KR920703878A - 제품의 표면으로부터 오염물을 제거하는 방법 - Google Patents
제품의 표면으로부터 오염물을 제거하는 방법Info
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Abstract
내용없음
Description
제품의 표면으로부터 오염물을 제거하는 방법
[도면의 간단한 설명]
본 발명의 바람직한 예시적 실시 태양을 이후 첨부된 도면과 관련하여 기재될 것이며 여기서 동일한 부분은 동일한 기호로 표시한다.
제1도는 본 발명에 의한 세정 챔버의 측단면 개략도이고,
제2도는 제1도의 실제적인 2-2라인 단면도이고,
제3도는 회수 및 정제 시스템을 나타내는 본 발명의 장치의 개략 평면도이다.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
Claims (20)
- 가연성 및 비가연성 용매의 온도가 주변 온도 부근 내지 비등 온도의 범위에서 유지되고, 가연성 및 비가연성 용매의 증기가 챔버 내에서 비가연성 가스상 혼합물을 형성하는 용매를 함유하는 챔버중에서, 필수적으로 플루오로카본 및 공비량 이하의 알코올로 이루어진 비가연성 가열 용매 및 필수적으로 알코올로 이루어진 가연성 용매를 각각 사용하여 제품을 연속적으로 처리하는 것으로 이루어지는, 2종의 상이한 용매를 사용하여 제품의 표면으로부터 오염물을 제거하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 가스상 혼합물이 공비 포텐셜을 갖는 것을 특징으로 하는 방법.
- 우선 제품을 필수적으로 플루오로카본 및 공비량 이하의 알코올로 이루어진 제1용매 중에 침지시키고, 이어서 제품을 필수적으로, 앝코올로 이루어진 제2용매 중에 침지시키며, 상기 침지를 용매의 노도가 주변 온도 부근 내지 비등 온도의 범위에서 유지되고 가연성 및 비가연성 용매의 증기가 챔버 내의 비가연성 가스상 혼합물을 형성하는 각각 제1 및 제2용매를 함유하는 격실을 갖는 침벼중에서 수행하는 것으로 이루어지는, 제품의 표면으로부터 오염물을 제거하는 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제1침지 단계 동안에 상기 제1용매를 비등시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1침지 단계 동안에 상기 제2용매를 비등시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제품을 상기 제2용매중에 침지시킨 후에, 제품을 필수적으로 플루오로카본 및 공비량 이하의 알코올로 이루어진 제3용매 중에 침지시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 내부 챔버, 개구 및 상기 내부 챔버의 저부를, 각각 용매의 공급물을 개별적으로 함유하며 공통의 상부 공간으로 개구되어 있고 가연성 및 비가연성 용매의 온도가 주변 온도 부근 내지 비등온도에서 유지되는 제1 및 제2격실로 나누는 분할 벽을 한정하는 바닥 및 측벽을 갖는 설비 중에서 제품을 비가연성 및 가연성 용매를 사용하여 연속적으로 처리하고, 상기 제2격실로부터 상기 공통 상부 공간에 도입되는 휘발된 가연성 용매의 양을 제한하여 가연성 및 비가연성 용매의 증기가 공통 상부 공간내에서 비가연성 가스상 혼합물을 형성하도록 하는 것으로 이루어지는, 2종의 상이한 용매를 사용하여 제품의 표면으로부터 오염물을 제거하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 제1격실중에 상기 비가연성 용매를 가열시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 제한 단계가 상기 공통 상부 공간에 근접한 상기 제2격실 중에 배치된 응축기상에서 상기 가연성 용매로부터 증기를 응축시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 설비로부터 응축된 가연성 용매를 제거하는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 개구 부근 및 상기 공통 상부 공간중에 배치된 응축기 상에서 비가연성 가스상 혼합물을 응축시키고, 응축된 혼합물을 상기 응축기로부터 수거하고, 응축된 혼합물을 상기 설비로부터 제거하고, 응축된혼합물을 정제하고, 이이서 응축된 혼합물을 상기 제1격실에 재순환 시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 설비가 상기 내부 챔버의 저부를, 용매의 공급물을 개별적으로 함유하며, 상기 공통 상부 공간으로 개구되어 있는 제1,2 및 3격실로 나누는 1쌍의 공간 분할 벽을 가지며, 제품을 상기 가연성 용매 중에서 처리한 후에, 상기 제3격실중의 제2비가연성 용매중에서 처리하고, 상기 제1격실 중의 과량의 비가연성 용매가 상기 제3격실내로 유입되도록 하고, 비가연성 용매를 상기 제3격실로부터 정제하고, 정제된 비가연성 용매를 상기 제1격실로 재순환시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 비가연성 용매가 필수적으로 플루오로카본 및 공비량 이하의 알코올로 이루어지고, 상기 가연성 용매가 필수적으로 알코올로 이루어지고, 상기 정제 단계가 알코올을 플루오로카본으로부터 분리시키는 것을 추가로 포함하고, 상기 재순환 단계가 정제된 플루오로카본을 상기 제1격실로 공급하는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 비가연성 용매가 필수적으로 플루오로카본 및 공비량 이하의 알코올로 이루어지고, 상기 가연성 용매가 필수적으로 알코올로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제7항에 있어서, 상기 설비가 상기 내부 챔버의 저부를, 용매의 공급물을 개별적으로 함유하며, 상기 공통 상부 공간으로 개구되어 있는 제1, 제2 및 제3격실로 나누는 1쌍의 공간 분할 벽을 가지며, 제품을 상기 가연성 용매 중에서 처리한 후에, 상기 제3격실중의 제2비가연성 용매 중에 침지시키고, 상기 제1격실중의 과량의 비가연성 용매를 상기 제3격실내에 유입시키고, 비가연성 용매를 상기 제3격실로부터 정제하고, 정제된 비가연성 용매를 상기 제1격실로 재순환시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제15항에 있어서, 상기 비가연성 용매가 필수적으로 플루오로카본 및 공비량이하의 알코올로 이루어지고, 상기 가연성 용매가 필수적으로 알코올로 이루어지고, 상기 비가연성 용매를 정제 및 제순환시키는 단계가, 물을 비가연성 용매로부터 제거하고, 알코올을 상기 비가연성 용매로부터 추출하여 플루오로카본을 남기고, 이어서, 남아 있는 플루오로카본을 상기 제1격실에 공급하는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 비가연성 용매를 정제하는 상기 단계가 물을 비가연성 용매로부터 제거하기 전에 비가연성 용매를 증류시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 비가연성 용매를 정제하는 상기 단계가 오염물이농축기의 바닥에 침전하는 농축기중에서 상기 제3격실로부터 비가연성 용매를 농축시키는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제13항에 있어서, 상기 정제 및 재순환 단계가 물을 응축된 용매로부터 제거하고, 알코올을 상기 응축된 용매로부터 추출하여 플루오로카본을 남기로, 이어서 남아 있는 플루오로카본을 상기 제1격실로 공급하는 것을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제14항에 있어서, 상기 비가연성 용매가 필수적으로 클로로플루오로카본 및 공비량 이하의 이소프로판으로 이루어지고, 상기 가연성 용매가 필수적으로 이소프로판올로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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