KR940007214A - 음극 스퍼터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생 장치 - Google Patents

음극 스퍼터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생 장치 Download PDF

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KR940007214A
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롤란트 게쉐
루돌프 라츠
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페터 좀머캄프, 에릭투테
라이볼트 악티엔게젤샤프트
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Abstract

이 발명은 음극 스프터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생 장치에 관한 것이다. 이 장치는 마그네트론 음극을 넘어 대기에 공동 공진기가 위치한 마그네트론 음극으로 구성되어 있다. 진공 측면에서 이 장치는 측면으로 경계가 지어진 차폐판을 포함하는데 차폐판의 안쪽에는 마그네트론 음극의 타켓 표면에 수직인 장을 발생시키는 자석으로 마련되어 있다.

Description

음극 스퍼터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 플라즈마 챔버, 마그네트론 음극 및 마이크로파 조사를 보여주는 도면,
제2도는 마그네트론 음극의 전방에서 직접적으로 마이크로파 조사와 플라즈마 챔버를 보여주는 부분 투시도이다.

Claims (9)

  1. 플라즈마 챔퍼(20); 전원장치(10)에서 전극(9)에 연결된 플라즈마 챔버(20) 내의 타켓(8); 자장(18,19)이 타켓(8)으로 부터 방출되고 다시 타켓으로 들어가는 마그네트론, 도판관(26)을 경유하여 타켓(8)의 전방에 있는 영역 속으로, 차폐판(21,22)에 평행한 타켓 표면에 수직으로 공급되는 마이크로파(33,34)를 송신하는 마이크로파 송신장치로 구성되는 음극 스프터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생 장치에 있어서, 차폐판(21,22) 상에는 근본적으로 차폐판(21,22)에 평행하게 연장되는 장을 발생시키기는 자석(24,25)이 제공되어짐을 특징으로 하는 음극 스프터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생장치.
  2. 제1항에 있어서, 자석(24,25)은 차폐판(21,22)의 주위를 휘감는 코일(24,25)로 구성된 전자석임을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 자장은 직류장인 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 자장은 교류장인 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 플라즈마 챔버(20)는 하우징(2)의 외부에 마이크로파가 투과할 수 있는 밀봉재(11,12) 및 프라즈마 챔버(20)를 갖는 갭(27,28)을 경유하여 연결된 도파관(26)이 배치된 하우징 안에 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 차폐판(21,22)안에는 플라즈마 챔버(20)속으로 향한 몇개의 구멍들(41∼43)로 구성돈 집적된 가스 피드라인(29,30)이 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 차폐판(21,22)은 프로텍션 앵글(31,32)에 의하여 둘러 싸여진 가스 피드 라인(29,30)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제5항에 있어서, 밀봉재(11,12)는 밀봉링(35,36)을 갖는 테플론 소자로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제1항과 5항에 있어서, 테플론 소자는 하부 공진기로서 작용하는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930017227A 1992-09-10 1993-08-31 음극 스퍼터링 및 마이크로파 조사를 이용한 플라즈마 발생 장치 KR940007214A (ko)

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