KR930001373Y1 - 플런지 업 유니트의 핀홀더 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

플런지 업 유니트의 핀홀더

제1도는 본 고안의 플런지 업 유니트의 핀홀더 사시도.

제2도는 본 고안의 핀홀더의 일실시예를 나타내는 평단면도.

제3도는 본 고안의 핀홀더의 다른 실시예를 나타내는 평단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

5 : 고정돌기 6 : 외측 홀더

7 : 내측 홀더 9 : 회전방지홈

10 : 체결공 11 : 공간부

12 : 노치 14 : 체결공

본 고안은 플런지 업 유니트의 핀홀더에 관한것으로서, 보다 상세하게는 핀의 파손을 방지함과 아울러 핀의 교체시간을 줄일수 있도록한 플런지 업 유니트의 핀홀더에 관한 것이다.

반도체 제조공정중에는 절단공정에서 절단된 웨이퍼상의 개개의 칩을 마일러라 불리우는 접착 테이프로 부터 분리하여 본딩헤드가 용이하게 흡착할 수 있도록하는 칩 분리 공정이 포함되어 있다.

이 공정에서는 플런지 업 유니트라 불리우는 승강운동수단이 승강운동을 하면서 웨이퍼상의 칩을 마일러로부터 칩을 분리하게 되는데, 이 플런지 업 유니트의 승강로드 끝단부에는 다수개의 핀이 셋팅되어 있는 핀홀더가 설치되어 있다.

이 핀 홀더에는 다수개의 핀이 셋트 스크류로 고정되어 설치되어 있는데, 이 핀은 웨이퍼와 접촉, 충돌을 하기 때문에 핀의 끝이 쉽게 마모되어 잦은 교환을 요한다.

이때 핀의 교체방식을 설명하면 다음과 같다.

1)핀을 고정하고 있는 셋트 스크류를 푼다.

2)핀셋으로 핀을 뽑아낸다.

3)새로운 핀을 구멍에 집어 넣는다.

4)핀고정구위에 핀홀더를 뒤집어 세운다.

5)핀셋으로 핀의 높이를 일정하게 해준다.

6)셋트 스크류를 조여 핀을 고정시킨다.

그런데 이와같은 교체방식은 셋트 스크류의 끝단부가 핀의 외주면에 접촉된 상태로 회전을 하기 때문에 이 회전력에 의해 핀이 위 또는 아래쪽으로 이동을 하여 핀의 높이가 서로 다르게 되는 문제점이 있다.

그리고 셋트 스크류의 끝단부가 핀에 접촉되어 밀기 때문에 핀의 중심이 어긋나는 문제점이 있으며, 작업시 핀고정 치구가 회전함에 의해 핀의 끝단이 파손되는 문제점이 있다.

이러한 문제점들은 플런지 업 유니트가 구동하여 마일러로 부터 칩이 분리될 때 비 수평상태로 들어 올려지는 요인이 되기 때문에 본딩헤드가 칩을 흡착할때 완전한 흡착이 되지 않아 이송시 헤드로 부터 떨어져 나가는 문제점이 있다.

게다가 다수개의 셋트 스크류를 풀고 조여야함에 기인하여 핀교체시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.

한편, 본 출원인은 대한민국 실용신한 등록 출원 제89-9212호 에서 상기한 바와같은 문제점을 해소할 수 있는 방안을 제시한 바 있다.

그런데 상기한 방안은 6개의 핀을 고정하는 방식으로서, 핀홀더 샤프트의 직경이 15㎜인 경우 5개의 핀이 사용되는 핀홀더에는 사용할 수 없다는 문제점이 있다.

본 고안은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 핀의 파손을 방지함과 아울러 핀의 교체시간을 줄일수 있는 5개의 핀을 갖는 플런지 업 유니트의 핀홀더에 관한 것이다.

상기한 바와같은 문제점을 해소하기 위하여 본 고안은 중앙에 공간부가 형성됨과 아울러 이 공간부에 직교방향으로 4개의 체결공이 뚫려지고, 하단부에 회전방지홈이 형성된 외측 핀홀더와, 상기한 공간부에 삽입위치되며 4개의 노치(notch)가 형성됨과 아울러 중앙에 핀 구멍이 뚫려지고 상기한 체결공과 연통되는 또다른 체결공이 뚫려진 내측 핀홀더로 구성되는 플런지 업 유니트의 핀홀더를 제공한다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.

제1도는 본 고안의 핀홀더 사시도로서, 부호 (1)은 핀 고정지그를 나타낸다.

핀 고정지그(1)는 상단부에 서로 대향하는 반 원통상의 벽(2)(3)이 형성되어 삽입구(4)를 이루고 있다.

상기한 벽(2)(3)의 내측면에는 고정돌기(5)가 형성되어 있다.

한편 핀홀더(H)는 외측 홀더(6)와 내측 홀더(7)로 구성된다.

외측 홀더(6)는 핀홀더 샤프트(8)와 연결되며 그 반대측에 상기한 고정돌기(5)에 삽입고정되는 회전 방지홈(9)이 형성되어 있고, 소정위치에는 체결공(10)이 뚫려져 있다.

그리고 내측 홀더(7)는 제2도에 도시한 바와같이 외측 홀더(6)의 중앙부에 형성된 공간부(11)에 삽입위치된다.

이 내측 홀더(7)는 짧은 양변에 2개씩 노치(12)가 형성되어 있고, 중앙에 구멍(13)이 형성되어 있으며, 소정위치에는 상기한 체결공(10)과 연통하는 또다른 체결공(14)이 양측에 2개 형성되어 있다.

도면중 미설명 부호15는 셋트 스크류를 지칭한다.

이와같이 구성되는 본 고안의 핀홀더는 먼저 내측 홀더(7)의 노치(12)에 4개의 핀(P)을 삽입위치 시키고, 중앙의 구멍(13)에 1개의 핀을 삽입위치시킨다.

그리고 이 상태의 내측 홀더(7)를 외측 홀더(6)의 공간부(11)로 삽입시킨 다음, 이 외측 홀더(6)를 핀고정지그(1)의 삽입구(4)로 삽입시킨다.

이때 외측 홀더(6)에 형성되어 있는 회전 방지홈(9)으로 고정돌기(5)가 삽입되도록 한다.

이와같은 상태가 되면 5개의 핀(P)은 외측 홀더(6)와 내측 홀더(7)사이에서 자유로운 상태로 되어 삽입구(4)의 바닥면에 끝단부가 접촉되어 핀의 돌출높이가 동일하게 된다.

이 상태에서 셋트 스크류(15)로 고정시키면 짧은 변측의 4개의 핀은 노치(12)내로 밀려 들어가 고정이 되고, 중앙부에 위치되어 있는 1개의 핀은 양측에서 조여지는 2개의 셋트 스크류 사이에서 고정이 된다.

그리고 외측 홀더(6)의 회전 방지홈(9)이 핀고정 지그(1)의 고정돌기(5)에 삽입되어 있기 때문에 셋트 스크류를 조일때 홀더가 회전하지 않게 되므로 핀의 파손을 방지할 수 있다.

제3도는 본 고안의 다른 실시예를 나타내는 도면으로서, 외측 홀더(6)와 내측 홀더(7)에 형성되어 상호연통하는 체결공(10)(14)이 일측에만 형성되어 있는 구성으로 되어 있다.

이 실시예에서는 상기한 실시예보다 셋트 스크류를 적게 사용할 수 있는 이점이 있다.

이상 설명한 바와같이 본 고안의 핀홀더는 내측홀더를 사용하여 핀의 위치를 잡아줌으로서 핀의 고정을 정확히 할수 있으며, 핀고정시 고정돌기가 회전 방지홈에 삽입되어 있음에 기인하여 홀더의 회전을 방지할 수 있으므로 핀의 파손을 방지할 수 있고, 핀의 고정을 개별적으로 하는 종래 홀더에 비하여 핀교체시간을 줄일수있다.

Claims (2)

1. 중앙에 공간부(11)가 형성됨과 아울러 이 공간부(11)에 직교방향으로 체결공(10)이 뚫려지고 하단부에 회전방지홈(9)이 형성된 외측 홀더(6)와, 상기한 공간부(11)에 삽입위치되며 4개의 노치(12)가 형성됨과 아울러 중앙에 핀구멍(13)이 뚫려지고 상기한 체결공(10)과 연통되는 또다른 체결공(14)이 뚫려진 내측 홀더(7)로 이루어지는 홀더(H)와, 상기한 외측 홀더(6)의 회전 방지홈(9)에 삽입되는 고정돌기(5)가 삽입구(4)의 내측면에 형성되어 셋트 스크류(15)체결시 홀더의 회전을 방지하는 핀고정지그(1)와로 구성됨을 특징으로 하는 플런지 업 유니트의 핀홀더.
2. 제1항에 있어서, 내측 홀더(7)는 일측에만 체결공(14)이 뚫려짐을 특징으로하는 플런지 업 유니트의 핀홀더.