KR930020598A - 세정 처리 장치 - Google Patents

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유우지 가미카와
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이노우에 아키라
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다카시마 히로시
도오교오 에레구토론 사가 가부시끼가이샤
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Abstract

인접하는 처리실을 서로 구획하는 격벽의 하부에 연통구를 설치하여 양 처리실을 연이어 통하고, 양 처리실내에 처리액을 수용하는 처리 탱크를 이동가능하게 배설한다.
처리 탱크에 수용되는 처리액과 격벽을 접속시켜서 양처리실을 차폐한다. 이것에 의해, 양처리실의 분위기가 서로 격리되므로서, 양 처리실내의 처리 탱크를 겸용할 수 있고, 장치전체를 소형화로 함과 동시에, 처리액의 소비량을 저감할 수가 있다. 또, 웨이퍼의 반송수단을 불필요하게 하므로, 수율을 향상시킬 수가 잇다.

Description

세정 처리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 세정처리장치를 가지는 반도체웨이퍼의 세정장치의 전체구성을 나타낸 개략사시도.
제2도는 본 발명의 세정처리장를 나타내는 개략사시도.
제3도는 본 발명의 세정처리장치의 요부를 나타낸 사시도.
제4도는 본 발명의 세정처리장치의 처리 탱크의 사시도.

Claims (11)

  1. 처리액을 수용하는 처리 탱크(9)를 각각 배설한 여러 개의 처리실을 가지며, 차례로, 상기 처리 탱크내의 처리액에 피처리체를 침지하여 그 세정처리를 하는 세정처리장치에 있어서, 인접하는 상기 처리실을 서로 구획하는 격벽(20)을 설치하고, 이 격벽(20)의 하단부에 연통부(21)를 설치하여 상기 양 처리실을 서로가 연결되어 통하게 하고, 연결되어 통하게 한 상기 양처리 사이에서 피처리체를 서용하여 이동이 가능한 가동처리 탱크를 설치하고, 이 가동처리 탱크에 수용된 처리액과 상기 격벽의 하단부를 접촉시켜서 상기 양 처리실의 분위기를 서로 차폐하는 것을 특징으로 하는 세정처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가동처리 탱크가 처리 탱크밸설부의 바닥부에 배설된 한쌍의 안내샤프트에 미끄럼 이동이 자유롭게 끼워 맞춤된 미끄럼이동부를 가진 가동대상에 배치되고, 이 가동대상에 안내용 긴구멍을 형성하여 미끄럼 이동이 가능하게 미끄럼 이동핀을 원활하게 맞추는 동시에, 이 미끄럼 이동핀을 조작아암(34)의 한쪽 끝단에 연결하고, 이 조작아암(34)의 다른 쪽 끝단을 정역회전이 가능한 구동모터(27)에연결한 것을 특징으로 하는 세정처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 가동처리 탱크의 개구 가장자리에 오버플로우용 홈(23a)을 형성한 것을 특징으로 하는 세정처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 격벽을 수직방향으로 이동조절이 자유롭게 한 것을 특징으로 하는 세정처리장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 가동처리 탱크에 접속된 처리액 공급관(30)을 더욱 포함하여 구성되는 세정처리장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 가동처리 탱크를 수용하는 처리 탱크 배설부(22)와, 이 배설부(22)의 측벽과 처리탱크와의 사이의 틈을 차폐하는 수단을 더욱 포함하여 구성되는 세정처리장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 차폐수단을 신축이 자유로운 셔터를 포함하고 잇는 세정처리장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 가동처리 탱크를 수용하는 처리 탱크 배설부(22)와, 이 처리 탱크배설부(22)에 접속된 처리액 배출관을 더욱 포함하여 구성되는 세정처리장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 가동처리 탱크내에 설치된 피처리체 지지수단(23b)을 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정처리장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 피처리체 지지수단(23b)은 여러 개의 홈(23c)을 가지고 있는 세정처리장치.
  11. 제9항에 있어서, 피처리체를 상기 지지수단(23b)에 이재하기 위한 웨이퍼 반송수단인 세정처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930003653A 1992-03-12 1993-03-11 세정처리장치 KR100190539B1 (ko)

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