KR920015486A - 반도체 제조장치 및 그 제어방법 - Google Patents

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KR920015486A
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고하꾸 도미가와
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시기 모리야
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Abstract

내용 없음

Description

반도체 제조장치 및 그 제어방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 한 실시예에 의한 반도체 제조장치를 표시하는 단면도, 제2도는 이 발명의 한 실시예에 의한 반도체 제조장치의 제어방법에 있어서 열처리전의 상태를 표시하는 개략도, 제3도는 이 발명의 한 실시예에 의한 반도체 제조장치의 제어방법에 있어서 열처리중의 상태를 표시하는 개략도, 제4도는 이 발명의 한 실시예에 의한 반도체제조장치의 제어방법에 있어서 열처리후의 상태를 표시하는 개략도, 제5도는 이 발명의 한 실시예에 의한 반도체 제조장치의 제어방법에 있어서 반도체 웨이퍼 냉각후의 상태를 표시하는 개략도.

Claims (2)

  1. 반도체 웨이퍼를 열처리하는 처리실과, 이 처리실의 외부에 배치된 가열용의 히터와, 상기 처리실내에 복수매의 반도체 웨이퍼를 지지해서 빼고 넣고 하는 장치와, 상기 처리실내에 상기 장치와는 독립으로 빼고 넣고 할 수가 있고, 또한 상기 반도체 웨이퍼를 싸서 배치되는 경(徑)을 가지는 보열관과를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  2. 보열관을 처리실내에 넣고 처리실내를 가열하고 반도체웨이퍼를 탑재한 보드를 상기 처리실내의 보열관내로 넣고, 반도체웨이퍼를 열처리한후, 상기 처리실로부터 상기 보열관 및 상기 반도체 웨이퍼를 탑재한 보드를 동시에 꺼내서 상기 반도체웨이퍼가 소정온도이하로 되었을때, 반도체 웨이퍼의 주위로부터 보열관을 제거하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 제어방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910020402A 1991-01-17 1991-11-16 반도체 제조장치 및 그 제어방법 KR960006690B1 (ko)

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