KR920701798A - 다중채널 광학모니터링 시스템 - Google Patents

다중채널 광학모니터링 시스템

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Abstract

내용 없음

Description

다중채널 광학모니터링 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 광학 모니터링 시스템의 일 실시태양을 예시하는 개략도이다, 제2도는 제1도의 도시한 시스템에 사용할수 있는 회전식 셔터의 일 실시 태양을 예시하는 정면도이다, 제3도는 제2도의 예시한 셔터의 회전식 캠부재중 하나를 예시하는 측면도이다.

Claims (29)

  1. 복수개의 광비임을 발생하는 비임수단, 통로를 따라 연이어 배열된 것으로서, 상기 통로로 횡단하는 광비임중 하나에 의해 형성된 광학 경로를 가지며 그것을 따라 광학특성들이 모니터되는 복수개의 광학모니터링 스페이션, 각각의 광학 경로에 주기적으로 반응물을 제공하여 각각의 광비임이 투과되도록 반응물을 함유하고 있는 복수개의 반응웰를 한 스테이션에서 다른 스테이션으로의 통로를 따라 이동시키는 구동수단, 각각의 반응물에 의해 전송된 비임을 회전시키기 위한 회절수단, 회절된 비임의 촛점을 맞추기 위한 상기 회절 장치 다음의 촛점 수단, 회절된 비임의 스펙트럼내용을 나타내는 전기 신호를 발생시키기 위해 회절된 후 촛점이 맞추어진 비임을 수용하도록 배열된 적어도 하나의 광검출기 어레이 및, 상기 적어도 하나의 어레이에 의해 전기신호를 검출하는 전자수단을 포함하는, 복수개의 샘플에 대한 스펙트럼 투과를 모니터하는 다중 채널 광학 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 광비임을 순차적으로 통과시키도록 배열된 셔터수단을 부가로 포함하는 모니터링 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 셔터 수단이 광비임을 순차적으로 통과시키도록 축방향으로 배열된 방사상의 통로를 구획하는 회전 실린더를 포함하는 모니터링 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 회전 실린더가 각 방사상의 통로를 구획하기 위해 제거된 섹터를 가진 복수개의 동심원상 배열 디스크를 포함하는 모니터링 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 상기 적어도 하나의 어레이가 각각 하나의 비임군과 관련된 복수개의 어레이로 구성되고, 상기 셔터 수단은 각 비임군중 하나의 광비임만이 어느 한때에 각각의 어레이에 도달하도록 각 군의 비임을 순차적으로 통과시키는 모니터링 시스템.
  6. 제2항에 있어서, 상기 셔터 수단이 상기 통로와 상기 회절 수단 사이에 배열되는 모니터링 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 비임 수단이, 광스펙트럼 밴드의 광원, 슬릿형상의 광 비임이 통과하도록 상기 광원앞에 배치된 슬릿을 구획하는 슬릿수단, 분기 비임을 형성하도록 광비임을 무사히 투사하는 상기 슬릿수단 다음의 시준수단, 및 상기 스테이션의 수에 대응하여 상기 분기 비임을 다수의 이격비임으로 분할하는 상기 시준 수단 다음의 비임 분할수단을 포함하는 모니터링 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 비임 분할수단은 각 광비임의 각각의 반응물을 통해 통과하도록 선상 배열된 개구부를 구비한 마스크를 포함하는 모니터링 시스템.
  9. 제7항에 있어서, 상기 검출기 어레이의 스펙트럼 응답과 상기 광원과의 균형을 유지시키기 위한 상기 시준 수단다음의 여과 수단을 부가로 포함하는 모니터링 시스템.
  10. 제7항에 있어서, 광비임을 폴팅시키기 위해 상기 광비임의 통로에 적어도 하나의 미러를 부가로 포함하는 모니터링 시스템.
  11. 제1항에 있어서, 상기 광원이 텅스텐-할로겐 램프를 포함하는 모니터링 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 광원이 크세논 램프로 구성되는 모니터링 시스템.
  13. 제1항에 있어서, 상기 회절수단이 회절 격자로 구성되는 모니터링 시스템.
  14. 제1항에 있어서, 상기 회절수단이 홀로 그래픽 회절 격자로 구성되는 모니터링 시스템.
  15. 제1항에 있어서, 상기 검출이 어레이가 광검출부재의 선형 어레이로 구성되는 모니터링 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 상기 어레이는 회절광비임의 상기 어레이의 부재와 만나도록 배향되는 모니터링 시스템.
  17. 제15항에 있어서, 상기 광검출부재가 광다이오우드로 구성되는 모니터링 시스템.
  18. 제15항에 있어서, 상기 광원이 비임 슬릿을 통과하도록 슬릿을 구획하는 수단을 포함하고 상기 어레이가 상기 슬릿의 광학 컨쥬게이트인 중심부재를 갖는 모니터링 시스템.
  19. 제15항에 있어서, 상기 전자 수단이 각 검출 전기 신호의 이득을 조절하는 프로그래밍 가능한 이득 수단을 포함하는 모니터링 시스템.
  20. 제1항에 있어서, 상기 회절 수단, 상기 촛점 수단 및 상기 어레이가 적어도 390nm 내지 690nm의 스펙트럼 범위에서 적어도 10nm의 스펙트럼 해상도를 산출하도록 배열되는 모니터링 시스템.
  21. 제1항에 있어서, 상기 촛점 수단이 복수개의 렌즈를 구성되는 모니터링 시스템.
  22. 제1항에 있어서, 상기 전자 수단이 동작의 하전 전장 모드를 기준으로 하는 모니터링 시스템.
  23. 제1항에 있어서, 상기 통로가 선형 통로인 모니터링 시스템.
  24. 복수개의 광비임을 발생시키는 단계, 통로를 횡단하는 광비임중 하나에 의해 형성된 광학경로를 가지며 그것을 따라 광학특성들이 모니터되는 복수개의 광학 모니터링 스테이션을 상기 통로를 따라 배열하는 단계, 각각의 광비임을 전송하는 각각의 광학 경로에 주기적으로 반응물을 제공하여 각각의 광비임이 투과되도록 반응물을 함유하고 있는 복수개의 반응웰을 한 스테이션에서 다른 스테이션로의 통로를 따라 이동시키는 단계, 각각의 반응물에 의해 투과된 비임을 회절시키는 단계, 회절된 비임의 촛점을 맞추는 단계, 회절된 후 촛점이 맞추어진 비임을 회절된 비임의 스펙트럼내용을 나타내는 전기신호로 변환시키는 단계, 및 전기신호를 검출하는 단계를 포함하는, 복수개의 샘플에 대한 스펙트럼 투과를 모니터링하는 방법.
  25. 제24항에 있어서, 광 비임을 순차적으로 통과시키는 단계를 부가로 포함하는 방법.
  26. 제24항에 있어서, 상기 변환 단계가 회절된 비임을 광검출부재의 어레이에 의해 전기신호로 변환시키는 것으로 구성되는 방법.
  27. 제26항에 있어서, 상기 변환 단계가 회절된 광이 어레이의 부재와 만나도록 어레이를 배열하는 것으로 구성되는 방법.
  28. 제26항에 있어서, 상기 검출단계가 소정의 트레졸드치를 초과하는 전기 신호를 산출하는 광검출 부재를 측정하기 위해 광검출부재의 어레이를 주사한후 광검출부재로 부터의 전기 신호만을 검출하는 것으로 구성되는 방법.
  29. 제26항에 있어서, 상기 검출단계가 각 광검출부재로 부터 검출된 전기 신호의 이득을 조절하는 단계를 포함하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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