JPH09181288A - カラー固体撮像素子 - Google Patents

カラー固体撮像素子

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JPH09181288A
JPH09181288A JP8294652A JP29465296A JPH09181288A JP H09181288 A JPH09181288 A JP H09181288A JP 8294652 A JP8294652 A JP 8294652A JP 29465296 A JP29465296 A JP 29465296A JP H09181288 A JPH09181288 A JP H09181288A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 カラーフィルタの構造を改善して製造工程を
単純化し、歩留を向上させたカラー固体撮像素子を提供
すること。 【解決手段】 フォトダイオード領域上には色に応じて
選択的にポリシリコン膜を形成させる。一方、カラーフ
ィルタ層は取り出す色のフォトダイオードに応じてマジ
ェンタ染色層、シアン染色層の何れかを形成したり、２
つの染色層を重ねて形成させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明はカラー固体撮像素子
に係り、特にカラーフィルタの構造を改善して製造工程
を単純化し、製造の歩留を向上させるようにしたカラー
固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１（ａ）は一般的なカラー固体撮像素
子のレイアウト図であり、図１（ｂ）は従来のカラー固
体撮像素子の構造断面図である。従来のカラー固体撮像
素子の構造は次の通りである。半導体基板１０に一定間
隔で複数個形成されたフォトダイオード（ＰＤ）１１領
域と、そのＰＤ１１領域の間に垂直に構成され、ＰＤ１
１領域から光電変換によって生成された信号電荷を一方
向に移動させるＶＣＣＤ１２と、前記ＰＤ１１領域とＶ
ＣＣＤ１２が形成された半導体基板１０の全面に形成さ
れた絶縁層（図示しない）と、前記ＶＣＣＤ１２の上側
の絶縁層上に形成され、ＰＤ１１領域から生成された信
号電荷をＶＣＣＤ１２へ移動させたり、ＶＣＣＤ１２に
移動された電荷を一方向に移動させる複数個のポリゲー
ト（図示しない）と、受光領域を除いた前記ポリゲート
上に形成されて光を遮断する金属遮光層と、前記金属遮
光層を含む半導体基板１０の全面に形成される平坦化用
絶縁膜１３と、各ＰＤ１１領域の上側の平坦化用絶縁膜
１３上にそれぞれの画素に対応して形成されるＲ、Ｇ、
Ｂのカラーフィルタ層１４と、前記カラーフィルタ層１
４上に形成される上塗り層と、前記上塗り層上にそれぞ
れの画素に対応して形成され、光を集光してＰＤ１１領
域へ照射するマイクロレンズ１５とを含んでいる。
【０００３】前記のような従来のカラー固体撮像素子
は、受光領域に構成されたＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ
層１４が入力される光のスペクトルを分離して、それぞ
れの特定波長の光のみをＰＤ１１領域に入射させる。こ
の際、金属遮光層はＰＤ１１領域以外の部分に光が入射
するのを遮断する。前記のように入射した光はＰＤ１１
領域で電気的な信号に変換されて取り出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来のカ
ラー固体撮像素子は次の問題点がある。 第１、カラーフィルタ層を形成するためにはＲ、Ｇ、Ｂ
それぞれ３回の染色工程を行わなければならないので工
程が複雑であり、染色工程時にカラーの均一性を保持し
難い。 第２、画素の高密度化、高集積化に伴うウィンドウの縮
小に起因してＲ、Ｇ、Ｂそれぞれのマスクを使用したフ
ォト作業時の位置決めは難しい。従って、マスクのミス
アラインメントによって色分離が低下する。
【０００５】本発明は前記従来の固体撮像素子の問題点
を解決するためのもので、その目的はカラーフィルタの
構造を改善して製造工程を単純化し、歩留を向上させた
カラー固体撮像素子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のカラー固体撮像素子は、複数個のフォトダ
イオードと前記各フォトダイオードに特定波長の光のみ
を通過させて照射するカラーフィルタ層を含むカラー固
体撮像素子において、前記各フォトダイオード領域上に
選択的にポリシリコン膜を形成するとともに、カラーフ
ィルタ層は各フォトダイオードに対応してマジェンタ染
色層、シアン染色層の何れかが形成されたり、２つの染
色層が重なり合ったりさせることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明のカラー固体撮像素
子の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。ま
ず、色相によるカラーフィルタの透過率について説明す
る。図２（ａ）は色相ダイアグラム、（ｂ）は色相によ
るカラーフィルタの透過率を示すグラフである。光はそ
の波長が極めて短い一種の電磁波である。つまり、周波
数が非常に高い。電磁波が目の網膜を刺激することによ
り、人々がこれを光として感じるようになっている。可
視光線の波長は３８０ｍμ〜７８０ｍμの範囲である。
しかし、これらは全て同じ光として感じられない。波長
によって異なる感じがする。これを色という。黒白撮像
素子をカラー化するためには、カラーフィルタを設けな
ければならない。カラーフィルタは特定波長帯の光のみ
を通過させる有機物質からなっている。例えば、青色用
フィルタすなわちブルーフィルタは青色帯域の光のみを
通過させ且つ残りの光は遮断する。初期にはＲ、Ｇ、Ｂ
フィルタをカラー固体撮像素子に用いたが、現在は波長
帯による透過率の良いシアン、マジェンタ、黄色、及び
緑色の複合カラーフィルタアレイを採用して光感度を向
上させている。
【０００８】本発明はより少ない染色層を使用してカラ
ー固体撮像素子を実現したものである。図３（ａ）は本
実施形態のカラー固体撮像素子の構造断面図であり、
（ｂ）は本発明のカラーフィルタ層のレイアウト図であ
る。図４は本発明のカラー固体撮像素子の製造工程順序
図である。
【０００９】本発明は２種類の染色層のみを使用して
Ｒ、Ｇ、Ｂ信号を得る用にしたことが特徴である。ポリ
シリコン膜がＢ波長の光を吸収することと、波長が長け
れば長いほどＰＤ領域に深く吸収される性質を利用した
ものである。
【００１０】本実施形態の構造は、半導体基板３０に一
定間隔を置いて複数個形成され、光に関する信号を電気
的な信号に変換するＰＤ３１と、前記ＰＤ３１で生成さ
れた電荷を一定方向に移動させるためのＣＣＤチャンネ
ルとして用いられるＶＣＣＤ３２と、前記ＶＣＣＤ３２
領域上に電荷を一方向に移動させるために互いに異なる
クロックが印加され、互いに絶縁されて形成された複数
個のポリゲートと、前記ポリゲートの形成時にＰＤ３１
領域上の特定のＰＤに選択的に残して形成したポリシリ
コン膜３３と、前記ＶＣＣＤ３２領域上にＰＤ３１領域
以外の部分に光が入射するのを遮断するために形成され
る金属遮光層と、全面に形成された平坦化用絶縁膜と、
前記平坦化用絶縁膜上にマジェンタ及びシアンの２種類
の染色層のみで形成されるカラーフィルタ層３５ａ、３
５ｂと、前記カラーフィルタ層３５ａ、３５ｂの上塗り
層上にＰＤ３１にそれぞれ対応するように形成され、光
を集光して受光領域に照射するマイクロレンズ３６とを
有している。
【００１１】ＰＤ３１領域はＮ型不純物層上にＰ+ 型の
不純物をイオン注入してＰＮ接合のフォトダイオードを
形成するが、Ｐ+ 型不純物層は各ＰＤ３１ごとにその厚
さを異にする。すなわち、３種類のＰＤ３１領域のう
ち、２種類の領域の表面にポリシリコン膜３３が形成さ
れるが、ポリシリコン膜３３が形成されていないＰＤ３
１のＰ+ 型不純物層はポリシリコン膜３３が形成された
Ｐ+ 型不純物層より薄く形成される。本実施形態におい
ては、ポリシリコン膜３３が表面形成されていないＰＤ
３１領域上のカラーフィルタ層３５ａ、３５ｂはマジェ
ンタ染色層とシアン染色層とが重なるように構成され
る。そして、残りのポリシリコン膜３３が形成された２
種類のＰＤ３１領域上のカラーフィルタ層は取り出す色
に応じてそれぞれマジェンタ染色層とシアン染色層で覆
われている。
【００１２】上述した本発明のカラー固体撮像素子は、
マジェンタ、シアンの２種類の染色層を使用してＲ、
Ｇ、Ｂから派生する全ての色を実現できるようにしたも
のである。まず、Ｒ成分はマジェンタ染色層のみで構成
されたカラーフィルタ層に対応するＰＤ３１から取り出
される。つまり、マジェンタ染色層からなるカラーフィ
ルタ層をマイクロレンズ３６によって集光された光が通
過すると、図２（ａ）、（ｂ）に示すようにＲ成分とＢ
成分とが通過する（マジェンタはＲ：Ｇ：Ｂの合成比率
が０.５：０：０.５である）。そして、さらにポリシリ
コン膜３３を通過すると、Ｂ成分がポリシリコン膜３３
の短波長吸収性質によって吸収され、Ｐ+ 型不純物層を
通過するとき、残りのＢ成分が全て吸収されてＲ成分だ
けＰＤ３１領域に達することになる。
【００１３】次に、Ｇ成分はシアン染色層だけで構成さ
れたカラーフィルタ層に対応するＰＤ３１から取り出さ
れる。つまり、シアン染色層からなるカラーフィルタ層
はマイクロレンズ３６によって集光された光が通過する
と、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｇ成分とＢ成分
とが通過する（シアンはＲ：Ｇ：Ｂの合成比率が０：
０.５：０.５である）。そして、さらにポリシリコン膜
３３を通過すると、Ｂ成分がポリシリコン膜３３の短波
長吸収性質によって吸収され、Ｐ+ 型不純物層を通過す
るとき、残りのＢ成分が全て吸収されてＧ成分だけＰＤ
３１領域に達することになる。このとき、いずれの場合
も、ポリシリコン膜３３の厚さとＰ+ 型不純物層の厚さ
を調節してＢ成分が適切に遮断されるようにする。最後
に、Ｂ成分はマジェンタ染色層、シアン染色層が重なる
ように構成されたカラーフィルタ層に対応するＰＤ３１
から取り出される。つまり、マイクロレンズ３６によっ
て集光された光が通過すると、図２（ａ）、（ｂ）に示
すように共通部分のＢ成分だけ通過する。ポリシリコン
膜３３がなく且つＰ+ 型不純物層が薄いので、Ｂ成分は
殆ど吸収無くＰＤ３１に達することになる。この際、マ
ジェンタ染色層、シアン染色層はいずれを先に形成して
も、同じくＢ成分が取り出される。
【００１４】
【発明の効果】前記のような本発明のカラー固体撮像素
子はカラーフィルタの製造工程で染色工程を従来の３回
（Ｒ、Ｇ、Ｂ取出しのための）から２回に減らすことが
できて、マスク工程数を減らすことができる。そして、
マスク工程時にも位置決め領域が広くてミスアラインメ
ントを減少させることができる。従って、混色による問
題を解決することができる。尚、光の３原色ではなく染
料の３原色のうち２色を使用するので、染料の取り扱い
が簡単であり、色むらを低減することができるという効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 （ａ）は一般的なカラー固体撮像素子のレイ
アウト図、（ｂ）は従来のカラー固体撮像素子の構造断
面図である。
【図２】 （ａ）は色相ダイアグラム、（ｂ）は色相に
よるカラーフィルタの透過率を示すグラフである。
【図３】 （ａ）は本発明のカラー固体撮像素子の構造
断面図、（ｂ）は本発明のカラーフィルタ層のレイアウ
ト図である。
【図４】 本発明のカラー固体撮像素子の製造工程順序
図である。
【符号の説明】
３０ 半導体基板 ３１ ＰＤ ３２ ＶＣＣＤ ３３ ポリシリコン膜 ３４ 金属遮光層 ３５ａ、３５ｂ カラーフィルタ層 ３６ マイクロレンズ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数個のフォトダイオードと前記各フォ
    トダイオードに特定波長の光のみを通過させて照射する
    カラーフィルタ層を含むカラー固体撮像素子において、 前記各フォトダイオード領域上に選択的にポリシリコン
    膜が形成されるとともに、カラーフィルタ層がマジェン
    タ染色層とシアン染色層との２種類の染色層からなり、
    マジェンタ染色層のみ、シアン染色層のみ、又は２つの
    染色層が重なり合っている部分が取り出す色に応じて各
    フォトダイオードに対応していることを特徴とするカラ
    ー固体撮像素子。
  2. 【請求項２】 ポリシリコン膜は任意の３つのフォトダ
    イオード領域のうち、少なくとも２つの領域上に形成さ
    れることを特徴とする請求項１記載のカラー固体撮像素
    子。
  3. 【請求項３】 ポリシリコン膜が形成されていないフォ
    トダイオード領域に対応するカラーフィルタ層はマジェ
    ンタ染色層、シアン染色層が重なり合っていることを特
    徴とする請求項１記載のカラー固体撮像素子。
  4. 【請求項４】 赤色取り出し用フォトダイオードにはポ
    リシリコン膜をその表面に形成させるとともにマジェン
    タ染色層のみからなるカラーフィルタ層が形成されてお
    り、青色取り出し用フォトダイオードにはその表面にポ
    リシリコン膜を形成させずにマジェンタ染色層とシアン
    染色膜とを重ねたフォトダイオード層を形成し、緑色取
    り出し用フォトダイオードにはポリシリコン膜をその表
    面に形成さるとともにシアン染色層のみのカラーフィル
    ム層を形成したことを特徴とする請求項１記載のカラー
    固体撮像素子。
  5. 【請求項５】 ポリシリコン膜が形成されていないフォ
    トダイオード領域のＰ+型不純物はポリシリコン膜が形
    成されたフォトダイオード領域のＰ+型不純物層より薄
    く形成されることを特徴とする請求項２又は４記載のカ
    ラー固体撮像素子。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7667749B2 (en) 2003-12-31 2010-02-23 Dongbu Electronics Co., Ltd. Image sensor having a partial light-shielding layer and method for fabricating the same
JP2020182081A (ja) * 2019-04-24 2020-11-05 横河電機株式会社 撮像装置、分光フィルタ、及び撮像方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020140832A1 (en) * 2001-03-29 2002-10-03 Eastman Kodak Company Optimization of CCD microlens size for color balancing
US20020140010A1 (en) * 2001-03-29 2002-10-03 Vu Truc Q. Imaging system
EP1430281A1 (en) * 2001-09-11 2004-06-23 LumiLeds Lighting U.S., LLC Color photosensor
EP1432044A1 (fr) * 2002-12-20 2004-06-23 EM Microelectronic-Marin SA Photodiode à filtre en polysilicium intégré
JP4764243B2 (ja) * 2006-04-20 2011-08-31 株式会社東芝 固体撮像装置
US20080204580A1 (en) * 2007-02-28 2008-08-28 Micron Technology, Inc. Method, apparatus and system providing imaging device with color filter array
KR101473720B1 (ko) * 2008-06-26 2014-12-18 삼성전자주식회사 컬러 필터 어레이 및 컬러 필터 제조 방법, 및 상기 컬러필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치
JP2010282992A (ja) * 2009-06-02 2010-12-16 Sony Corp 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5525026A (en) * 1978-08-09 1980-02-22 Akai Electric Co Ltd Production of color filter for single tube color image pickup tube
JPS62262001A (ja) * 1986-05-08 1987-11-14 Matsushita Electronics Corp カラ−固体撮像装置
JPH06232379A (ja) * 1993-02-01 1994-08-19 Sharp Corp 固体撮像素子

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7900897A (nl) * 1978-02-15 1979-08-17 Hitachi Ltd Vaste-stof beeldopneeminrichting.
US4630106A (en) * 1982-02-15 1986-12-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Color solid-state imager with color filter having an overlapping segmented filter arrangement
US5176971A (en) * 1985-02-05 1993-01-05 Kyodo Printing Co., Ltd. Color filter
JPS61267005A (ja) * 1985-05-21 1986-11-26 Mitsubishi Electric Corp 色分解フイルタ及びその製造方法
JP2808480B2 (ja) * 1990-07-18 1998-10-08 キヤノン株式会社 液晶カラー表示素子用基板の製造方法
KR950011567B1 (ko) * 1992-02-21 1995-10-06 삼성전자주식회사 칼라필터 제조방법
JPH06151797A (ja) * 1992-11-11 1994-05-31 Sony Corp 固体撮像素子
JP3062010B2 (ja) * 1994-07-28 2000-07-10 日本電気株式会社 固体撮像装置
US5677200A (en) * 1995-05-12 1997-10-14 Lg Semicond Co., Ltd. Color charge-coupled device and method of manufacturing the same
KR0151258B1 (ko) * 1995-06-22 1998-10-01 문정환 씨씨디 영상센서 및 그 제조방법
US5804845A (en) * 1996-10-08 1998-09-08 Eastman Kodak Company Image sensor having ITO electrodes with an ONO layer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5525026A (en) * 1978-08-09 1980-02-22 Akai Electric Co Ltd Production of color filter for single tube color image pickup tube
JPS62262001A (ja) * 1986-05-08 1987-11-14 Matsushita Electronics Corp カラ−固体撮像装置
JPH06232379A (ja) * 1993-02-01 1994-08-19 Sharp Corp 固体撮像素子

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7667749B2 (en) 2003-12-31 2010-02-23 Dongbu Electronics Co., Ltd. Image sensor having a partial light-shielding layer and method for fabricating the same
JP2020182081A (ja) * 2019-04-24 2020-11-05 横河電機株式会社 撮像装置、分光フィルタ、及び撮像方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6008843A (en) 1999-12-28
KR0186183B1 (ko) 1999-03-20
JP2866355B2 (ja) 1999-03-08

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