JP2007170961A

JP2007170961A - 検査装置及び検査方法

Info

Publication number: JP2007170961A
Application number: JP2005368447A
Authority: JP
Inventors: Megumi Okamoto; 恵岡本
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2005-12-21
Filing date: 2005-12-21
Publication date: 2007-07-05

Abstract

【課題】透明な大型平板状製品の欠陥を容易に検査する。
【解決手段】検査対象の平板状透明製品１５を挟んで配置される一対の偏光子１，２と、一方の偏光子１を通して検査対象１５を照明する照明光源４と、一方の偏光子１と検査対象１５との間に配置される位相子３と、照明光源４から照明光が照射され一対の偏光子の他方の偏光子２から出射する透過光を検出する検出手段８と、検査対象１５を保持すると共に検査対象１５を平行移動させる移動手段５０と、検出手段８が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が増大する方向に偏光子１の光学軸の角度θ１と位相子３の光学軸の角度θ２とを独立に制御する演算手段１０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、光学フイルムや液晶パネル等の透明な平板状製品の欠陥を検査する検査装置及び検査方法に関する。

フラットディスプレイ装置の発展と共に様々な種類の光学フイルムが開発され、例えば、液晶ディスプレイの視野角を拡大するために液晶ディスプレイの表示画面に光学補償フイルムを貼り付けることが行われている。

この様な光学フイルムを製造する場合、フイルム全面を均一に製造しなければならず、このため、光学フイルムの出荷前に、光学フイルムに欠陥があるか否かを検査している。同様に、液晶パネル自体も２枚の透明基板間に液晶を封入した平板状透明製品であり、全面が均一に製造されている必要があるため、出荷前に検査を行う。

下記の特許文献１には、検査対象のフイルムと平行に配置される一対の偏光子と、一対の偏光子のうちの一方の偏光子の外側から偏光子を介して検査対象フイルムを照明する照明手段と、他方の偏光子の外側に配置され検査対象フイルムを透過した透過光を偏光子を介して受光する受光手段と、検査対象フイルムと一対の偏光子の一方との間に検査対象フイルムと平行に配置された光学補償フィルタとを備える欠陥検査装置が記載されており、受光手段が受光する検査対象フイルムの輝度信号から欠陥の有無を検出している。

また、下記の特許文献２には、検査対象フイルムのフイルム面の両側に平行に配置された一対の偏光子と、一方の偏光子を介して検査対象フイルムを照明する照明手段と、検査対象フイルムと他方の偏光子とを透過した透過光を受光する受光手段と、検査対象フイルムの光入射側に平行に挿入する補正フイルムとを備える欠陥検査装置が記載されており、受光手段が受光する検査対象フイルムの輝度信号から欠陥の有無を検出している。そして、この欠陥検査装置では、補正フイルムとして、その複屈折特性が、検査対象フイルムの光学的欠陥の無い部分の複屈折特性と略同一のものを用いている。

特開２００１―５９７９５号公報特開２００１―３２４４５３号公報

液晶画面等に貼り付けて視野角を改善する光学補償フイルム等の光学フイルムや、液晶パネル自体等の平板状の透明製品の欠陥検査には、一般的に、液晶テレビバックライトのような拡散光光源を使用し、検査を行っている。

最近、液晶ディスプレイパネルなどの大型化に伴い、光学補償フイルム等の光学フイルムや、液晶パネル自体等の平板状の透明製品が大型となる傾向がある。一方、平行光を生成するために不可欠な高精度のレンズの大きさ（直径）には限界があり、容易に入手可能な大きさは、１０ｃｍ程度である。勿論、大型サイズのレンズ製作も可能ではあるが、大型化した平板状透明製品の全領域を同時にカバー可能な大サイズのレンズは、製作し難く、高価となる問題があった。

また、平板状透明製品などの検査対象の大きさに比較して小型のレンズを用いて、即ち、小さい照射領域で大きな検査対象を検査すると、検査対象を部分的にしか検査することができず、ムラの全体分布が把握し難い。従って、広い範囲を同時に検査して検査精度を向上させたいという要望があった。

本発明の目的は、比較的大型の透明な平板状製品の欠陥検査を容易に行うことができる検査装置を提供することにある。

本発明の検査装置は、検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、前記検査対象を保持すると共に前記検査対象を平行移動させる移動手段と、前記検出手段が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御する演算手段とを備えることを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記演算手段が、前記移動手段が前記検査対象を平行移動させながら前記検査対象を分割した複数の分割エリアに前記照明光を照射して、前記検出手段により検出された複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合するデータ統合手段を更に備えることを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記検査対象が透明基板と該透明基板に挟まれた液晶とでなることを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記検査対象が光学フイルムであることを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記制御が終了した時点における前記検出手段の検出値を利用して前記検査対象のランク付けを行う手段を備えることを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記検出値がは前記検査対象の透過光画像データであることを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記他方の偏光子から出射した透過光を集光するレンズと、該レンズの透過光を投影するスクリーンとを前記他方の偏光子と前記検出手段との間に配置し、該検出手段は前記スクリーンに投影された画像を検出することを特徴とする。

本発明の検査装置は、前記レンズは前記スクリーンへの投影画像を拡大縮小することができるレンズであることを特徴とする。

本発明の検査装置の前記評価値は、前記透過光のうちの高輝度部分と低輝度部分との間の輝度差であることを特徴とする。

本発明の検査装置の前記演算手段は、前記輝度差を人間の視感度データに基づき人間の視感度で該輝度差が増大する方向に前記制御を進めることを特徴とする。

本発明の検査装置の前記演算手段は、前記検査対象の平均輝度または前記低輝度部分の輝度が最小となるように前記制御を進めることを特徴とする。

本発明の検査装置の前記演算手段は、前記検査対象の前記低輝度部分の輝度が指定輝度となるように、或いは、前記低輝度部分の輝度と指定輝度との差が最小となるように前記制御を進めることを特徴とする。

本発明の検査装置の前記演算手段は、前記検査対象の前記低輝度部分の三刺激値が指定三刺激値となるように、或いは、前記低輝度部分の三刺激値と指定三刺激値との差が最小となるように前記制御を進めることを特徴とする。

本発明の検査方法は、検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、前記検査対象を保持すると共に前記照明光の光軸に垂直な平面内で前記検査対象を平行移動させる移動手段と、を備える検査装置の検査方法において、前記移動手段が前記検査対象を平行移動させながら前記検査対象を分割した複数の分割エリアに前記照明光を照射して得られた複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合し、更に、該透過光データから評価値を求め該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御し、該制御が終了した時点における前記検出手段が検出した前記被検査対象の画像に基づいて該検査対象のランク付けを行うことを特徴とする。

本発明の検査方法は、検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、前記検査対象を保持すると共に前記検査対象を平行移動させる移動手段と、を備える検査装置の検査方法において、前記移動手段が前記検査対象を平行移動させながら前記検査対象を分割した複数の分割エリアに前記照明光を照射して得られた複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合し、更に、該透過光データから評価値を求め該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御し、該制御が終了した時点における前記検出手段が検出した前記被検査対象の画像に基づいて該検査対象の欠陥の有無を判定することを特徴とする。

本発明によれば、比較的大型の透明な平板状製品の欠陥を容易且つ確実に検出することが可能となる。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）

図１は本発明の第１の実施形態に係る検査装置の構成図、図２は検査対象を平行移動させる移動手段の正面図である。この実施形態の検査装置は、検査対象として光学補償フイルムを検査するが、これに限るものではなく、他の平板状の透明製品の欠陥検査も同様に行うことができる。

図１に示すように、本実施形態の検査装置は、一対の偏光子１，２と、偏光子１，２と平行且つ偏光子１と偏光子２との間に置かれる広帯域λ／４フイルム（λ／４位相子）３と、偏光子１の外側に配置されたハロゲン光源４と、このハロゲン光源４からの光を平行光にして偏光子１に入射する平行光照射手段５と、ハロゲン光源４から偏光子１に入射され偏光子２から出射された光を集光するレンズ６と、レンズ６の透過光が投影されるスクリーン７と、被検査フイルム１５を一対の偏光子１，２と平行に保持すると共に平行光の光軸に対して垂直な平面内で平行移動させる移動手段５０と、を備える。

本実施形態の検査装置は、更に、スクリーン７の背面に設置されスクリーン７に投影された像を検出する検出手段８と、人間の視感度データを格納したメモリ９と、検出手段８の検出値に基づいて後述する様に制御を進める演算装置１０と、演算装置１０の求めた評価値に基づいて偏光子１の光学軸の回転角θ１（照明光の光軸に垂直な面内での回転角）と広帯域λ／４フイルム３の光学軸の回転角θ２（照明光の光軸に垂直な面内での回転角）とを駆動する回転駆動装置１１とを備える。検出手段８としては、本実施形態では、二次元輝度計を用いるが、これに限定されるものではない。

本実施形態の検査装置では、被検査フイルム１５を広帯域λ／４フイルム３と偏光子２との間に挿入し、欠陥検査を行うが、被検査フイルム１５のフイルム面は、偏光子１，２や広帯域λ／４フイルム３の面と平行に配置する。また、被検査フイルム１５のフイルム面内光学軸は、偏光子２の透過軸と４５°で交わるようにし、レンズ６は、その透過光が被検査フイルム１５に観察焦点を合わせる様に位置調整される。

図２に示すように、移動手段５０は、その長手方向をＹ軸方向に向けて配設されたＹ軸ガイドレール５１と、Ｙ軸ガイドレール５１に案内されてＹ軸方向に移動可能なＸ軸ガイドレール５２と、Ｘ軸ガイドレール５２に案内されてＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能な枠状の被検査フイルム保持枠５３と、を備える。被検査フイルム保持枠５３は、被検査フイルム１５を保持して平行光照射手段５からの平行光の光軸に対して垂直な平面内で平行移動させる。

被検査フイルム１５のフイルム面は、任意の角度へ変更可能であり、任意の視角からフイルム１５を検査できる様になっている。また、偏光子１に入射される照明光がもともと直線偏光している場合には、照明される側に配置してある偏光子１をλ／２位相子で代用してもよい。照明光が被検査フイルム１５のフイルム面上で一様な偏光を持つためには、照明光は拡散光ではなく平行光であることが望ましく、本実施形態では、平行光照射手段５を用いて平行光にしているが、平行光にする具体的手段は何でもよい。このように、平行光を照明光として用いることで、検出手段８の配置位置に依存する視角依存性が少なくなり、照明領域内輝度信号を一様にすることができるという効果も得られる。

斯かる構成の検査装置では、被検査フイルム１５に対して偏光子１，位相子（広帯域λ／４フイルム）３を通して平行な照明光が入射され、被検査フイルム１５の透過光が偏光子２を透過し、レンズ６で集光され、スクリーン７に投影される。この投影画像を検出手段８が検出し、検出データを演算装置１０に出力する。

平行光の照射領域に対して被検査フイルム１５の検査領域が大きい場合、移動手段５０によって被検査フイルム１５を平行光の光軸に対して垂直な平面内で平行移動（ステップ移動）させ、被検査フイルム１５の検査領域を分割した複数の分割エリアに順次、平行光を照射して検出手段８により複数の分割透過光データを得る。演算装置１０は、これらの分割透過光データを統合して1つの透過光データを得る。

以下に、直径１０ｃｍの平行光を用いてＡ４サイズの被検査フイルム１５を検査する場合を例にとって説明する。図３は被検査フイルム１５をＸ方向に移動させながら平行光を照射する状態を示す説明図、図４（ａ）はこのようにして得られた９分割された分割透過光データのイメージ図、（ｂ）は図４（ａ）に示す９つの分割透過光データを１つに統合した透過光データのイメージ図である。尚、図４においては、理解を容易にするために透過光データは、複数の同心円および放射線とからなるパターンとして示す。また、図５は２つの分割透過光データを統合処理するモザイクの説明図、図６はモザイク処理の手順を示すフローチャートである。

図３に示すように、移動手段５０によって被検査フイルム１５をＸ方向およびＹ方向に２．５ｃｍずつステップ移動させながら平行光を照射し、検出手段８によりそれぞれの分割エリアにおける９つの分割透過光データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９を得る（図４（ａ）参照）。データ統合手段は、得られた９つの分割透過光データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９にモザイク処理を施し、1つの透過光データＤに統合して検出データとする（図４（ｂ）参照）。

モザイク処理は、隣接する画像の重複部分のデータを利用して画像を接合する処理であり、横方向、縦方向、縦横両方向、および斜め方向に隣接する画像を接合して1つの画像とする。基本的な処理方法は、どの方向のモザイク処理も同じであるので、図５に示すように、横方向に隣接する２つの画像（画像Ｌ、Ｒ）のモザイク処理について説明する。モザイク処理は、図６に示すフローチャートに従って処理される。

先ず、以後の処理を容易とするため、画像ごとに異なる濃淡や色調を一致させる。濃淡や色調の相違には、系統的に補正が可能なものと、不可能なものがあるので、補正可能であるかどうかを判別し（ステップＳ１１）、補正可能であれば濃淡および色調を補正する（ステップＳ１２）。次に、位置合わせおよび座標系の統一が行われる（ステップＳ１３）。位置合わせおよび座標系の統一は、一方の画像の座標系に他方の画像の座標系を合わせて座標変換する相対座標系と、それぞれの画像を統一された座標系に座標変換する絶対座標系とがあるが、いずれの方法も可能である。図５は、画像Ｌと画像Ｒの重複部分が重ねられて位置合わせされた状態を示している。

次に、系統的に補正することが不可能な画像間の濃淡や色調の差を補正する（ステップＳ１４、１５）。系統的な補正が不可能な濃淡や色調の補正方法しては、隣接する画像の重複部分のヒストグラムが一致するように一方の画像の濃淡レベルを変換するヒストグラム一致法と、重複部分の濃淡レベルに線形変換が成立するものとして補正する線形濃淡変換法と、があるが、いずれかの補正方法が適宜選択される。

濃淡や色調の差が補正された画像は、接合線が目立たない接合位置が決定され（ステップＳ１６）、更に、接合の境界線における色調の不連続がないように接合位置周辺の濃淡レベルが平滑化される（ステップＳ１７）。接合位置の決定は、隣接する画像間の濃淡レベルの差が小さい点、或いは濃淡レベルが急激に変化する点が考慮される。上記したように、９つの分割透過光データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９（図４（ａ）参照）は、データ統合手段により1つの透過光データＤに統合されて検出データが得られる（図４（ｂ）参照）。

演算装置１０は、検出データを用いて評価値を算出する。本実施形態では、検出データのうちの高輝度部分と低輝度部分との輝度差を評価値として算出する。この輝度差は、偏光子１の光学軸の回転角θ１を変えると変化し、また、広帯域λ／４フイルム３の光学軸の回転角θ２を変えると変化する。このため、演算装置１０は、θ１とθ２とを独立に制御し、評価値（輝度差）が増大する方向にこの制御を進め、制御が終了した時点（これ以上、輝度差が大きくならなくなった時点）での評価値を、その被検査フイルム１５の評価値とする。

斯かる評価値を求めるために、演算装置１０は、背景輝度Ｙｂと、背景輝度Ｙｂと異なる輝度部分すなわち欠陥部位の輝度Ｙｏとを識別する。そして、△Ｙ＝｜Ｙｂ−Ｙｏ｜とし、△ＹｍｉｎをＹｂに対する輝度差弁別閾値としたとき、Ｃ＝△Ｙ／ＹｂがＣｍｉｎ＝△Ｙｍｉｎ／Ｙｂより大きく、Ｃが最大値となるように、偏光子１の光学軸角θ１と、広帯域λ／４フイルム３の光学軸角θ２とを制御する。

演算装置１０は、このθ１，θ２を演算するとき、人間の視感度データを用いて演算を行う。本実施形態の演算装置１０が人間の視感度データを用いるのは、次の理由による。

検出手段８は、ＣＣＤ型イメージセンサやＣＭＯＳ型イメージセンサで構成されるが、これらのイメージセンサの感度は、人間が目視により検出できる感度とは異なる。人間の目は、例えば、「新編色彩化学ハンドブック第２版」東京大学出版会日本色彩学会編の第５４頁に記載されている様に、背景輝度に対して識別できる輝度差が背景輝度の大きさによって異なっている。このため、スクリーン７の背面側で投影画像すなわち被検査フイルム１５の輝度画像を検査員が目視したとき、欠陥が有るか否かを容易に判断できるθ１，θ２の値は、人間の目の感度に合わせた最適値に制御する必要があるからである。

次に、演算装置１０が行う評価値の算出、および最適角度θ１，θ２を求める演算処理の詳細について説明する。
（１）被検査フイルム１５がセットされ透過光が投影されたスクリーン７上の輝度が検出手段８により測定されると、演算装置１０は、高輝度部分（欠陥部分）を除いた低輝度部分の平均輝度を背景輝度Ｙｂ１とし、欠陥部分との輝度差ΔＹ１を求める。そして、偏光子１の角度θの原点をθ１とし、広帯域λ／４フイルム３の角度θの原点をθ２として、背景輝度Ｙｂ１と輝度差ΔＹ１とを求める。予めコンピュータ内のメモリ９に記憶されている人間の視感度データの背景輝度Ｙｂに対する輝度差ΔＹのデータより輝度差弁別閾値ΔＹ１ｍｉｎを求め、Ｚ１＝ΔＹ１−ΔＹ１ｍｉｎを計算する。

（２）次に、偏光子１の角度θを＋４°変更してθ1とし、広帯域λ／４フイルム３の角度θの原点をθ2として、背景輝度Ｙｂ２と輝度差ΔＹ２とを求める。その後、−２°変更して、上述の（１）の状態に戻す。（１）と同様に、予めコンピュータ内のメモリに記憶されている背景輝度Ｙｂ２に対するΔＹのデータより輝度差弁別閾値ΔＹ２ｍｉｎを求め、Ｚ２＝ΔＹ２−ΔＹ２ｍｉｎを計算する。

（３）次に、偏光子１の角度θ１を＋２°変更してθ1とし、広帯域λ／４フイルム３の角度θを＋４°変更してθ2とし、背景輝度Ｙｂ３と輝度差ΔＹ３とを求める。（１）と同様に予めコンピュータ内のメモリに記憶されている背景輝度Ｙｂ３に対するΔＹのデータより輝度差弁別閾値ΔＹ３ｍｉｎを求め、この後（１）の状態に戻し、Ｚ３＝ΔＹ３−ΔＹ３ｍｉｎを計算する。

（４）上記の（１）（２）（３）より、Ｘ軸をθ１、Ｙ軸をθ２、Ｚ軸にＺの３次元表記を考えると、次のようになる。（１）と（２）と（３）の条件を比較して、ｍａｘ｛Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３｝を求め、例えば最大値がＺ１ならば（２）と（３）のθ１，θ２の条件を対称に（１）のθ１，θ２の条件を折り返し、（４）の条件とする。

同様に（２）と（３）と（４）の条件を比較してｍａｘ｛Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４｝を求め、例えば最大値がＺ３ならば、（２）と（４）のθ１，θ２の条件を対称に（３）のθ１，θ２を折り返し、（５）の条件とする。これを模式的に示した図が図７である。以下同様の手順を返すことにより、背景輝度Ｙｂに対する輝度差弁別閾値ΔＹｍｉｎを計算し、ΔＹｍｉｎより大きな欠陥輝度と背景輝度の差｜Ｙｏ−Ｙｂ｜の最大値を探す。即ち、偏光子１と広帯域λ／４フイルム３の夫々の最適な角度θ１，θ２を決定する。尚、演算装置１０の演算結果に基づいて検査対象フイルム１５にあおり角θ３をフィードバックするようにしてもよい。

これにより、検査員が目視で検査対象フイルム１５を観察する場合、人間の視感度にあったθ１，θ２に制御されるため、検査員はスクリーン７を見ることで、フイルム１５の欠陥の有無を自身の目で確認することができる。

そして、演算装置１０も、｜Ｙｏ−Ｙｂ｜＞ΔＹｍｉｎなる輝度部分が存在すれば、その被検査フイルム１５は欠陥フイルムであると判定することができ、存在しなければ、良品フイルムと判定することができる。

尚、上記の例では、θの角度のステップを４°としたが、これに限定されるものではない。通常、大きな値で収束させ、繰り返し回数が増えるにつれステップを小さくする方法が望ましい。

このような最急降下法の一つであるシンプレックス法は、例えば、文献「“科学計測におけるデータ処理技法”南茂夫監修、河田聡偏著、Ｐ１３８〜１５１」に記述されている。

この例はシンプレックス法であるが、その他の最適化手法を使用してもよい。例えば、ニュートンラプソン法、モンテカルロ法、シミュレーテドアニーリング法、ヤコビ法などである。また、真の最適値を確実に求めたい場合は、多少最適化の時間が長くても全ての変数を変化させて最適値を求める方法がより望ましい。

例えば、偏光子の透過軸角度θ１，λ／４位相子３の遅相軸角度θ２に対して、反時計回りに４５°遅相軸の傾いている被検査フイルム１５の透過光量Ｉの関係は次の数１で示す様になる。

この数１より求まる被検査フイルム１５の平均の複屈折位相差（リタデーション）が光量Ｉ（数２）になり背景輝度Ｙｂとなる。

更に、被検査フイルム１５の欠陥部分のリタデーションの差により、光量Ｉが変化してその差がΔＹとなる。

この数２において、ａ，ｂに対して透過光量Ｉをプロットすると、図８に示す様に、光強度の極小点つまり背景輝度が最小になる軸角度が存在することが分かる。図８では、Δ＝２π（３０ｎｍ／５５０ｎｍ）としている。ａとｂの組み合わせで、図９に示す様に、ポアンカレ球上の偏光状態は網羅できる。

以上の様にして、本実施形態の検査装置では、検査対象フイルム１５毎の評価値（θ１，θ２の制御が終了した時点の評価値）が求まるが、演算装置１０は、その評価値の大きさによって検査対象フイルムのランク付けを行い、そのランクを出力するのが良く、検査員はこのランクを参考にして目視検査を行うことが可能となる。また、評価値が所定値の範囲から外れたとき、その検査対象フイルムを欠陥品と判定して判定結果を出力する構成とすることも可能である。また、制御後、改めて検出された二次元輝度データより、例えば特願２００４―２４９８３０号に記載されている様な方法（下記の第２実施形態の方法）を用いて定量値を算出し、その値の大小により被検査フイルムをランク付けすることもできる。

また、本実施形態の検査装置によれば、被検査フイルム１５を平行光の光軸に対して垂直な平面内で平行移動（ステップ移動）させながら、被検査フイルム１５を分割した分割エリアの複数の分割透過光データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９を検出手段８により検出し、データ統合手段によりこれらの分割透過光データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９を1つの透過光データＤに統合して評価値を算出するようにしたので、小さなレンズを用いて大きな被検査フイルム１５を検査することができる。このように、広い範囲を統合して観察することによりムラの検出が容易となるので、より正確な評価指標が得られる。

更に、複数の分割透過光データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８，Ｄ９を1つの透過光データＤにモザイク処理する際、重ね合わされる部分で積算効果が作用するので、ノイズが１／√Ｎとなり、偏光子１，２や位相子３の面状が多少悪くても、被検査フイルム１５の面状を正確に撮影することができる。ここで、Ｎは重ね合わされる画像の枚数である。
（第２の実施形態）

本実施形態の検査装置の基本構成は、図１の構成と同じであるのでその説明は省略するが、本実施形態では、検出手段８として、カラー画像撮像用のイメージセンサを用い、また、光源４として白色光光源を用いる。図１０は、本実施形態の演算装置１０の機能ブロック図であり、この演算装置１０は、画像入力部１０ａと、画像データ変換部１０ｂと、視覚特性適合部１０ｃと、画像品質評価値算出部１０ｄとを備える。

画像入力部１０ａは、検出手段８から出力される検出データすなわちスクリーン７に投影された２次元カラー画像データを読み取り、画像データ変換部１０ｂは、２次元カラー画像データを反対色空間の刺激値データに変換し、視覚特性適合部１０ｃは、刺激値データをフーリエ変換してパワースペクトルを求めてこのパワースペクトルに人間の視覚特性を表す関数を重畳し更に逆フーリエ変換する。画像品質評価値算出部１０ｄは、刺激値データに基づき画像品質評価値を求めるよう動作する。

尚、平行光の照射領域に対して被検査フイルム１５の検査領域が大きい場合、移動手段５０によって被検査フイルム１５を平行光の光軸に対して垂直な平面内で平行移動（ステップ移動）させながら、被検査フイルム１５の検査領域を分割した複数の分割エリアに順次、平行光を照射して検出手段８により複数の分割透過光データを得て、これらの分割透過光データを1つの透過光データに統合して検出データとする手順は、第１の実施形態の検査装置で既に説明しているので省略する。

図１１は、被検査フイルム１５が欠陥品の場合に観察されるスジやムラの例を示す図であり、図示の例では３例を示している。これらのスジやムラがスクリーン７の投影画像に現れたとき画像品質定量評価の対象となる。スジやムラとしては、図１１（ａ）の一本スジ、図１１（ｂ）の周期的ムラ、図１１（ｃ）のランダムなムラなどがある。

図１２は、本実施形態の画像品質定量評価の処理手順を示すフローチャートである。先ず、画像入力部１０ａは、検出手段８から出力される検出データ（二次元カラー画像データ）を取り込み（ステップＳ２１）、この二次元カラー画像データを画像データ変換部１０ｂに送る。スジやムラを含んだ二次元カラー画像データは、画像入力部１０ａによって読取られた後、Ａ／Ｄ変換により濃度レベルに数値化され、この濃度値と空間位置との情報からなるデジタル値の画像データ（赤色濃度値Ｒ，緑色濃度値Ｇ，青色濃度値Ｂ等）として、画像データ変換部１０ｂに送られる。

次に、画像データ変換部１０ｂは、デジタル化された画像データから、予め記憶されている特性パラメータに基づき、次の数３によってマトリクス変換が行われ、三刺激値に変換される（ステップＳ２２）。具体的には、画像データの色特性値（Ｒ，Ｇ，Ｂ）と、これらを標準化した画面輝度との関係に基づいて、三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）へ変換する。ここで、数３中のＫは変換マトリクスである。

カラー画像の画像情報には濃淡情報と色度情報が存在する。スジやムラの画像評価では主に濃淡情報のみ用いるが、本実施形態の画像品質定量評価では、色度情報をも用いて画像を評価する。しかしながら、人間の視覚特性は各色毎に異なり、各色成分を一元的に評価することはできない。そのため、各色毎の人間の視覚特性を、画像の各色成分それぞれにフィルタリング補正して評価するようにしている。

また、本実施形態においては、反対色空間を用いて処理することで、人間の主観評価とよく対応のとれた結果が得られるようになる。具体的には、数３により得られた三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を、数４による行列演算により３組（White-Black(K), Red-Green, Blue-Yellow）の反対色空間の刺激値へ変換する（ステップＳ２３）。

次に、スジやムラの主な出現方向を設定する。図１３は反対色刺激値データの空間位置におけるスジ，ムラの出現方向を決定する様子を模式的に示した説明図である。このスジ，ムラの出現方向を示す特定の方向は、次のようにして設定する。

まず、撮像した２次元画像データ２１を、図１３に示すように、画像の任意の方向から所定角度ごとに設定した複数の方向に沿ってそれぞれ加算（投影）し、複数の１次元プロファイル２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，…を求める。そして、この１次元プロファイルの最大値と最小値との差δを最大とする方向を特定の方向として設定する。このような画素を投影する１次元平均化（ステップＳ２４）は、画像処理により高速に行われる。

つまり、検出手段８が撮像した２次元カラー画像データ２１を平面上で所定角度θで回転させる処理と、各画素値を所定方向に投影する処理がなされ、どの方向に現れるか不特定なスジ，ムラに対して、その出現方向が自動的に検出される。なお、この特定方向の設定は、２次元画像データ２１以外にも、反対色空間の刺激値を用いて求めても良い。

次に、数４により反対色空間の刺激値（Ｗ／Ｋ，Ｒ／Ｇ，Ｂ／Ｙ）に変換し、上記の特定方向に沿って加算（投影）した１次元刺激値データプロファイル２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，…（図１４参照）のそれぞれを、１次元フーリエ変換し、このフーリエ変換結果のパワースペクトルを算出することにより空間周波数分布を求める。

図１４は特定方向に投影した１次元刺激値データプロファイルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。以降の説明では、Ｗ／Ｋチャンネルのデータを代表として説明するが、Ｒ／Ｇ，Ｂ／Ｙチャンネルに対しても同様の処理を行うものとする。また、図１５は図１４に示す１次元刺激値データプロファイルに対するフーリエ変換後のパワースペクトルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。

１次元刺激値データプロファイル２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，…に対してフーリエ変換を施すことにより、図１５に示すように周波数成分毎の強度分布を示すパワースペクトル２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，…が求められる（ステップＳ２５）。そして、ステップＳ２５で得られたパワースペクトルに対して、人間の視覚特性に適応した空間周波数特性（ＭＴＦ）によりフィルタリング補正を行う（ステップＳ２６）。なお、フーリエ変換には様々な手法があるが、ここでは計算の簡略化のためＦＦＴ(Fast Fourier Transform)を用いて行う。

図１６は視覚特性のＭＴＦであって、Ｗ／Ｋチャンネルのバンドパス形状を（ａ）、Ｒ／Ｇ、Ｂ／Ｙチャンネルのローパス形状を（ｂ）に表した説明図である。

即ち、視覚特性適合部１０ｃにて、前記観察条件に対応したＭＴＦ特性２９ａ，２９ｂ，…を、フーリエ変換して得られた被評価画像のパワースペクトルに重畳するフィルタリング補正を施す。これにより、図１６に示すように、人間が強く感応する周波数成分（Ｗ／Ｋ成分に対しては、約０．４cycle／ｍｍが強くなる）に対してはより強調する一方、感応の弱い周波数成分（特には高周波成分）に対しては減衰させる。このため、人間の視覚特性に合致した空間周波数成分の感度に変換できる。また、上記のようなＭＴＦ特性の情報を、各観察条件毎に予め用意しておくことで、実際の観察条件に対応した適切な視覚系のＭＴＦフィルタを適宜選択してフィルタリング補正でき、補正処理の効果と信頼性をより高めることができる。

図１７はフィルタリング後のフーリエスペクトルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。このようにして得られた図１７に示すフィルタリング処理後の空間周波数分布３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，…に対し、フーリエ逆変換することにより、図１８に示すように、反対色空間における刺激値３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，…を求める（ステップＳ２７）。図１８はフーリエ逆変換後の刺激値データプロファイルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。このようにして、反対色空間における（Ｗ／Ｋ，Ｒ／Ｇ，Ｂ／Ｙ）に対する各刺激値が再合成される。

その結果、フーリエ逆変換後の１次元プロファイルは、視覚特性に準じて、図１８（ａ）においては一本スジの急峻な形状が鈍化し、図１８（ｂ）の周期的ムラ、及び図１８（ｃ）のランダムムラにおいては、その振幅が減少する。

次いで、フーリエ逆変換によって得られた結果から画像品質評価値算出部１０ｄにて評価値を算出する（ステップＳ２８）。画像品質評価値算出部１０ｄは、概略的には、ステップＳ２７にて戻された各１次元刺激値データプロファイルの位置(i)における各刺激値（Ｗ／Ｋi，Ｒ／Ｇi，Ｂ／Ｙi）に対する、刺激値データプロファイル全体の平均値（Ｗ／ＫAV，Ｒ／ＧAV，Ｂ／ＹAV）からの距離を表す差分値を求め、１次元刺激値データプロファイルの全位置に対する前記差分値に基づく値の総和を画像品質評価値として求める。
このようなスジ，ムラの定量評価値となる画像品質評価値Ｅvは、具体的には次の数５により算出できる。

画像品質評価値Ｅvは、重みｆiと｜ΔＸi｜（ｉは撮像画像の投影方向に直交する軸方向位置を表す指標）との積の総和として表される。なお、｜ΔＸi｜は数６で表され、ｆiは数７で表され、スジ，ムラの良し悪しを判定する際は、スジ，ムラの発生している領域のみを観察しているという仮説に基づいて定式化した重み係数である。

ここで、図１９を参照して説明する。前述のステップＳ２７で得られる１次元の位置ｉに対する反対色の刺激値は、（Ｗ／Ｋｉ，Ｒ／Ｇｉ，Ｂ／Ｙｉ）の３つの刺激値が存在する。これら３つの刺激値のそれぞれに対して平均値(Ｗ／ＫAV，Ｒ／ＧAV，Ｂ／ＹAV)を求め、各位置ｉにおける反対色刺激値（Ｗ／Ｋi，Ｒ／Ｇi，Ｂ／Ｙi）とこれに対応する平均値(Ｗ／ＫAV，Ｒ／ＧAV，Ｂ／ＹAV )との差分値(Ｗ／Ｋi −Ｗ／ＫAV)，(Ｒ／Ｇi−Ｒ／ＧAV)，(Ｂ／Ｙi−Ｂ／ＹAV)を、３つの刺激値に対してそれぞれ求め、これら差分値の自乗和の平方根を数６に基づいて求めることで｜ΔＸi｜が得られる。また、重みｆiは、数７に示すように、｜ΔＸi｜の平均値からの距離に比例した値で、Σｆi＝１となるように正規化したものである。

従って、評価値Ｅv は、３種類の各刺激値に対し、検出手段８が検出した二次元カラー画像データの明度情報（Ｗ／Ｋ）と色差情報（Ｒ／Ｇ，Ｂ／Ｙ）の全体の平均値からの距離をそれぞれ求め、これら距離に対する自乗和の平方根に、重みｆiを乗算して総和をとったものとなる。

従って、上記の画像品質定量評価によれば、反対色空間に変換して色差情報も考慮することで、人間の視覚特性に応じた変調処理がより正確に行われ、スジ，ムラを統一的に定量評価することができる。

また、検出手段８の撮像した二次元カラー画像データに対する投影処理を所定角度θ毎に回転させて実施するので、検査対象フイルム１５の不特定な方向に発生するスジ，ムラの方向を自動的に特定することができる。

さらに、検出手段８の撮像した二次元カラー画像データを反対色空間へ変換（画像データ変換ステップ）して、特定方向の投影処理を行った後に視覚特性適合化ステップを実施するので、視覚特性適合化処理をデータ量の削減された１次元の状態で処理でき、計算負担が軽減してより高速な処理が可能となる。

（第３の実施形態）
次に、第２の実施形態の画像品質定量評価の別の実施形態を第３の実施形態として説明する。この実施形態においては、検出手段８が撮像した二次元カラー画像データから反対色空間の刺激値を求め、２次元データのまま視覚特性適合化処理を実施し、その後に１次元への投影処理を行って画像品質評価値を求めている。

図２０は、本実施形態の画像品質定量評価手順を示すフローチャートであり、図２１は、２次元刺激値データに対する視覚特性適合化処理を概略的に表す説明図である。

本実施形態においては、検出手段８が撮像した二次元カラー画像データを画像入力部１０ａが読み取り（ステップＳ３１）、その２次元画像データ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を、画像データ変換部１０ｂが三刺激値に変換し（ステップＳ３２）、図２１（ｂ）に示すように、反対色空間の刺激値データ（Ｗ／Ｋ，Ｒ／Ｇ，Ｂ／Ｙ）に変換する（ステップＳ３３）。

変換された反対色空間の刺激値データ（Ｗ／Ｋ，Ｒ／Ｇ，Ｂ／Ｙ）は、視覚特性適合部１０ｃによって、図２１（ｃ）に示すように、２次元フーリエ変換され、２次元のパワースペクトル４１ａ，４１ｂ，４１ｃが求められる（ステップＳ３４）。次いで、図２１（ｄ）に示すように、このパワースペクトル４１ａ，４１ｂ，４１ｃに対し、それぞれ人間の視覚特性を表すＭＴＦ４３ａ，４３ｂ，４３ｃを重畳し（ステップＳ３５）、さらに２次元フーリエ逆変換することで、図２１（ｅ）に示すように、スジ，ムラが視覚特性に準じて変調された反対色の刺激値データが得られる（ステップＳ３６）。

そして、本実施形態では、図２１（ｃ）〜（ｅ）の視覚特性適合化処理の後に図２１（ｆ）に示す１次元平均化処理がなされる（ステップＳ３７）。つまり、反対色空間における２次元刺激値データに対して、２次元のままスジ，ムラが視覚特性に準じて変調され、その後に１次元への投影処理が実施される。

以降の処理は第２の実施形態と同様であり、画像品質評価値算出部１０ｄによって、反対色空間の刺激値データの各位置における刺激値と、この刺激値データ全体の平均値との差分値をそれぞれ求め、これらの差分値に重み関数を乗じた値を全位置に対して求め、その総和を画像品質評価値Ｅvとする。

本実施形態の画像品質定量評価によれば、視覚特性適合化処理を２次元のデータのままで行うことにより、投影処理により１次元データ化してから行う場合と比較して、検出手段８が撮像した検査対象フイルム１５の二次元画像内に分布するスジ，ムラがより正確に強調されるため、スジ，ムラの検出精度が向上する。つまり、スジ，ムラが強調されてから投影処理するため、投影結果のＳＮ比が向上して縞とノイズとの分離が容易となる。

尚、上述した各実施形態により求められる画像品質評価値Ｅvの対数値をとり、これを定量評価値とすることで、人間の視覚評価との線形性を一層良好にすることが可能となる。

また、第２，第３の実施形態も第１の実施形態と同様に、求められた検査対象物の評価値の大きさによって検査対象物をランク付けしその結果を出力するのが好ましく、また、評価値が所定値の範囲を超えたとき欠陥品として結果を出力するのが良い。

更に、第２，第３の実施形態では、白色光を光源４として検査対象物の透過カラー画像データを演算処理に用いたが、単色光の光源４を用いて同じ演算処理を行っても良い。

また、第１の実施形態では、ハロゲン光源４からの照明光を平行光にしたが、液晶バックライトを平行光の光源とした場合、液晶パネルから部分偏光が発生していても、背景輝度Ｙｂの上昇と、Ｃ（＝ΔＹ／Ｙｂ）の低下に寄与するので、欠陥の見えやすい状態となるので問題はない。

更に、図１に示すレンズ６として、拡大縮小が可能なレンズを用いるのがより好ましい。拡大縮小可能なレンズを用いることで、被検査フイルムの二次元輝度分布から求めた空間周波数と、人間の視感度データとから、人間の目の感度が良い領域に対応してスクリーン７上の投影画像の拡大縮小ができるからである。

また、被検査フイルムの大きさが平行光の照射領域より小さい場合、或いは、被検査フイルムの特定の一部分を検査する場合には、データ統合手段により複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合する必要はなく、得られた検査データを直接処理して検査対象物の評価値を算出できることは言うまでもない。

本発明に係る検査装置は、透明物体の欠陥を容易に検査できるため、位相差フイルムや視野角改善用の光学補償フイルム、液晶パネル等のディスプレイ製品などの検査に適用すると有用である。

本発明の第１の実施形態に係る検査装置の構成図である。検査対象を平行移動させる移動手段の正面図である。被検査フイルム１５をＸ方向に移動させながら平行光を照射する状態を示す説明図である。（ａ）は９分割された分割透過光データのイメージ図、（ｂ）は図４（ａ）に示す９つの分割透過光データを１つに統合した透過光データのイメージ図である。分割透過光データを統合処理するモザイクの説明図である。モザイク処理の手順を示すフローチャートである。図１の検査装置で行う最適化手法の説明図である。図１の検査装置での透過光量をプロットした図である。ポアンカレ球上の偏光状態を示す図である。本発明の第２の実施形態に係る検査装置で用いる演算装置の機能ブロック図である。スジ，ムラの例を（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に表した説明図である。本発明の第２の実施形態に係る画像品質定量評価手順を示すフローチャートである。反対色刺激値データの空間位置におけるスジ，ムラの出現方向を決定する様子を模式的に示した説明図である。特定方向に投影した１次元刺激値データプロファイルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。図１４に示す１次元刺激値データプロファイルに対するフーリエ変換後のパワースペクトルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。視覚特性のＭＴＦであって、Ｗ／Ｋチャンネルのバンドパス形状を（ａ）、Ｒ／Ｇ、Ｂ／Ｙチャンネルのローパス形状を（ｂ）に表した説明図である。フィルタリング後のフーリエスペクトルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。フーリエ逆変換後の１次元刺激値データプロファイルを図１１のスジ，ムラ（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応させて表した説明図である。刺激値（Ｗ／Ｋi，Ｒ／Ｇi，Ｂ／Ｙi）に対する、平均値（Ｗ／ＫAV，Ｒ／ＧAV，Ｂ／ＹAV）からの距離を示す説明図である。本発明の別実施形態に係る画像品質定量評価手順を表すフローチャートである。２次元刺激値データに対する視覚特性適合化処理を概略的に表す説明図である。

符号の説明

１，２偏光子
３広帯域λ／４フイルム（λ／４位相子）
４光源
５平行光照射手段
６集光レンズ
７スクリーン
８検出手段
９人間の視感度データ等を格納したメモリ
１０演算装置（データ統合手段）
１１回転駆動装置
１５検査対象（平板状透明製品）
５０移動手段
θ１偏光子の光学軸の角度
θ２位相子の光学軸の角度

Claims

検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、前記検査対象を保持すると共に前記検査対象を平行移動させる移動手段と、前記検出手段が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御する演算手段とを備えることを特徴とする検査装置。
前記演算手段は、前記移動手段が前記検査対象を平行移動させながら前記検査対象を分割した複数の分割エリアに前記照明光を照射して、前記検出手段により検出された複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合するデータ統合手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
前記検査対象が透明基板と該透明基板に挟まれた液晶とでなることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
前記検査対象が光学フイルムであることを特徴とする請求項１又は２に記載の透明物体の検査装置。
前記制御が終了した時点における前記検出手段の検出値を利用して前記検査対象のランク付けを行う手段を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の検査装置。
前記検出値は前記検査対象の画像データであることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
前記他方の偏光子から出射した透過光を集光するレンズと、該レンズの透過光を投影するスクリーンとを前記他方の偏光子と前記検出手段との間に配置し、該検出手段は前記スクリーンに投影された画像を検出することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の検査装置。
前記レンズは前記スクリーンへの投影画像を拡大縮小することができるレンズであることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
前記評価値は、前記透過光のうちの高輝度部分と低輝度部分との間の輝度差であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の検査装置。
前記演算手段は、前記輝度差を人間の視感度データに基づき人間の視感度で該輝度差が増大する方向に前記制御を進めることを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
前記演算手段は、前記検査対象の平均輝度または前記低輝度部分の輝度が最小となるように前記制御を進めることを特徴とする請求項９又は１０に記載の検査装置。
前記演算手段は、前記検査対象の前記低輝度部分の輝度が指定輝度となるように、或いは、前記低輝度部分の輝度と指定輝度との差が最小となるように前記制御を進めることを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の検査装置。
前記演算手段は、前記検査対象の前記低輝度部分の三刺激値が指定三刺激値となるように、或いは、前記低輝度部分の三刺激値と指定三刺激値との差が最小となるように前記制御を進めることを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の検査装置。
検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、前記検査対象を保持すると共に前記検査対象を平行移動させる移動手段と、を備える検査装置の検査方法において、
前記移動手段が前記検査対象を平行移動させながら前記検査対象を分割した複数の分割エリアに前記照明光を照射して得られた複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合し、更に、該透過光データから評価値を求め該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御し、該制御が終了した時点における前記検出手段が検出した前記被検査対象の画像に基づいて該検査対象のランク付けを行うことを特徴とする検査方法。
検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、前記検査対象を保持すると共に前記照明光の光軸に垂直な平面内で前記検査対象を平行移動させる移動手段と、を備える検査装置の検査方法において、
前記移動手段が前記検査対象を平行移動させながら前記検査対象を分割した複数の分割エリアに前記照明光を照射して得られた複数の分割透過光データを1つの透過光データに統合し、更に、該透過光データから評価値を求め該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御し、該制御が終了した時点における前記検出手段が検出した前記被検査対象の画像に基づいて該検査対象の欠陥の有無を判定することを特徴とする検査方法。