KR920018458A - 물체의 물리적상태 감시장치 - Google Patents

물체의 물리적상태 감시장치 Download PDF

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KR920018458A KR1019920004842A KR920004842A KR920018458A KR 920018458 A KR920018458 A KR 920018458A KR 1019920004842 A KR1019920004842 A KR 1019920004842A KR 920004842 A KR920004842 A KR 920004842A KR 920018458 A KR920018458 A KR 920018458A
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잇페이 야마우찌
스스무 타카노
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니시하찌죠 미노루
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Abstract

내용 없음

Description

물체의 물리적상태 감시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 진공소결로에 적용된 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 장치의 단면도.
제2도는 제1도에 도시한 장치의 지지프레임내에 이동을 위해 배치된 프로우브의 확대부분 단면도.
제3도는 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 의한 장치의 제2도와 유사한 도면.
제4도는 본 발명의 또다른 바람직한 실시예에 의한 장치의 제2도와 유사한 도면.

Claims (5)

  1. 피측정물을 고정하는 프레임수단과; 상기 프레임수단은 지지하는 지지수단과; 상기 피측정물과 상기 프레임 수단의 상대적인 이동을 위해 배치된 상하 단부를 가진 프로우브와; 상기 프로우브의 상기 하단부가 상기 피측정물과 상기 프레임수단 사이를 이동하도록 상기 프로우브의 상대 이동을 일으키고, 상기 지지수단으로부터 상기 피측정물과 함께 상기 프레임수단을 인양하는 구동수단과; 상기 프레임스단을 인양함이 없이, 상기 프로우브의 상기 하단부가 상기 피측정물과 상기 프레임수단 사이를 이동할 때, 상기 프로우브의 상기 상단부의 상대변위를 검출하는 첫 번째 검출수단과; 그리고 상기 프로우브가 상기 프레임수단을 인양할 때, 상기 프로우브의 상기 상단부에 가해진 부하를 검출하는 두 번째 검출수단을 구비하고, 상기 피측정물의 수직치수의 변화 및 상기 피측정물의 질량의 변화를 실질적으로 동시에 측정하는, 물체의 물리적상태 감시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 프로우브의 상기 하단부는 소정의 선팽창계수를 가지며; 그리고 상기 프레임수단은 상기 프로우브의 상기 하단부의 그것과 같은 선팽창계수를 가진 측벽을 포함하며; 상기 프로우브의 상기 하단부의 수직치수 및 상기 프레임수단의 수직치수는 선팽창계수와 관련해서 결정되므로, 상기 프로우브의 상기 하단부의 최대 허용변위는 주위온도의 변화에 관계없이 일정상태를 유지하는 물체의 물리적상태 감시장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 프로우브의 선팽창계수와는 다른 소장의 선팽창계수를 갖는 참조체와; 상기 참조체를 지지하고, 상기 프로우브의 그것과 같은 선팽창계수를 갖는 상기 프로우브상에 형성된 수단과; 상기 참조체는 상기 참조체 지지수단과의 접촉을 통하여 상기 프레임수단 이전의 상기 프로우브에 의해 당겨지는 위치에 배치되는 상기 참조체와; 그리고 상기 참조체 지지수단의 선팽창계수에서 상기 참조체의 선팽창계수를 제함으로써, 그리고 상기 프로우브가 상기 참조체를 들어 올린후 상기 프로우브가 상기 프레임수단과 접촉할때까지 상기 프로우브에 의해 이동되는 거리의 실제 측정치에 의해 구해지는 값으로부터 피측정물의 주위온도를 구하는 수단을 포함하며, 상기 주위온도를 사용하므로써 상기 프로우브의 상기 하단부의 상대변위 및 최대허용범위를 온도-보상하도록 하는, 물체의 물리적상태 감시장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 구동수단은, 상기 피측정물이 상기 프로우브에 의해 인양되는 동안, 상기 피측정물을 진동시키도록 작동하며; 그리고 또한 상기 측정물이 진동할 때 상기 두 번째 검출수단에 의해 검출되는 신호를 받는 신호처리수단을 포함하며, 상기 신호처리수단은 상기 피측정물의 진동의 파형을 전체진동장치의 질량의 변위의 파형으로 간주하여 다음식에 따라 파형내의 각속도 W 및 습기인자 n으로부터 질량을 구해내는 물체의 물리적 상태 감시장치.
  5. 제1항에 있어서, 일단에서 상기 프로우브와, 그리고 타단에서 상기 프레임수단과 연결된 임피이던스 미이터와; 그리고 상기 프로우브가 상기 피측정물과 접촉할 때,상기 임피이던스 미이터에 의해 얻어진 임피이던스치, 상기 프로우브가 상기 프레임수단의 인양없이 상기 프레임수단과 접촉할 때 상기 임피이던스 미이터에 의해 얻어진 임피이던스치, 그리고 상기 프레임수단의 소정의 알려진 임피이던스로부터 상기 피측정물의 임피이던수를 구하는 수단을 포함하는, 물체의 물리적상태 감시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920004842A 1991-03-27 1992-03-25 물체의 물리적상태 감시장치 KR960015056B1 (ko)

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