KR101473720B1 - 컬러 필터 어레이 및 컬러 필터 제조 방법, 및 상기 컬러필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치 - Google Patents

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Abstract

이미지 촬상 장치는 다수의 광 감지 소자를 포함하는 픽셀 어레이 및 상기 다수의 광 감지 소자들 중에서 대응되는 광 감지 소자 상부에 적층된 다수의 컬러 필터들을 포함하는 컬러 필터 어레이를 포함한다. 상기 컬러 필터 어레이는 유리 기판상에 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터와 상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층되도록 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링 하기 위한 제2타입의 컬러 필터를 포함한다. 상기 이미지 촬상 장치는 컬러 필터의 제조 공정을 단순화하고 작은 레이아웃을 갖는 컬러 필터를 제조할 수 있다.
컬러 필터 어레이, 안료 분산법, 분광 특성, 노광, 현상

Description

컬러 필터 어레이 및 컬러 필터 제조 방법, 및 상기 컬러 필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치{Color filter array and method of fabricating the same, and image pick-up device of the same}
본 발명의 실시 예는 이미지 촬상 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공정 과정을 단순화시키고 작은 레이아웃 면적을 갖는 컬러 필터 어레이, 컬러 필터 제조 방법, 및 상기 컬러 필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치에 관한 것이다.
이미지 촬상 장치(image pick-up device)는 광학 영상(optical image)을 전기적인 신호로 변환시키는 반도체 장치로서, 주로 전하 결합 소자(Charge Coupled Device; CCD)를 이용한 이미지 촬상 장치와 CMOS 공정을 이용한 CMOS 이미지 센서(CMOS Image Sensor; CIS)가 널리 사용되고 있다.
CMOS 이미지 센서는 CCD를 이용한 이미지 촬상 장치에 비해 일반적인 CMOS 공정을 사용하여 제작할 수 있으므로 경제적이며, 아날로그-디지털 변환 장치를 함께 하나의 칩(chip)에 집적할 수 있으므로 집적화에 유리하다. 또한, 상기 CMOS 이미지 센서는 저전력 저전압 설계가 가능함에 따라 전력 소비가 적은 이동 전화기 (mobile phone), 및 디지털 카메라 등의 휴대용 기기에서 널리 사용되고 있다.
이미지 촬상 장치의 픽셀 어레이는 다수의 로우(row)와 다수의 컬럼(column)들 사이에 2차원 매트릭스 형태로 배열된 다수의 픽셀들을 포함하고, 상기 다수의 픽셀들 각각은 빛 에너지에 의해 발생한 광 전자들을 디지털 신호로 변환하여 영상 신호를 출력한다.
이미지 촬상 장치는 원래 컬러가 아닌 피사체의 밝기 정보만을 가진 흑백 영상을 출력하므로 컬러 영상을 표현하기 위해서는 픽셀 어레이의 수광면 측에 컬러 필터 어레이(color filter array) 예컨대, 원색계 또는 보색계의 컬러 필터 어레이를 배치해야 한다. 컬러 필터 어레이는 다수의 컬러 필터들을 포함하며, 상기 다수의 컬러 필터 각각에 해당하는 컬러의 신호를 인가하여 밝기를 제어함으로써 컬러 영상을 표현할 수 있다.
최근 이미지 촬상 장치에 대한 고화소, 고해상도, 고화질, 및 고속도에 대한 시장의 요구가 지속적으로 증가하고 있다. 해상도가 높아짐에 따라 픽셀 어레이에 포함되는 픽셀들의 수는 증가하고, 상기 픽셀들 각각의 레이아웃 사이즈는 줄어들고 있는 추세이다.
픽셀의 레이아웃 면적이 줄어들어도 컬러 필터 어레이의 레이아웃 면적이 그대로인 경우, 집광을 위해 설치되는 마이크로 렌즈와 광 감지 소자(또는 수광 소자)의 거리가 상대적으로 길어지므로 컬러 필터 어레이의 감도가 저하될 수 있다. 따라서 픽셀의 레이아웃 면적이 감소함에 따라 얇고 작은 레이아웃 면적을 갖는 컬러 필터 어레이가 요구된다.
또한, 반도체 기술의 발달로 이미지 촬상 장치가 점차 저가화됨에 따라 생산성 및 제조 원가적 측면에서 생산 단가를 줄이기 위한 경쟁이 치열해지고 있다. 따라서 종래의 복잡한 공정 과정을 거치는 컬러 필터의 제조 공정을 단순화시켜 생산 원가를 절감하고 경쟁력을 향상시킬 수 있는 컬러 필터 어레이 및 컬러 필터 제조 방법이 요구된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 얇고 작은 레이아웃을 갖는 컬러 필터와 상기 컬러 필터를 제조할 수 있는 컬러 필터 제조 방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 컬러 필터의 제조 공정을 단순화시켜 생산 단가를 감소시킬 수 있는 컬러 필터와 상기 컬러 필터 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 유리 기판상에 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터를 형성하는 단계와, 상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층되도록 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링 하기 위한 제2타입의 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함한다.
상기 제1스펙트럼 영역은 옐로우 스펙트럼 영역이고, 상기 제2스펙트럼 영역은 시안 스펙트럼 영역이다.
본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 어레이는 유리 기판과, 상기 유리 기판 상에 형성된 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터와, 상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층된 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제2타입의 컬러 필터를 포함한다.
상기 제1스펙트럼 영역은 옐로우 스펙트럼 영역이고, 상기 제2스펙트럼 영역은 시안 스펙트럼 영역이다.
상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층된 상기 제2타입의 컬러필터는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 기능을 수행한다.
본 발명의 실시 예에 따른 이미지 촬상 장치는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 광 감지 소자들을 포함하는 픽셀 어레이와, 상기 다수의 광 감지 소자들 중에서 대응되는 광 감지 소자 상부에 적층된 다수의 컬러 필터들을 포함하는 컬러 필터 어레이를 포함한다. 상기 컬러 필터 어레이는 유리 기판상에 형성된 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터와, 상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층되도록 형성되고, 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링 하기 위한 제2타입의 컬러 필터를 포함한다.
상기 제1스펙트럼 영역은 옐로우 스펙트럼 영역이고, 상기 제2스펙트럼 영역은 시안 스펙트럼 영역이다.
상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층된 상기 제2타입의 컬러필터는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 기능을 수행한다.
본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 얇고 작은 레이아웃을 갖 는 컬러 필터 어레이를 제조할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 포토 마스크의 수와 노광 공정을 단축하여 제조 공정을 단순화시킴으로써 공정 효율성을 높이고 생산단가를 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 옐로우 컬러 필터와 시안 컬러 필터를 적층하여 그린 컬러 필터를 형성함으로써 더 향상된 분광 특성을 갖는 효과가 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하, 도 1 내지 도 5를 참조하는 본원 발명의 실시 예에서는 안료 분산법(photolithography)을 이용한 컬러 필터 어레이의 제조 과정을 설명하며, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터 어레이의 제조 공정을 설명하기 위한 도면을 나타낸다. 도 1에 도시된 도면들 각각은 제1 컬러 필터, 제2 컬러 필터, 및 제3컬러 필터 각각을 형성하는 과정을 나타내기 위한 단면도이다.
여기서 제1컬러 필터는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 컬러 필터를 나타내고, 제2컬러 필터는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 컬러 필터를 나타내고, 제3컬러 필터는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 컬러 필터를 나타낸다.
도 1을 참조하면, 컬러 필터 어레이는 그 구조가 유리 기판(10), 컬러 영상을 구현하기 위한 다수의 컬러 필터들, 및 층간 절연막(20)을 포함한다. 상기 컬러 필터 어레이의 구조는 상기 컬러 필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치의 종류 및 액정 모드에 따라 그 구조가 바뀌어질 수 있다.
컬러 필터 어레이의 제조 공정은 세정된 유리 기판(10)상에 제1타입 예컨대, 옐로우 타입의 포토레지스트(Photo Resistor(PR))를 도포하고, 상기 제1타입의 포토 레지스트가 도포된 유리 기판(10)상에 포토 마스크(photo mask)를 대고 노광 및 현상 공정을 순차적으로 수행한다. 노광 및 현상 공정의 수행 결과, 유리 기판(10)상에는 제1패턴(12)과 제2패턴(14)을 제외한 나머지 영역에 도포된 제1타입의 포토 레지스트가 제거되고, 제1패턴(12)과 제2패턴(14)이 형성된다. 즉, 유리 기판(10)상에는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하여 분광할 수 있는 옐로우 필터가 각각 형성된다.
그 다음으로, 제1패턴(12)과 제2패턴(14)의 상부 및 나머지 유리 기판(10)상에 제2타입 예컨대, 시안 타입의 포토 레지스트를 도포하고, 상기 제2타입의 포토 레지스트가 도포된 유리 기판(10)상에 포토 마스크를 대고 노광 공정과 현상 공정을 순차적으로 수행한다. 노광 공정과 현상 공정의 수행 결과, 유리 기판(10)상에 는 제3패턴(16)과 제4패턴(18)을 제외한 나머지 영역에 도포된 제2타입의 포토 레지스트가 제거되고, 제3패턴(16)과 제4패턴(18)이 형성된다. 이때, 제2타입의 제3패턴(16)은 제1타입의 제2패턴(14) 상부에 적층되어 형성된다. 이에 따라 유리 기판(10)상에는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하여 분광할 수 있는 시안 컬러 필터가 각각 형성된다.
상술한 바와 같이,유리 기판(10) 상에는 옐로우 컬러 필터가 적층된 제1컬러 필터, 시안 컬러 필터가 적층된 제2컬러 필터, 및 옐로우 컬러 필터와 시안 컬러 필터가 서로 적층된 제3컬러 필터가 생성된다.
상기 제3 컬러 필터는 제1컬러 필터 즉, 옐로우 컬러 필터와 제2컬러 필터 즉, 시안 컬러 필터를 통과한 광을 투과한다. 예컨대, 제3컬러 필터는 제2컬러 필터 즉, 시안 컬러 필터를 통해 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하고, 필터링된 빛을 제1컬러 필터 즉, 옐로우 컬러 필터를 통해 옐로우 스펙트럼 영역의 빛으로 다시 필터링함으로써 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있다.
이와 같이, 제3컬러 필터는 서로 다른 종류의 컬러 필터 즉, 제1컬러 필터와 제2컬러 필터가 서로 적층되어 하나의 컬러 필터로 형성되며, 상기 제1컬러 필터와 상기 제2컬러 필터의 적층 순서는 그 반대로 구현될 수 있다.
일반적으로 컬러 필터의 제조 공정은 특정 스펙트럼 영역의 빛을 수신하여 분광하기 위한 서로 다른 종류의 컬러 필터를 생성하기 위해 최소한 세 번 이상의 마스크 공정을 수행한다.
그러나 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터의 제조 공정은 두 번의 마스크 공정을 통해 세 개의 컬러 필터를 생성할 수 있으며, 이에 따라 컬러 필터의 제조 공정을 단순화시킬 수 있다.
컬러 필터 어레이는 다수의 컬러 필터들이 형성된 유리 기판(10)상에 층간 절연막(20)을 더 형성한다. 층간 절연막(20)은 유리 기판(10)상에 형성된 다수의 컬러 필터들 각각의 표면을 평탄화하기 위해 사용되며, 또한 투명 전극(ITO, 미 도시)과의 접착력을 향상시키기 위하여 사용되기도 한다.
또한, 층간 절연막(20) 내에는 각각의 컬러 필터를 통과한 빛이 수광 영역의 이외의 부분으로 입사되는 것을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(black matrix; BM)가 더 형성될 수 있다.
또한, 광 감지 소자의 상부에는 입사광의 경로를 굴절시켜보다 많은 양의 빛을 광 감지 소자로 집광시키기 위한 마이크로렌즈(22, 24, 및 26)가 배치되어 컬러 필터의 광 감도를 높일 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 마이크로렌즈(22, 24, 및 26)에 의해 집광된 입사광은 제1컬러 필터, 제2컬러 필터, 및 제3컬러 필터 각각을 통해 필터링되고, 필터링된 광은 투과된 컬러 필터에 대응되는 광 감지 소자(미 도시)로 입사된다.
예컨대, 제1컬러 필터 즉, 옐로우 컬러 필터는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하고, 필터링된 광은 대응되는 광 감지 소자(미 도시)로 입사된다. 또한, 제2컬러 필터 즉, 시안 컬러 필터는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하고, 필터링된 광은 대응되는 광 감지 소자(미 도시)로 입사된다. 제3컬러 필터는 제1컬러 필터 즉, 옐로우 컬러 필터와 제2컬러 필터 즉, 시안 컬러 필터를 통과하는 빛을 필터링하고, 필터링된 광은 대응되는 광 감지 소자(미 도시)로 입사된다.
도 2a는 도 1의 컬러 필터 제조 방법에 의해 형성되는 컬러 필터 어레이의 일 예를 나타내고, 도 2b는 도 1의 컬러 필터 제조 방법에 의해 형성되는 컬러 필터 어레이의 다른 예를 나타낸다.
도 2a 및 도 2b는 다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58)을 포함하는 2x2 픽셀 어레이(50, 또는 60)에 대응되는 컬러 필터 어레이의 패턴 배열을 나타낸다.
다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58) 각각은 입사광에 대응하여 전하를 생성하고 생성된 전하를 축적한다. 다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58) 각각은 포토 다이오드(photo diode), 포토 트랜지스터(photo transistor), 포토 게이트(photo gate), 핀드 포토 다이오드(Pinned Photo Diode; PPD) 및 이들의 조합으로 구현될 수 있다.
본 발명의 실시 예에서 다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58) 각각은 특정 스펙트럼 영역 예컨대, 옐로우 스펙트럼 영역, 시안 스펙트럼 영역, 및 그린 스펙트럼 영역 중에서 어느 하나의 영역을 감지하기 위한 픽셀이다.
다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58) 각각의 상부에는 다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58) 각각에 해당하는 스펙트럼 영역의 빛을 투과시키기 위한 대응되는 컬러 필터가 배치된다.
예컨대, 옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 픽셀은 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 옐로우 컬러 필터(YF)의 아래에 배치되고, 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 픽셀은 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 시 안 컬러 필터(CF)의 아래에 배치되고, 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 픽셀은 그리 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 서로 적층된 다수의 컬러 필터들(이하, "그린 컬러 필터(GF)"라 한다) 아래에 배치된다.
도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 2x2 픽셀 어레이(50)는 옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제1픽셀(52), 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54)과 제3픽셀(56), 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제4픽셀(58)을 포함한다.
이 경우, 옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제1픽셀(52)과 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 및 제3픽셀(56) 각각의 상부에는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 옐로우 컬러 필터(YF)가 배치된다.
또한, 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 및 제3픽셀(56) 각각의 상부와 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제4픽셀(58)의 상부에는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 시안 컬러 필터(CF)가 배치된다.
즉, 제2픽셀(54) 및 제3픽셀(56) 각각의 상부에는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 시안 컬러 필터(CF)가 서로 적층되고, 서로 적층된 옐로우 컬러 필터와 시안 컬러 필터는 제3컬러 필터를 형성한다.
제3컬러 필터는 시안 컬러 필터(CF)를 통해 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링한 후, 필터링된 빛에서 옐로우 컬러 필터(YF)를 통해 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 다시 필터링한다. 이와 같이 시안 컬러 필터(CF)와 옐로우 컬러 필터(YF)를 통과한 빛은 그린 스펙트럼 영역의 빛과 동일하다. 따라서, 컬러 필터 어레이는 시안 컬러 필터(CF)와 옐로우 컬러 필터(YF)를 이용하여 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있다. 이하, 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)가 서로 적층된 제3컬러 필터를 '그린 컬러 필터(GF=YF+CF)'라 한다.
또한, 도 2b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에서 2x2 픽셀 어레이(60)는 옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제1픽셀(52), 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54)과 제4픽셀(58), 및 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제3픽셀(56)을 포함한다.
옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제1픽셀(52)과 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 및 제4픽셀(58) 각각의 상부에는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 옐로우 컬러 필터(YF)를 배치된다.
또한, 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 및 제4픽셀(58)과 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제3픽셀(56)의 상부에는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 시안 컬러 필터(CF)를 배치된다.
즉, 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 및 제4픽셀(56) 각각의 상부에는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 시안 컬러 필터(CF)가 서로 적층되어 제3컬러 필터 즉, 그린 컬러 필터(GF=YF+CF)를 형성한다.
제3컬러 필터 즉, 그린 컬러 필터(GF)는 시안 컬러 필터(CF)를 통해 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링한 후, 필터링된 빛에서 옐로우 컬러 필터(CF)를 통해 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 다시 필터링한다. 이에 따라 제3컬러 필터 즉, 그린 컬러 필터(GF)는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법는 서로 다른 종류의 컬러 필터들을 적층하여 어느 하나의 컬러 필터를 형성함으로써 마스크 공정을 줄일 수 있는 효과가 있다.
예컨대, 컬러 필터 어레이는 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)를 서로 적층하여 그린 컬러 필터(GF)를 형성함으로써, 별도의 그린 컬러 필터(GF)를 형성하기 위한 마스크 공정을 줄일 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 컬러 필터를 형성하기 위한 마스크 공정 수를 감소시킴으로써 컬러 필터 어레이의 제조 공정을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다.
도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 광 감지 소자의 분광 특성을 나타내는 그래프이다. 도 3의 가로축은 광(빛)의 파장을 나타내고, 세로축은 상대적인 광 감도를 나타내는 보색 필터의 분광(또는 투과) 특성을 나타내는 그래프이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 광 감지 소자는 특정 스펙트럼 영역 즉, 옐로우 스펙트럼 영역(YELLOW), 그린 스펙트럼 영역(GREEN), 및 시안 스펙트럼 영역(CYAN)마다 서로 다른 광전 변환 특성을 나타낸다.
예컨대, 광 감지 소자는 옐로우 스펙트럼 영역(YELLOW)에서 500~600 nm의 파장을 흡수하고, 시안 스펙트럼 영역(CYAN)에서 450~550nm의 파장을 흡수하고, 그린 스펙트럼 영역(GREEN)에서 500~550nm의 파장을 흡수한다.
이미지 촬상 장치는 서로 다른 분광 특성을 갖는 다수의 컬러 필터들 예컨대, 옐로우 컬러 필터(YF), 시안 컬러 필터(CF), 및 그린 컬러 필터(GF)을 포함하는 컬러 필터 어레이를 이용하여 컬러 영상을 디스플레이할 수 있다.
컬러 필터 어레이는 다수의 컬러 필터들 각각을 형성하기 위한 수차례의 마스크 공정을 거친다. 이 경우, 컬러 필터 어레이는 컬러 필터들 각각을 형성하기 위한 마스크 공정마다 공정 과정, 및 재료등의 차이로 인해 컬러 필터 각각의 분광 특성이 달라질 수 있다.
예컨대 그린 컬러 필터(GF)를 형성하는 경우, 일반적인 그린 스펙트럼 영역(GREEN)의 투과 파장 영역은 500-600nm 이나, 컬러 필터를 제조하기 위해 도포되는 포토 레지스트의 농도에 따라 그린 컬러 필터(GF)의 투과 파장 영역은 제1파장 영역(a) 또는 제2파장 영역(b)을 갖을 수 있다. 이와 같은 다수의 컬러 필터들 예컨대, 옐로우 컬러 필터(YF), 그린 컬러 필터(GF), 및 시안 컬러 필터(CF) 각각의 감도 변화는 컬러 필터 어레이의 전체 특성을 저하시킬 수 있다.
그러나 본 발명의 실시 예에 따라 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)를 적층하여 그린 컬러 필터(GF)를 형성하는 경우, 그린 컬러 필터(GF)는 가시광 영역에서 옐로우 컬러 필터(YF)를 통해 옐로우 스펙트럼 영역(YELLOW)의 500~600nm의 파장을 필터링하고, 필터링된 영역에서 시안 컬러 필터(CF)를 통해 시안 스펙트럼 영역(CYAN)의 450~550nm의 파장을 다시 필터링함으로써, 즉 가시광 영역에서 이 부분, 즉 옐로우 스펙트럼 영역과 시안 스펙트럼 영역을 제외한 나머지 투과 파장 영역 즉, 500~550nm 대의 파장을 반사, 또는 흡수할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 그린 컬러 필터(GF)의 투과 파장 영역(c)은 그린 스펙트럼 영역(GREEN)의 투과 파장 영역 즉, 500~550nm과 동일하다.
따라서 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 제조 공정에 따른 컬러 필터의 감도 변화와 상관없이 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)를 중첩하여 불필요한 파장 영역을 제거한 분광 특성을 갖는 컬러 필터를 제조함으로써 컬러 필터 어레이의 감도를 향상시킬 수 있다.
도 4은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법을 나타낸다.
도 4에 도시된 도면들 각각은 제1 컬러 필터, 제2 컬러 필터, 및 제3컬러 필터 각각을 형성하는 과정을 나타내기 위한 단면도이다. 여기서 제1컬러 필터는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 컬러 필터를 나타내고, 제2컬러 필터는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 컬러 필터를 나타내고, 제3컬러 필터는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 컬러 필터를 나타낸다.
도 4를 참조하면, 컬러 필터 어레이는 그 구조가 유리 기판(10), 컬러 영상을 구현하기 위한 다수의 컬러 필터들, 및 층간 절연막(34)을 포함한다.
컬러 필터의 제조 공정은 세정된 유리 기판(10) 상에 제1타입 예컨대, 옐로우 타입의 포토 레지스트를 도포하고, 상기 제1타입의 포토 레지스트가 도포된 유리 기판(10)에 포토 마스크(photo mask)를 대고 노광 공정과 현상 공정을 순차적으로 수행한다. 노광 공정과 현상 공정의 수행 결과, 유리 기판(10)상에는 제5패턴(30)을 제외한 나머지 영역의 제1타입의 포토 레지스트가 제거되고, 제1타입의 제5패턴(30)이 형성된다. 여기서 제5패턴(30)은 제1컬러 필터를 형성하기 위한 것으로, 상기 제5패턴(30)을 제3컬러 필터를 형성하기 위한 곳까지 연장하여 형성한다.
그 다음으로 제5패턴(30)의 상부 및 나머지 유리 기판(10)상에 제2타입 예컨대, 시안 타입의 포토 레지스트를 도포하고, 상기 제2타입의 포토 레지스트가 도포된 유리 기판(10)상에 포토 마스크를 대고 노광 공정과 현상 공정을 순차적으로 수행한다. 노광 공정과 현상 공정의 수행 결과, 유리 기판상(10)에는 제6패턴(32)을 제외한 나머지 영역에 도포된 제2타입의 포토 레지스트가 제거되고, 제2타입의 제6패턴(32)을 형성한다. 여기서 제6패턴(32)은 제2컬러 필터를 형성하기 위한 것으로, 상기 제6패턴(32)을 제3컬러 필터를 형성하기 위한 곳까지 연장하여 형성한다. 또한, 제6패턴(32)은 제5패턴(30)의 적어도 일부에 적층되도록 형성된다.
이와 같이, 유리 기판(10)상에 형성된 제5패턴(30)의 일부는 제1컬러 필터를 형성하고, 제6패턴(32)의 일부는 제2컬러 필터를 형성하고, 제5패턴(30)의 적어도 일부와 제6패턴(32)의 적어도 일부는 서로 적층되어 제3컬러 필터를 형성한다.
즉, 본 발명의 실시 예에서는 유리 기판(10)상에 형성되는 서로 다른 종류의 컬러 필터 즉, 옐로우 컬러 필터과 시안 컬러필터의 패턴을 연장하고, 연장된 서로 다른 종류의 컬러 필터의 패턴을 중첩하여 그린 컬러 필터(GF)를 형성한다.
광 감지 소자의 상부에는 광 감도를 높이기 위하여 마이크로 렌즈(36, 38, 및 40)가 배치될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 마이크로렌즈(36)에 의해 집광된 입사광은 제1컬 러 필터, 제2컬러 필터, 및 제3컬러 필터 각각을 통해 필터링되고, 필터링된 광은 투과된 컬러 필터에 대응되는 광 감지 소자로 입사된다.
예컨대, 제1컬러 필터 즉, 옐로우 컬러 필터(YF)는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하고, 필터링된 광을 대응되는 픽셀로 입사된다. 또한, 제2컬러 필터 즉, 시안 컬러 필터(CF)는 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하고, 필터링된 광은 대응되는 픽셀로 입사된다. 제3컬러 필터 즉, 그린 컬러 필터(GF)는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하고, 필터링된 광은 대응되는 픽셀로 입사된다.
도 5는 도 4의 컬러 필터 제조 방법에 의해 형성되는 컬러 필터 어레이의 일 예를 나타낸다.
도 5는 다수의 픽셀들(52, 54, 56, 및 58)을 포함하는 2x2 픽셀 어레이(70)에 대응되는 컬러 필터 어레이의 패턴 배열을 나타낸다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 2x2 픽셀 어레이(70)는 옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제1픽셀(52), 옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 내지 제3픽셀(56), 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제4픽셀(58)을 포함한다.
옐로우 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제1픽셀(52)과 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54)과 제3픽셀(56)의 상부에는 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 옐로우 컬러 필터(YF)가 배치된다. 즉, 옐로우 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 옐로우 컬러 필터(YF)는 상기 옐로우 컬러 필터(YF)를 통과한 광을 감지할 수 있는 제1픽셀(52)뿐만 아니라 제2픽셀(54) 및 제3픽셀(56) 각각의 상부에까지 연장하여 배치된다.
또한, 그린 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제2픽셀(54) 및 제3픽셀(56)과 시안 스펙트럼 영역을 감지하기 위한 제4픽셀(58)의 상부에는 시안 컬러 필터(CF)가 배치된다. 즉, 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링할 수 있는 시안 컬러 필터(CF)는 시안 컬러 필터(CF)를 통과한 광을 감지할 수 있는 제4픽셀(58) 뿐만 아니라 그린 컬러 필터를 통과한 광을 감지할 수 있는 제2픽셀(54) 및 제3픽셀(56) 각각의 상부까지 연장하여 배치된다.
이에 따라 제2픽셀(54)과 제3픽셀(56)의 상부에는 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)가 서로 적층되고, 서로 적층된 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)는 그린 컬러 필터(GF=YF+CF)를 형성한다.
컬러 필터 어레이의 레이아웃 면적이 작은 경우, 서로 다른 종류의 다수의 컬러 필터들 각각을 형성하기 위한 마스크 공정을 수차례 반복하는 경우, 컬러 필터 어레이는 수차례의 노광 공정 및 현상 공정을 거치게 됨에 따라 이미 형성된 컬러 필터가 식각되어 불량율이 증가한다. 따라서, 컬러 필터의 레이아웃 면적이 작아질수록, 상기 컬러 필터를 형성하기 위한 마스크 공정이 점차 복잡하고 어려워진다.
그러나, 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 어느 하나의 픽셀의 컬러 필터를 형성하기 위한 패턴을 연장하여 인접한 픽셀의 컬러 필터의 패턴도 함께 형성함으로써 공정 과정을 단순화시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 옐로우 컬러 필터(YF), 그린 컬러 필터(GF), 및 시안 컬러 필터(CF) 각각의 영역의 크기는 도 5에 도시된 바와 같이 서로 다를 수 있다. 옐로우 컬러 필터(YF), 그린 컬러 필터(GF), 및 시안 컬러 필터(CF) 각각의 영역의 크기는 제조 과정 예컨대, 컬러 필터의 패턴 배열에 따라 서로 다를 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 어레이는 도 1의 컬러 필터 제조 방법과 도 4의 컬러 필터 제조 방법 중에서 어느 하나의 방법으로 형성될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치의 개략적인 블록도를 나타낸다.
도 6을 참조하면, 이미지 촬상 장치(100)는 픽셀 어레이(pixel array), 컬러 필터 어레이(110), 로우 디코더(row decoder; 120), 컬럼 디코더(column decoder; 125), 타이밍 생성기 (Timing Generator(T/G); 140), 및 아날로그-디지털 변환 장치(130)를 포함한다. 이미지 촬상 장치(100)는 하나의 칩으로 구현될 수 있다.
픽셀 어레이(20)는 다수의 로우들(rows)과 다수의 컬럼들(columns) 사이에 2차원 매트릭스 형태로 배열된 다수의 픽셀들(Y, G, 및 C)을 포함한다. 예컨대, 다수의 픽셀들(Y, G, 및 C) 각각은 옐로우 스펙트럼 영역, 시안 스펙트럼 영역, 및 그린 스펙트럼 영역 중에서 대응되는 어느 하나의 영역의 빛을 전기 신호로 변환하기 위한 픽셀이다.
또한, 컬러 필터 어레이는 다수의 컬러 필터(YF, GF, 및 CF)들을 포함하며, 특정 스펙트럼 영역의 빛을 투과시키기 위한 각각의 컬러 필터가 대응하는 픽셀의 상부에 배치된다. 예컨대, 다수의 컬러 필터들(YF, GF, 및 CF) 각각은 옐로우 스펙 트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 옐로우 컬러 필터(YF), 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 그린 컬러 필터(GF), 및 시안 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 시안 컬러 필터(CF)를 포함할 수 있다.
즉, 다수의 픽셀들(Y, G, 및 C) 각각은 다수의 필터들(Y, G, 및 C) 중에서 대응하는 컬러 필터를 통과한 광을 감지하고, 감지 결과로서 전기 신호를 발생한다.
로우 디코더(120)는 픽셀 어레이에 접속되며, 타이밍 생성기(140)로부터 출력된 제어신호들에 응답하여 순차적으로 또는 미리 지정된 순서에 따라 픽셀 어레이의 로우(row)를 선택한다.
컬럼 디코더(125)는 픽셀 어레이에 접속되며, 타이밍 생성기(140)로부터 출력된 제어 신호들에 응답하여 순차적으로 또는 미리 지정된 순서에 따라 픽셀 어레이의 컬럼(column)을 선택한다.
즉, 이미지 촬상 장치(100)의 픽셀 어레이는 로우 디코더(120)와 컬럼 디코더(125)에 의하여 선택된 적어도 하나의 픽셀로부터 생성된 아날로그 신호들 즉, 리셋 신호와 영상 신호를 아날로그-디지털 변환 장치(41)로 출력한다.
타이밍 생성기(140)는 픽셀 어레이, 컬러 필터 어레이(110), 로우 디코더(120), 컬럼 디코더(125), 타이밍 생성기(140), 및 아날로그-디지털 변환 블록(130) 중에서 적어도 하나의 동작을 제어하기 위한 적어도 하나의 제어 신호를 생성한다.
아날로그-디지털 변환 블록(130)은 각각의 픽셀로부터 출력되는 아날로그 신 호를 디지털 신호로 변환한다.
본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 얇고 작은 레이아웃을 갖는 컬러 필터 어레이를 제조할 수 있으며, 포토 마스크의 수와 노광 공정을 단축하여 제조 공정을 단순화시킴으로써 공정 효율성을 높이고 생산단가를 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법은 옐로우 컬러 필터(YF)와 시안 컬러 필터(CF)를 적층하여 그린 컬러 필터(GF)를 형성함으로써 더 향상된 분광 특성을 갖는 효과가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터 어레이의 공정을 설명하기 위한 도면을 나타낸다.
도 2a는 도 1의 컬러 필터 제조 방법에 의해 형성되는 컬러 필터 어레이의 일 예를 나타낸다.
도 2b는 도 1의 컬러 필터 제조 방법에 의해 형성되는 컬러 필터 어레이의 다른 예를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 광 감지 소자의 분광 특성을 나타내는 그래프이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 컬러 필터 제조 방법을 나타낸다.
도 5는 도 3의 컬러 필터 제조 방법에 의해 형성되는 컬러 필터 어레이의 일 예를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 컬러 필터 어레이를 포함하는 이미지 촬상 장치의 개략적인 블록도를 나타낸다.

Claims (8)

  1. 유리 기판상에 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터를 형성하는 단계;
    상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층되도록 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링 하기 위한 제2타입의 컬러 필터를 형성하는 단계; 및
    상기 제1타입의 컬러 필터와 상기 제2타입의 컬러 필터가 형성된 상기 유리 기판 상에 층간 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 컬러 필터 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1스펙트럼 영역은 옐로우 스펙트럼 영역이고, 상기 제2스펙트럼 영역은 시안 스펙트럼 영역인 컬러 필터 제조 방법.
  3. 유리 기판;
    상기 유리 기판상에 형성된, 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터;
    상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층된 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제2타입의 컬러 필터; 및
    상기 제1타입의 컬러 필터와 상기 제2타입의 컬러 필터가 형성된 상기 유리 기판 상에 형성되는 층간 절연막을 포함하는 컬러 필터 어레이.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1스펙트럼 영역은 옐로우 스펙트럼 영역이고, 상기 제2스펙트럼 영역은 시안 스펙트럼 영역인 컬러 필터 어레이.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층된 상기 제2타입의 컬러 필터는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 기능을 수행하는 컬러 필터 어레이.
  6. 매트릭스 형태로 배열된 다수의 광 감지 소자들을 포함하는 픽셀 어레이; 및
    상기 다수의 광 감지 소자들 중에서 대응되는 광 감지 소자 상부에 적층된 다수의 컬러 필터들을 포함하는 컬러 필터 어레이를 포함하며,
    상기 컬러 필터 어레이는,
    유리 기판상에 형성된, 제1스펙트럼 영역의 빛을 필터링하기 위한 제1타입의 컬러 필터;
    상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층되도록 형성되고, 제2스펙트럼 영역의 빛을 필터링 하기 위한 제2타입의 컬러 필터; 및
    상기 제1타입의 컬러 필터와 상기 제2타입의 컬러 필터가 형성된 상기 유리 기판 상에 형성되는 층간 절연막을 포함하는 이미지 촬상 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1스펙트럼 영역은 옐로우 스펙트럼 영역이고, 상기 제2스펙트럼 영역은 시안 스펙트럼 영역인 이미지 촬상 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 제1타입의 컬러 필터의 적어도 일부에 적층된 상기 제2타입의 컬러 필터는 그린 스펙트럼 영역의 빛을 필터링하는 기능을 수행하는 이미지 촬상 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011142774A1 (en) * 2010-05-14 2011-11-17 Omnivision Technologies, Inc. Alternative color image array and associated methods
US8345132B2 (en) 2010-07-23 2013-01-01 Omnivision Technologies, Inc. Image sensor with dual element color filter array and three channel color output
TWI432766B (zh) * 2011-12-28 2014-04-01 Pixart Imaging Inc 光源辨識裝置、光源辨識方法以及光學追蹤裝置
US10349015B2 (en) * 2015-06-08 2019-07-09 Trustees Of Dartmouth College Image sensor color filter array pattern

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0186183B1 (ko) * 1995-12-19 1999-03-20 문정환 컬러 고체촬상소자
JPH11281813A (ja) * 1998-03-30 1999-10-15 Sony Corp 固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法
KR100731114B1 (ko) 2004-07-13 2007-06-22 동부일렉트로닉스 주식회사 씨모스 이미지 센서 및 그의 제조 방법
JP2006210701A (ja) 2005-01-28 2006-08-10 Sanyo Electric Co Ltd 固体撮像装置及びその製造方法
JP2007311447A (ja) 2006-05-17 2007-11-29 Sanyo Electric Co Ltd 光電変換装置

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