명하겠다. 제2도 (a)에 나타낸 바와같이 복수개의 게이트(10)가 포토다이오드(9)위에 형성된 CCD 영상소자에서 이 게이트(10)가 형성된 포토다이오드(9)위에 평탄층(1)을 형성하고 제1도 (b)에 나타낸 바와같이 이 평탄층(1)위에 소정 간격을 갖는 격리층(11)을 반복하여 형성한후 제2도 (c)에 나타낸 바와같이 이 격리층(11)사이에 제1염색층(2)을 도포하고 제2도 (d)에 나타낸 바와같이 원하는 격리층(11)사이에 도포된 제1염색층(2)을 사진 식각 공정을 이용하여 패터닝하여 염색을 실시하고 고착시키고 제2도 (e)에 나타낸 바와같이 제2염색층(3)을 도포하고 제2도 (f)에 나타낸 바와같이 원하는 격리층(11)사이에 도포된 제2염색층(3)을 사진 식각 공정을 이용하여 패터닝하여 염색을 실시한후 이 제2염색층(3)을 고착시키고 제2도 (g)에 나타낸 바와같이 제3염색층(4)을 도포하고 제2도 (h)에 나타낸 바와같이 남아있는 격리층(11)사이의 도포된 제3염색층(4)을 사진 식각 공정을 이용하여 패터닝하여 염색을 실시한후 이 제3염색층(4)을 고착시키고 제2도 (i)와 같이 제1, 제2 및 제3염색층(2,3,4)이 소정 배열순서로 반복되어 형성된 기판 전표면에 코팅층(5)을 형성시키고 제1도 (j)에 나타낸 바와같이 이 코팅층(5) 전표면에 소정 간격을 갖는 복수개의 렌즈층(6)을 형성시킨후 제1도 (k)에 나타낸 바와같이 렌즈층(6)을 열처리하여 복수개의 렌즈(6a)를 형성시킨다. 여기서 격리층(11)은 네거티브 또는 포지티브 포토레지스트가 쓰인다.

이상과 같은 본 발명에 따르면 각각의 염색층을 형성할때 격리층은 형성하여 실시하기에 먼저 염색된 염색층의 색상이 손상받지 않아 색상의 단일성이 좋아지고 사진 식각 공정으로 인한 염색층간의 손상을 막을수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 평탄층위에 소정 간격을 갖는 격리층을 형성하고 상기 격리층 사이사이에 소정 칼라 색상을 갖는 염색층을 도포하는 공정가, 상기 도포된 염색층을 패터닝하여 염색 및 고착하는 공정과, 상기 염색된 염색층위의 전표면을 코팅한후 열처리하여 렌즈를 형성하는 공정을 순차적으로 실시함을 특정으로 하는 CCD 영상소자의 칼라 필터 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 격리층은 네가티브 또는 포지티브 포도레지스트를 사용함을 특정으로 하는 CCD 영상소자의 칼라 필터 제조방법.