JPH07115114A - 半導体エネルギーギャップ測定方法及びその装置 - Google Patents

半導体エネルギーギャップ測定方法及びその装置

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JPH07115114A JP4331752A JP33175292A JPH07115114A JP H07115114 A JPH07115114 A JP H07115114A JP 4331752 A JP4331752 A JP 4331752A JP 33175292 A JP33175292 A JP 33175292A JP H07115114 A JPH07115114 A JP H07115114A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】簡単な光学システムと映像処理システムを利用
して、半導体材料のエネルギーギャップ(Energy
Gap)を査定するためのエネルギーギャップ測定方
法及びその装置を提供する。 【構成】透過スペクトラムを得るために、光源(lig
ht source)の波長を連続的に変化させ、試片
に走査させる既存の分光光度計(spectro ph
otometer)を用いる代わりに、一定帯域の光源
(エネルギーギャップ(Eg)を中心とする一定波長の
代わり光)を一括的に試片に透過させ、この応答を映像
化した後、この映像上に、ディジタル映像処理システム
(digitalimage processing
system)を利用して、エネルギーギャップ(E
g)値を直接読めるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体のエネルギーギ
ャップ(energy gap:Eg)を測定する方法
及びその装置に係り、より具体的には、映像処理システ
ム(image processing syste
m)を利用して、半導体材料のエネルギーギャップ(e
nergy gap)を測定する方法及びその装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来は、主に、次に記述された理論に基
づいて、透過スペクトラムを得るため、光源(ligh
t source)の波長を連続的に変化させ、試片に
走査させる分光光度計(spectro photom
eter)を用いて、半導体材料のもっとも重要な電気
的特性常数のエネルギーギャップの大きさを誘導した。
【0003】このような光学的手段は、半導体のバンド
(band)構造を測定するのにおいてもっとも重要な
手段として知られている。
【0004】半導体材料のエネルギーギャップ(Eg)
の大きさに近接するエネルギー(hν)の光子(pho
ton)を照射され、半導体の伝導帯(conduct
ion band)に価電子帯(valence ba
nd)から電子が放出されて、その光子は吸収される。
このような光吸収メカニズム(mechanism)を
基本吸収(fundamental absorpti
on)と呼ぶ。
【0005】このように、所定帯域のエネルギーを有す
る光子によりバンド等間の光子誘導電子遷移(phot
on induced electronic tra
nsition)が発生されると、半導体材料のエネル
ギーギャップ(Eg)を測定することができる。
【0006】半導体における光透過(optical
transmission)のデュブラウスキ(Dub
rowskii)式は次の通りである。
【0007】
【数1】
【0008】ここで、α:吸収係数(absorpti
on coefficient) d:半導体試片の厚さ R:反射率 A:吸収率 T:透過率 A+T+R=1 上記の式は、光吸収(optical absorp
tion)量が比較的大きい場合に、次のようなMos
sの式で簡単に表現されることができる。
【0009】
【数2】
【0010】そして、基本吸収端(fundament
al absorption edge:band t
o band transition)においての吸収
係数αは、直接遷移(direct transiti
on)と間接遷移(indirect transit
ion)に対して、各々次のような式に表現される。
【0011】※ 直接遷移の場合
【0012】
【数3】
【0013】※ 間接遷移の場合
【0014】
【数4】
【0015】上記の式,でEgdは、直接エネルギー
ギャップ、そして、Egiは間接エネルギーギャップ、E
θは音子エネルギー(phonon energy)を
それぞれ示す。式の右側第一項(hν>Egi−Eθ)
は音子(phonon)が放出されたことを意味し、第
二項(hνEgi−Eθ)は音子が吸収されたことを示
している。
【0016】従って、EgdとEgiは、上記式,を利
用して、
【0017】
【数5】
【0018】の関係をグラフ上に図示して、図1に示し
たことと同じく誘導する。
【0019】ここで、αは式或いは式を通して試片
の厚さが分っている時、分光光度計(spectro
photometer)の出力から得る。
【0020】式において、直接遷移の場合は、エネル
ギーギャップ(Eg)以下の光子エネルギーにおいて
は、α=0であるから、透過スペクトラムは、エネルギ
ーギャップ(Eg)を臨界エネルギー(thresho
ld energy)にして不純物が内在されない半導
体の場合、図2と同じく示されている。このスペクトラ
ムから直接エネルギーギャップ(Egd)を求めることが
できる。即ち、図2において、透過(transmis
sion)の始点がエネルギーギャップ(Eg)を指し
示すことになる。大部分の化合物、半導体は、直接エネ
ルギーギャップ特性を有するので、この方法を適用する
ことになる。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術は、測
定のために高価な装置が必要であり、測定時間が長くか
かるという問題がある。
【0022】本発明は、従来の方法とはまったく異なる
方法で、エネルギーギャップより便利に測定することが
できる新しい測定方法および装置を提供するものであ
る。すなわち、本発明の目的は、一定帯域の光源を一括
的に試片に透過させて、これに対する応答を映像化した
後、ディジタル映像処理システム(digital i
mageprocessing system)を利用
して、映像からエネルギーギャップ(Eg)値を直接読
出すエネルギーギャップ測定システムを提供することに
ある。
【0023】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の一態様によれば、基準試片を特性分析してエネ
ルギーギャップピクセル(pixel)(ピクセル)値
(Xgap )を設定する段階と、透過スペクトラム映像を
構成するそれぞれのピクセル(pixel)値(x)
と、該当ピクセル(pixel)値の波長(λ)間の伝
達函数λ=f(x)を求めた後、試片を位置させてスペ
クトラムの映像化を遂行する段階と、映像化を通して得
られた生画面を記憶させた後、映像のx軸に沿って上記
それぞれのピクセル(pixel)値(x)を走査する
段階と、上記それぞれのピクセル(pixel)値
(x)と上記エネルギーギャップピクセル(pixe
l)値(Xgap)を順次に比較して一致するピクセル
(pixel)のx座標を読み出して波長(λgap)を
求めた後、〔eV〕単位に変換してエネルギーギャップ
(Eg)を求める段階とを含むことを特徴とする半導体
エネルギーギャップ測定方法が提供される。 また、本
発明の他の態様によれば、光学的方式により半導体のエ
ネルギーギャップ(Eg)を測定する装置において、上
記エネルギーギャップ(Eg)の測定と関連された諸般
演算及び制御機能を遂行するパーソナルコンピューター
(9)と、光源(1)から放出された光を集めるレンズ
(2)と、上記レンズ(2)を通して提供された光のス
ペクトラムを試料(4)に照射する多色化手段(3)
と、上記試料(4)を通して提供される透過スペクトラ
ム映像の光を互いに相異なる複数の波長(λP1〜λPn
別に通過させる複数の光フィルター手段(5)と、上記
複数の光フィルター手段(5)により複数のピクセル
(pixel)に達する映像を所定のアナログ(ana
log)電気信号に変換する映像読取手段(6)と、上
記映像読取手段(6)の出力信号をディジタル信号に変
換して記憶する映像信号処理手段(7)と、ピクセル
(pixel)の座標値と波長間の函数関係を設定する
エネルギーギャップ検索及び表示手段(8)とを含むこ
とを特徴とする半導体エネルギーギャップ測定装置が提
供される。
【0024】
【作用】図3は本発明によりエネルギーギャップ測定方
法の原理を説明するための図面である。同図において、
(a)のように、エネルギーギャップ(Eg)を中心と
する一定波長(λ)帯域の光源を試片に透過させる。同
図(b)および(c)のように、得られる透過スペクト
ラム特性を映像で示して、映像処理システムによりその
映像からエネルギーギャップ値を読出す。
【0025】図3(c)において、吸収係数(α)が増
加するほど、即ち、光の吸収が多いほど映像の色が濃厚
だと認識する。再び言うと、λ1側に行くほど、映像は
濃い色が現わされる。
【0026】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
4は、本発明によりエネルギーギャップ測定装置の実施
例を示す。
【0027】参照番号1は、光源で、2は集光のための
レンズ、3は汎用の単色化装置(mone chnom
ator)の出力スリット(out put sli
t)を除去して構成される多色化装置、5はそれぞれ相
異なる:波長(λ)の光だけを通過させる複数の光フィ
ルター、6はシリコンビディコン(siliconvi
dicon)或いはCCD(charge coupl
ed device)カメラ等と同じ映像読取(ima
ge reading)装置、7はイメージングテクニ
ック(imaging technique)社のPC
ビジョンフレームグレバ(PCvision fram
e grabber)と同じディジタル映像信号処理装
置、8は映像のピクセル(pixel)値と波長(λ)
間の函数関係を設定するエネルギーギャップ検索及び表
示装置、9は測定と関連された映像機能及び制御機能を
遂行するパーソナルコンピューターである。
【0028】上記映像読取装置7は、映像信号を二値化
する二値化部、二値化された映像信号を記憶するフレー
ムメモリと、表示ロジックとを有する。エネルギーギャ
ップ検索及び表示装置8は、後述する図5に示すフロー
チャートで表わされる機能を実現するアルゴリズムを記
憶する記憶手段と、これを実行する制御手段とを備えて
いる。このため、それ自体で、または、パーソナルコン
ピュータの指示によりエネルギーギャップを測定して、
その結果を直接にモニタに表示させることができる。
【0029】上記映像信号処理装置7及びエネルギーギ
ャップ検索及び表示装置8は、上記マイクロコンピュー
ター9内に装置されることもできる。パーソナルコンピ
ューター9は、モニター(monitor)を有する。
このモニタは、エネルギーギャップ検索及び表示装置8
に接続することができる。また、映像信号処理装置7に
ついても、ディスプレー(display)を連結する
ことができる。
【0030】次に、ここで映像のx座標値(λ)を設定
する方法について説明する。先に、エネルギーギャップ
(Eg)を中心とする一定波長帯域(λ)の光を試片4
に照射して、放出されたスペクトラムを映像化(ima
ging)を行うので、この帯域の実際波長値等を糾明
するようにする。即ち、パーソナルコンピューター9の
モニター(monitor)又は、映像信号処理装置7
と連結されたディスプレー(display)上に示す
映像で、波長(λ)と座標値(x)との関係λ=f
(x)を求める。
【0031】このための方法としては、図4の実施例に
出ている試片4裏に,測定波長がそれぞれλP1,λP
2,…λPnである複数の光フィルター(optica
lfilter)6を位置させて、モニターでこの波長
等に対する各ピクセル(pixel)値xP1,xP
2,…xPnの座標を求めればできる。即ち、それぞれ
の光フィルターは該当波長λPの光だけを通過させて、
それに対するスペクトラム映像だけがモニター上に示さ
れるようになるので、直ぐその映像のx座標がλPを指
し示すようになる。
【0032】これに対して、図3を参照して、より具体
的に説明すると、試片には、波長が互いに相異なるスペ
クトラム(虹の各色)が連続された区間(通常0.7〜
1.5μm波長)の赤外線が光源で照射されるようにす
る。
【0033】しかし、この時、各スペトクラムの波長値
を知ることができないので、これを知るために、特定波
長だけを通過させる光フィルターを用いる。従って、試
片を通過する光を映像化する時、試片と映像読取装置間
に複数の光フィルター(例を挙げれば試片の左側から赤
色、橙色、黄色、緑色、青色、藍色、紫色順に)を位置
させると、モニターの最左側には赤色に該当する光の波
長で達する映像が現われるし、最右側では紫色に該当す
る光の映像が現われる。
【0034】このように、例えば、緑色の波長を有する
光フィルターを、試片と映像読取装置間に位置させる
と、緑色だけの光(波長)にされた映像がモニター上に
現われるので、この映像のモニター上のx座標値が直ぐ
緑色に該当する波長を意味することになる。
【0035】このように、光フィルターは、λ=f
(x)の関係を誘導するための手段に用いられる。ここ
で、スペクトラム内の波長変化が線形性を有すると、2
個のフィルターだけあれば、λ=f(x)の関係を容易
に誘導することができる。
【0036】次に、ここで図5を参照してエネルギーギ
ャップ(Eg)測定方法に対して説明する。図5は、エ
ネルギーギャップを測定するためのフローチャート(f
low chart)である。
【0037】先ず、エネルギーギャップ(Eg )測定プ
ログラム上のエネルギーギャップピクセル(pixe
l)値Xgap を事前に設定する(段階1)。即ち、半導
体は、一般的に不純物を含んでいる。これがエネルギー
ギャップ(Eg)内に不純物準位(impurity
level)を形成することになるので、これにより、
不純物吸収(impurity absorptio
n)は、基本吸収(fundamental abso
rption)が起きる前に、実際にエネルギーギャッ
プ(Eg)より低い光エネルギー(photon en
ergy)から起きることになる。
【0038】従って、この影響と光システムで用いられ
た光源の強さにより、背景映像のグレーレベル(gra
y level)等を考慮して、エネルギーギャップ
(Eg)に該当する適切なピクセル(pixel)値Xg
ap を、事前に特性分析された基準試片を通して予め設
定しなければならない(段階1)。
【0039】続いて、エネルギーギャップ検索及び表示
装置8を通して、上記段階1において、設定する光シス
テムに対するλ=f(x)の伝達函数を光フィルターを
通して求めた後、試片4を位置させ、映像化(imag
ing)作業を遂行する(段階2)。映像入力装置6を
通して得られる生画面(live image)を映像
信号処理装置7のフレームメモリーに記憶させる。続い
て、モニター上の映像において、x側を沿って左から右
に(又は右から左に)ピクセル(pixel)値を走査
(scanning)する(段階3)。
【0040】このように走査するピクセル(pixe
l)値(x)とエネルギーギャップピクセル(pixe
l)値Xgapを比較して(段階4)、2個の値が一致す
るようになると、ピクセル(pixel)のx座標を読
出して前で求めたλ=f(x)のアルゴリズム(alg
orithm)を通してλgap を求めた後、これを、再
びgap(eV)=1.239/λgap(μm )の関係
で、ギャップ(gap)を〔eV〕単位に変化させる
(段階5)。
【0041】〔eV〕単位に変化されたエネルギーギャ
ップ(Eg)の値は、画面に表示され、エネルギーギャ
ップ(Eg)測定プログラムは終了する(段階6)。
【0042】
【発明の効果】このように本発明は、透過スペクトラム
を得るために光源の波長を連続的に変化させ、試片に走
査させる既存の分光光度計を用いる代わりに、一定帯域
の光源を一括的に試片に透過させ、この応答を映像化す
る後、この映像上に、相対的に簡単な構成を有するディ
ジタル映像処理システムを利用して、エネルギーギャッ
プ値を直接読出すので、より正確に、より早くエネルギ
ーギャップを測定することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】アルファ(α)グラフ上でのエネルギーギャッ
プ誘導を示した図で、(a)は直接遷移(direct
transition)の場合を示したグラフ、
(b)は間接遷移(indirect transit
ion)の場合を示したグラフ。
【図2】間接ギャップ(dirict gap)を有す
る半導体の透過スペクトラム(transmissio
n spectrum)の特性図。
【図3】本発明に適用された原理の図示的な解釈を示し
た図面。
【図4】本発明の一実施例の構成を示すブロック図。
【図5】エネルギーギャップ測定方法のための本発明の
フローチャート。
【符号の説明】 1 光源 2 レンズ 3 多色化装置(poly chromator) 4 試片(sample) 5 光フィルター 6 映像読取装置 7 映像信号処理装置 8 エネルギーギャップ検索及び表示(Energy
Gap Access & Display)装置 9 パーソナルコンピューター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲ばい▼ 一成 大韓民国ソウル特別市瑞草区盤浦洞新盤浦 アパート332−504

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基準試片を特性分析してエネルギーギャッ
    プピクセル(pixel)値(Xgap )を設定する段階
    と、 透過スペクトラム映像を構成するそれぞれのピクセル
    (pixel)値(x)と、該当ピクセル(pixe
    l)値の波長(λ)間の伝達函数λ=f(x)を求めた
    後、試片を位置させてスペクトラムの映像化を遂行する
    段階と、 映像化を通して得られた生画面を記憶させた後、映像の
    x軸に沿って上記それぞれのピクセル(pixel)値
    (x)を走査する段階と、 上記それぞれのピクセル(pixel)値(x)と上記
    エネルギーギャップピクセル(pixel)値(Xga
    p)を順次に比較して一致するピクセル(pixel)
    のx座標を読み出して波長(λgap)を求めた後、〔e
    V〕単位に変換してエネルギーギャップ(Eg)を求め
    る段階とを含むことを特徴とする半導体エネルギーギャ
    ップ測定方法。
  2. 【請求項2】第1項において、 一定波長帯域の光を上記試片に投射させるようにするこ
    とを特徴とする半導体エネルギーギャップ測定方法。
  3. 【請求項3】第1項において、 上記透過スペクトラム映像のx座標を波長値に変換させ
    るために、光フィルターを用いることを特徴とする映像
    技法を利用する半導体エネルギーギャップ測定方法。
  4. 【請求項4】第1項において、 エネルギーギャップに該当するピクセル(pixel)
    値を予め選定した後、映像の左/右辺から右/左方向に
    x座標の各ピクセル(pixel)値を走査して読出し
    た後、二つの値を比較して一致した時、そのx座標をエ
    ネルギーギャップ(Eg)値に読出すようにすることを
    特徴とする半導体エネルギーギャップ測定方法。
  5. 【請求項5】光学的方式により半導体のエネルギーギャ
    ップ(Eg)を測定する装置において、 上記エネルギーギャップ(Eg)の測定と関連された諸
    般演算及び制御機能を遂行するパーソナルコンピュータ
    ー(9)と、光源(1)から放出された光を集めるレン
    ズ(2)と、上記レンズ(2)を通して提供された光の
    スペクトラムを試料(4)に照射する多色化手段(3)
    と、上記試料(4)を通して提供される透過スペクトラ
    ム映像の光を互いに相異なる複数の波長(λP1〜λPn
    別に通過させる複数の光フィルター手段(5)と、 上記複数の光フィルター手段(5)により複数のピクセ
    ル(pixel)に達する映像を所定のアナログ(an
    alog)電気信号に変換する映像読取手段(6)と、
    上記映像読取手段(6)の出力信号をディジタル信号に
    変換して記憶する映像信号処理手段(7)と、 ピクセル(pixel)の座標値と波長間の函数関係を
    設定するエネルギーギャップ検索及び表示手段(8)と
    を含むことを特徴とする半導体エネルギーギャップ測定
    装置。
JP4331752A 1991-12-13 1992-12-11 半導体エネルギーギャップ測定方法及びその装置 Expired - Fee Related JPH0810721B2 (ja)

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KR91-22922 1991-12-13

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JPH07115114A true JPH07115114A (ja) 1995-05-02
JPH0810721B2 JPH0810721B2 (ja) 1996-01-31

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107843567A (zh) * 2017-10-20 2018-03-27 华中科技大学鄂州工业技术研究院 一种测半导体禁带宽度面内各向异性的方法、系统及装置
US11302845B2 (en) 2017-07-27 2022-04-12 Nikkiso Co., Ltd. Semiconductor light-emitting element

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JPH0810721B2 (ja) 1996-01-31
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KR940010644B1 (ko) 1994-10-24

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