KR930018797A - 레이저 다이오드의 금속전극과 금속반사막 증착방법 - Google Patents
레이저 다이오드의 금속전극과 금속반사막 증착방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 레이저 다이오드의 보호막 증착방법에 관한 것으로서, 특히 금속전극과 금속반사막을 동시에 기판상에서 증착시킬수 있게 하여 보호막 증착공정을 단순화시키고 반사율과 발광효율을 높히고자 한것에 목적을 둔것이다.
상기와 같은 본 발명은 기판의 발광면을 PR패턴하고 포토다이오드 외곽면을 에칭하고 절연막과 금속막을 증착한 다음, 상기 PR패턴을 제거하고 AR코팅을 한것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도의 (가) 내지 (다)는 종래의 레이저 다이오드 전극과 반사막 증착공정도.
제2도의 (가) 내지 (라)는 본 발명의 레이저 다이오드 금속전극과 금속반사막 증착공정도.
Claims (1)
- 기판의 포토다이오드 발광면을 PR패턴하는 패턴공정과, 포토다이오드 외곽면을 에칭하는 에칭공정과, 상기 에칭된 면에 절연층의 반사막을 PR코팅(λ/2n)두께로 증착하는 절연층 증착공정과, 상기 절연층 위에 금속막을 증착하는 금속막 증착공정과, 상기 PR패턴을 제거하고 RIE에칭한후 AR코팅팅(λ/4n)하는 절연막 증착공정으로 제조된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드의 금속전극과 금속 반사막 증착방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920003274A KR930018797A (ko) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | 레이저 다이오드의 금속전극과 금속반사막 증착방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920003274A KR930018797A (ko) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | 레이저 다이오드의 금속전극과 금속반사막 증착방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930018797A true KR930018797A (ko) | 1993-09-22 |
Family
ID=67257176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920003274A KR930018797A (ko) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | 레이저 다이오드의 금속전극과 금속반사막 증착방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930018797A (ko) |
-
1992
- 1992-02-29 KR KR1019920003274A patent/KR930018797A/ko not_active Application Discontinuation
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