KR920010868A - 금속배선 형성방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(a)∼(g)는 본 발명에 따른 금속 배선 형성 공정도.
Claims (4)
- 반도체 소자의 금속 배선을 형성함에 있어서, 알루미늄 합금의 패턴 형성에 이어 표면에 약간의 손상을 가하후 고온의 순수에 넣어 알루미늄 산화막을 형성시키고, 보호막 형성 및 패드식각후 패드부분의 알루미늄 산화막을 제거하는 것을 특징으로 하는 금속 배선형성 방법.
- 제1항에 있어서, 알루미늄 합금의 패턴 형성에 이은 표면의 손상은 아르곤 빔을 이용함을 특징으로 하는 금속 배선 형성방법.
- 제1항에 있어서, 알루미늄 산화막의 두께는 1000∼5000Å으로 함을 특징으로 하는 금속배선 형성방법.
- 제1항 또는 제3항에 있어서, 알루미늄 산화막은 아르곤 빔에 의한 손상후 50∼80℃의 고온 순수에서 형성함을 특징으로 하는 금속 배선 형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900018351A KR0121862B1 (ko) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 금속배선 형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900018351A KR0121862B1 (ko) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 금속배선 형성방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920010868A true KR920010868A (ko) | 1992-06-27 |
| KR0121862B1 KR0121862B1 (ko) | 1997-11-11 |
Family
ID=19305972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019900018351A KR0121862B1 (ko) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | 금속배선 형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0121862B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100430579B1 (ko) * | 2001-06-27 | 2004-05-10 | 동부전자 주식회사 | 반도체 소자용 금속 배선의 후처리 방법 |
| KR200451992Y1 (ko) * | 2008-11-26 | 2011-01-25 | 김진완 | 투수 패드를 구비한 보도블럭용 포석 케이스 |
-
1990
- 1990-11-13 KR KR1019900018351A patent/KR0121862B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100430579B1 (ko) * | 2001-06-27 | 2004-05-10 | 동부전자 주식회사 | 반도체 소자용 금속 배선의 후처리 방법 |
| KR200451992Y1 (ko) * | 2008-11-26 | 2011-01-25 | 김진완 | 투수 패드를 구비한 보도블럭용 포석 케이스 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0121862B1 (ko) | 1997-11-11 |
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