KR910007107B1

KR910007107B1 - 펠릿 돌상(突上)장치

Info

Publication number: KR910007107B1
Application number: KR1019880013649A
Authority: KR
Inventors: 가즈오 스기우라; 다까시 다께우찌
Original assignee: 가부시끼가이샤 신가와; 야스구모 다께시
Priority date: 1987-12-15
Filing date: 1988-10-20
Publication date: 1991-09-18
Also published as: JPH0581179B2; KR890011054A; JPH01157548A; US4907790A

Abstract

내용 없음.

Description

펠릿 돌상(突上)장치

제1도는 본 발명의 일실시예를 도시하는 일부 단면평면도.

제2도는 제1도의 A-A선 단면도.

제3도는 제1도의 B-B선 단면도.

제4도는 핀 호울더를 도시.

제4a도는 평면도.

제4b도는 우측면도.

제4c도는 단면도.

제5a도 내지 5d도는 각각 펠릿의 크기에 적합하도록 주변 돌상(突上)핀을 부착한 평면 설명도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 핀호울더 2d-1, 2d-2, 2d-3 : 주변 핀삽입구멍

2e : 잘린부분 6 : 주변 돌상핀

7 : 끼움부재

본 발명은, 웨이퍼시이트상의 펠릿을 흡착노즐로 흡착하여 픽업할 때에, 픽업되는 펠릿을 위로 돌출시키기 위한 핀(이하 "돌상핀"이라 함)으로 돌상하는 펠릿 돌상장치에 관한 것이다.

종래 펠릿을 안정하게 돌상하기 위해서 예를 들어 일본국 특개소 62-98638호에 도시하는 바와 같이, 복수개의 주변 돌상핀을 사용한 것이 알려져 있다. 이 경우, 펠릿의 크기가 다르면, 그것에 따라 주변 돌상핀이 펠릿의 주변부를 돌상하도록 그 배치위치를 바꿀 필요가 있다. 상기 종래 기술은, 이점에 대해서는 하등의 배려가 되어 있지 않다.

상기 종래 기술은, 주변 돌상핀이 고정되는 핀 호울더의 소정 위치에 설치한 주변 핀삽입구멍에 주변 돌상핀을 삽입하고, 나사로 고정하고 있으므로, 펠릿의 크기에 따른 수의 핀호울더를 준비하지 않으면 안된다. 또 중심 또는 주변 돌상핀이 부러졌을 때에는 그 교환이 곤란했었다.

또 큰 펠릿용의 핀 호울더는, 그 크기가 주변부재의 관계로 제한되어, 주변 돌상핀을 핀호울더의 주변부에 배치하게 됨으로, 주변돌상핀 고정용의 나사를 나사맞춤시키는 나사 구멍을 주변 핀삽입구멍에서 될 수 있는대로 떨어진 핀호울더의 바깥둘레로부터 형성할 필요가 있고, 또 복수개의 나사구멍은 교차하지 않도록 설치할 필요가 있어 핀 멈춤 구조가 몹시 복잡했었다.

또 주변 돌상핀의 고정용 나사는 상기한 핀호울더의 구조상 작아짐으로, 죄어대는 힘이 약하고, 나사의 느슨해짐에 의해 주변 돌상핀이 낙하한다고 하는 문제를 갖는다.

본 발명의 목적은, 1개의 핀호울더로 수종류의 크기의 펠릿에 대처할 수 있고, 또 돌상핀이 부러져도 그 교환이 용이하고, 더욱 돌상핀을 견고하게 고정할 수가 있는 펠릿 돌상장치를 제공하는데 있다.

상기 종래 기술의 문제점을, 평면에서 보아 X자형상의 선상에 복수개의 주변 핀 삽입구멍을 설치하고, 더욱 상기 X자형 선으로 둘러싸인 좌우부분을 V자형상으로 자른 잘린부분을 갖고, 상하구동수단으로 상하 구동되는 핀 호울더와, 상기 주변핀 삽입구멍에 삽입된 주변 돌상핀과, 이 주변 돌상핀을 상기 핀호울더의 잘린 부분의 내측면에 밀어붙이도록 상기 핀호울더에 고정되는 V자형상의 끼움부재를 갖춘 구성으로 함으로써 해결된다.

펠릿의 크기가 변했을 경우, 또는 주변 돌상핀이 부러졌을 경우에는, 끼움부재의 고정을 늦추고, 펠릿의 크기에 적합한 핀 호울더의 주변 핀삽입구멍에 주변 돌상핀을 삽입하고, 끼움부재를 죄어붙이면, 주변 돌상핀은 핀호울더에 고정된다. 이하, 본 발명의 일 실시예를 도면에 의해 결정된다.

제1도 내지 제3도에 도시하는 바와 같이, 도시하지 않은 상하구동수단으로 상하 운동되는 핀호울더 상하구동축(1)의 머리부분에는 핀호울더(2)가 붙이고 떼기 자유롭게 장착되어 있다. 또 핀호울더 상하구동축(1)에 대해서 핀호울더(2)의 회전방향을 위치결정하기 위해, 핀호울더 상하구동축(1)에는 양측에 돌출하여 위치결정핀(3)이 고정되어 있고, 핀호울더(2)에는 위치결정핀(3)에 삽입되는 홈(2a)이 형성되어 있다.

그리고, 핀호울더(2)는 나사(4)로 핀호울더 상하구동축(1)에 고정되어 있다.

핀호울더(2)는, 제4도에 도시하는 바와 같이, 핀호울더 상하구동축(1)에 장착되는 축장착부(2b)의 상부에 핀 장착부(2c)를 갖는다. 핀 장착부(2c)에는 중심부에 상면에서 수직으로 관통하여 중심핀 삽입구멍(2d-0)이 형성되어 있다. 중심 핀삽입구멍(2d-0)을 교점으로 하여 X자형상으로 뻗은 선상에 중심 핀삽입구멍(2d-0)에서 등거리위치에 상면에서 수직으로 관통하여 복수개의 제1,제2,제3의 주변 핀삽입구멍(2d-1,2d-2,2d-3)이 형성되어 있다. 즉, 제1,제2,제3의 주변 핀삽입구멍(2d-1,2d-2,2d-3)은 각각 4개씩 형성되어 있다. 그리고 중심 핀삽입구멍(2d-0), 주변 핀삽입구멍(2d-1,2d-2,2d-3)을 연결하는 X자형 선으로 둘러싸인 서로 대향한 좌우의 상면부분은, 중심 핀삽입구멍(2d-0)의 주변을 남기고 V자형상으로 잘린 잘린부분(2e)이 형성되어 있다.

다시 제1도 내지 제3도로 되돌아와서, 도면에는 중심핀 삽입구멍(2d-0), 4개의 제2의 주변 핀삽입구멍(2d-2)에 각각 중심 돌상핀(5) 및 주변 돌상핀(6)이 삽입되어 있다. 그리고, 핀호울더(2)의 좌우의 잘린부분(2e)에는 이 잘린부분(2e)의 내측면에 따른 외측면을 갖는 V자형상의 끼움부재(7)가 각각 배설되고, 끼움부재(7)는 나사(8)로 핀호울더(2)에 고정되고, 끼움부재(7)로 주변돌상핀(6)을 핀호울더(2)에 눌러 붙이고 있다.

상기 중심돌상핀(5)은 핀호울더(2)에 나사맞춤된 나사(9)에 의해 직접 고정되어 있다.

상기 핀호울더 상하구동축(1), 핀호울더(2), 중심돌상핀(5), 주변돌상핀(6)은 컵형상을 한 흡착(吸着)스테이지(15)에 내장되어 있다.

흡착 스테이지(15)의 정상부에는 중심 돌상핀(5), 주변돌상핀(6)에 대응한 위치에 중심 돌상핀(5), 주변 돌상핀(6)의 도피구멍을 겸한 흡착구멍(15a)이 형성되어 있다.

또 흡착 스테이지(15)의 흡착구멍(15a)을 중심 돌상핀(5), 주변돌상핀(8)에 대응한 위치에 위치결정하기 위해, 흡착스테이지(15)에는 가이드 핀(16)이 고정되고, 이 가이드 핀(16)은 핀호울더(2) 및 핀호울더 상하구동축(1) 측면에 핀 호울더(2)의 상면에서 수직으로 연통하여 형성된 세로 홈(2f,1a)에 삽입되어 있다. 흡착스테이지(15)는 도시하지 않은 구동수단으로 상하구동되는 스테이지 호울더 상하 구동통(17)에 나사(18)로 고정되어 있다.

또 스테이지 호울더 상하구동통(17)에는 도시하지 않은 진공펌프에 접속된 이음매(19)가 부착되어 있고, 진공압은, 스테이지 호울더 상하구동통(17)과 핀호울더 상하구동축(1)과의 틈사이(20), 흡착스테이지(15)와 핀 호울더 상하구동축(1) 및 핀 호울더(2)와의 틈사이(21)를 통해서 흡착구멍(15a)에 통하도록 되어 있다.

다음에 사용에 대하여 설명한다.

중심돌상핀(5), 주변돌상핀(6) 및 흡착스테이지(15)는 종래와 마찬가지로 작동함으로 간단하게 설명한다.

흡착스테이지(15)로 도시하지 않은 웨이퍼 시이트를 흡착한 상태로 핀 호울더 상하구동축(1)이 상승하게 되면, 핀 호울더(2)와 같이 중심돌상핀(5) 및 주변돌상핀(6)이 흡착스테이지(15)의 흡착구멍(15a)에 통해서 위로 상승하고, 웨이퍼 시이트에 점착되어 있는 도시하지 않은 펠릿을 돌상하고, 이 펠릿은 도시하지 않은 흡착노즐에 의해서 픽업된다.

그후 핀호울더 상하구동축(1) 하강되어져서 중심 돌상핀(5) 및 주변돌상핀(6)도 하강하고, 또 웨이퍼 시이트를 흡착하고 있는 진공압도 오프된다.

그런데, 도시의 경우에는 중심핀 삽입구멍(2d-0) 및 주변핀삽입구멍(2d-2)에 중심돌상핀(5) 및 주변돌상핀(6)을 부착하여 이루어짐으로, 제5b도에 도시하는 크기의 펠릿(31)에 적합하다.

그래서, 제5a도에 도시하는 크기의 펠릿(30)에 적합시키려면, 주변 핀 삽입구멍(2d-1)에 주변 돌상핀(6)을 부착하면 좋고, 또 동도면(c)에 도시하는 크기의 펠릿(32)에 적합시키려면, 마찬가지로 주변 핀삽입구멍(2d-3)에 주변 돌상핀(6)을 부착하면 된다.

이와 같이 펠릿(30,31,32)의 크기에 적합하도록 주변 돌상핀(6)을 부착하려면 나사(8)를 늦추어서 끼움부재(7)를 후퇴시켜두고, 펠릿(30,31,32)에 적합하는 주변 핀삽입구멍(2d-1,2d-2,2d-3)에 주변돌상핀(6)을 삽입하고, 나사(8)를 죄어붙임으로서 간단하게 할 수 있다.

이 경우, 주변 핀삽입구멍(2d-1 또는 2d-2 혹은 2d-3)에 삽입한 주변돌상핀(6)에 대응한 위치에 흡착구멍(15a)이 설치된 흡착 스테이지(15)와 교환할 필요가 있는 것은 물론이다.

더욱, 제5b도는 아주 작은 펠릿(33)의 경우에 중심돌상핀(5)만을 사용한 경우를 도시한다. 또 동도면(a)∼(c)의 경우에는, 주변 돌상핀(6)과 같이 중심돌상핀(5)을 사용했으나, 주변돌상핀(6)만을 사용해도 좋다.

또 주변 돌상핀(6)은 핀호울더(2)에 끼움부재(7)로 눌려져서 고정하는 구조이므로, 그 구조는 단순하고, 더욱 견고하게 고정할 수 있다.

또 핀호울더 상하구동축(1) 및 핀호울더(2)에 설치한 세로홈(2f,1a)에 흡착스테이지(15)를 설치한 가이드핀(16)을 삽입하도록 되어 있으므로, 핀호울더(2)에 흡착스테이지(15)를 끼워넣을 때에, 가이드핀(16)을 세로홈(2f,1a)에 삽입함으로써, 주변 돌상핀(6)에 흡착스테이지(15)의 흡착구멍(15a)이 대응하게 된다.

이것에 의해, 핀호울더(2)에 흡착스테이지(15)를 씌울때에 중심돌상핀(5) 및 주변돌상핀(6) 선단이 흡착 스테이지(15)에 닿아서 상기 핀(5,6)의 선단을 손상시키는 일도 없다.

더욱, 핀호울더(2)는 핀호울더 상하구동축(1)에 나사(4)로 일체로 고정되고, 핀호울더 상하구동축(1)과 같이 상하운동하는 것이므로, 핀호울더(2)와 핀호울더 상하구동축(1)은 한개의 부재로 일체로 형성해도 좋은 것은 물론이다. 이상의 설명에서 분명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 1개의 핀호울더로 수종류의 크기의 펠릿에 대처할 수 있고 또 돌상핀이 부러져도 그 교환이 용이하고, 더욱 돌상핀을 견고하게 고정할 수가 있다.

Claims

평면에서 보아 X자형상의 선상에 복수개의 주변 핀 삽입구멍에 설치되고, 더욱이 상기 X자형 선으로 둘러싸인 좌우 부분을 V자형상으로 잘린부분을 가지며, 상하구동수단에 의해 상하구동되는 핀호울더와, 상기 주변 핀삽입구멍에 삽입된 주변 돌상핀과, 이 주변 돌상핀을 상기 핀호울더의 잘린 부분의 내측면에 밀어붙이도록 상기 핀호울더에 고정되는 V자형상의 끼움부재를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 펠릿 돌상장치.