KR930006331A - 스크류 진공펌프 - Google Patents

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KR930006331A
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기요시 야사기사와
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후지무라 히로유끼
가부시가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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    • F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring

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Abstract

단순한 구조로 대기 압력 가스방출 시간에 그것에 부하를 줄일 수 있는 스크류 진공펌프를 제공한다.
스크류 진공 펌프는 케이싱(1)에서 두 평행축 주위로 각각 서로 톱니 물려 회전하는 쌍의 암수 회전자(7)를 구비하여 흡입개구(8a)로 부터 흡입된 가스가 흡입구(8b)를 통해 암수 회전자(7)와 케이싱 사이에 한정된 홈 공간으로 주입된 후 방출구(9b)를 통해 방출개구(9a)로 부터 방출되고, 여기에서, 드로틀 판(2)은 흡입구(8a)가까이 상류에 제공된다.

Description

스크류 진공펌프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 에 따른 스크류 진공펌프의 구조를 보이는 측단면도,
제2도는 드로틀 판의 외형을 보이는 제1도의 화살 A-A로 부터 보인도,
제3도는 드롤틀 판의 외형을 보이는 제1도의 화살 A-A로 부터 보인도.

Claims (5)

  1. 케이싱내에서 두 평행축 주위로 각각 서로 톱니 물려 회전하는 쌍의 암수 회전자를 구비하여 흡입개구로 부터 흡입된 가스가 흡입구를 통해 상기 암수 회전자와 상기 케이싱 사이에 한정된 홈 공간으로 주입된 후 방출구를 통해 방출개구로 부터 방출되는 스크류 진공펌프에 있어서, 드로틀 판이 상기 흡입구 가까이 상류에 제공되는 것을 특징으로 하는 스크류 진공펌프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제한자가 상기 한쌍의 케이싱의 돌출로 형성되는 것을 특징으로 하는 스크류 진공펌프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 드로틀 판은 상기 케이싱에서 구별된 부재로 형성되어 상기 펌프가 조립될 때 부착되는 것을 특징으로 하는 스크류 진공펌프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 흡입개구는 축방향에서 연장되고, 상기 드로틀 판은 흡입 연결 파이프로 부터 연장되어 드로틀 판 지지로 상기 흡입 연결파이프와 결합되는 것을 특징으로 하는 스크류 진공펌프.
  5. 제4항에 있어서, 상기 펌프는 전단펌프와 후단 펌프를 포함하는 이단 구조를 구비하고, 상기 전단펌프는 상기 드로틀 판을 구비하는 것을 특징으로 하는 스크류 진공펌프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920017372A 1991-09-27 1992-09-24 스크류 진공펌프 KR100213983B1 (ko)

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EP0535533B1 (en) 1997-08-06
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