KR930014863A - 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법 - Google Patents

영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 간단한 광학시스템과 영상처리시스템을 이용해 반도체재료의 에너지 갭(Energy Gap)을 사정하기 위한 에너지 갭 측정방법에 관한 것으로 지금까지는 주로 이론적 바탕에 근거하여 분광 광도계를 통해 반도체 재료의 에너지 캡 크기를 유도했다.
그러나 본 발명은 투과 스펙트럼을 얻기 위해 광원(light source)의 파장을 연속적으로 변화시켜 시편에 주사시키는 기존의 분광 광도계(spectro photometer)를 사용하는 대신에 일정대역의 광원(에너지 갭(Eg)을 중심으로한 일정파장대신의 빛)을 일괄적으로 시편에 투과시켜 이 응답을 영상화한후 이 영상위에 디지틀 영상처리 시스템(digital image processing system)을 이용해 에너지 갭(Eg)값을 직접 읽어낼 수 있도록 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법을 제공하는 것이다.

Description

영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 알파(α)그래프상에서의 에너지 캡 유도를 나타낸 것으로서 (가)는 직접천이(direct transition)을 나타낸 그래프. (나)는 간접천이(indircet transition)을 나타낸 그래프.
제2도는 직접갭(direct gap)을 갖는 반도체의 투과스펙트럼(transimission spectrum)의 특성도.
제3도는 본 발명에 적용된 원리의 도식적 해석을 나타낸 도면.
제4도는 본 발명의 실시예를 나타낸 도면.
제5도는 에너지 갭 측정방법을 위한 본 발명의 플로우 챠트.

Claims (4)

  1. 에너지갭(Eg) 측정프로그램상의 Xgap을 나타내는 픽셀값을 사전에 프리세트시켜 에너지갭에 해당하는 적절한 픽셀값을 사전에 특성분석된 기준 시편을 통해 미리 설정하는 단계 1과, 상기 단계 1에서 설정한 광시스템에 대한 λ=f(x)의 전달함수를 구한후 시편을 위치시켜 영상작업을 수행하는 단계 2와, 상기 단계 2에서 영상모니터상의생화면을 프레임메모리에 기억시킨후 영상모니터상의 영상에서 X축을 따라 픽셀값을 주사하는 단계 3과 단계 3에서 주사한 픽셀값이 갭을 나타내는 Xgap값과 비교하는 단계 4와, 상기 단계 4에서 픽셀값과 Xgap값이 일치하면 그 x좌표를 읽어 λ을 구한후 이를 다시 gap(ev)=의 관계에서 갭(gap)을 (ev)단위로 변화시키는 단계 5와 상기 단계 5에 의하여 측정된 에너지(Eg)값의 프로그램이 끝나도록 수행시킴을 특징으로 하는 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법.
  2. 제1항에 있어서 다색광원출력의 일정파장대역의 광을 시편에 투사시키도록 함을 특징으로 하는 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법.
  3. 제1항에 있어서 영상의 x좌표를 파장값으로 변환시키기 위해 광필터를 사용함을 특징으로 하는 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법.
  4. 제1항에 있어서 에너지갭에 해당하는 픽셀값을 미리 선정한 후 영상의 좌/우변으로부터 우/좌방향으로 x좌표의 각 픽셀값을 주사하여 읽으누 두값을 비교하여 일치했을 때 그 x좌표를 에너지갭(Eg)값으로 읽어내도록 함을 특징으로 하는 영상기법을 이용한 반도체 에너지 갭 측정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910022922A 1991-12-13 1991-12-13 반도체 에너지 갭 측정방법 및 그 장치 KR940010644B1 (ko)

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