KR920008710Y1 - 웨이퍼 홀딩장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

웨이퍼 홀딩장치

도면은 중심선을 따라 한쪽 절반만을 도시하고 있으며,

제1도는 본 고안의 실시에를 도시하는 주요부 측단면도로서 트레이 고정전의 상태도.

제2도는 제1도에서 트레이가 고정되는 과정을 예시하는 도면.

제3도는 본 고안에 의해 트레이가 고정된 상태를 도시하는 도면.

제4도는 종래의 웨이퍼 홀딩장치의 구조를 도시하는 주요부 측단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

H : 홀더 T : 트레이

L : 승강판 1 : 내향 플랜지

3 : 래치 5 : 공압실린더

본 고안은 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 홀딩장치에 관한 것이다.

반도체 제조공정에 있어서, 웨이퍼 홀딩장치는 다이 본딩공정에 설비되는 것으로, 소성로에서 베이킹된 웨이퍼를 날개로 분리하는 과정중에, 웨이퍼가 적재된 트레이를 흔들림없이 고정하여 놓는 역활을 한다.

이 종류 웨이퍼 홀딩장치의 종래 방식은 제4도의 도시와 같이, 홀더(H)의 하측 외주부에 훅크부재(A)를 설치하고, 그 일단에 인장스프링(S)로 인장력을 가하여 항상 닫혀진 상태로 되게 한 다음, 웨이퍼(W)가 놓여진 마일러(M)을 적재한 트레이(T)가 승강기구(도시 생략)에 의해 홀더(H)의 내측으로 상승할때, 적당한 시기가 되면 푸쉬로드(P)가 훅크부재(A)를 연동시켜 열리게 함으로써, 트레이(T)가 장입된 상태를 유지할 수 있게하고 있다.

상기한 종래의 웨이퍼 홀딩장치는 구조적으로 복잡하여 제작이 어렵고, 또 후크부재는 인장스프링에 의해 당겨지는 방식을 취하고 있어서 인장스프링의 탄성계수가 크지 않으면 트레이가 밑으로 쳐지게 되는 결점이 있다.

본 고안의 목적은 상술한 종래의 웨이퍼 홀딩장치에서 볼 수 있는 결점을 해결하기 위하여, 간단한 구조로 이루어지고 또 트레이를 홀더의 내측에 장입 보전하여 트레이가 밑으로 쳐지는 일이 없게 한 웨이퍼 홀딩장치를 제공함에 있다.

상기 목적에 따라, 본 고안은 승강판에 적재된 트레이를 홀더의 내측에 장입 보전할 수 있게 구성된 웨이퍼 홀딩장치에 있어서, 상기한 홀더의 내주면 하측에 내향 플랜지를 형성하고, 상기한 트레이의 방사방향으로 출몰 가능하게 다수의 래치를 배치하며, 또 상기한 승강판의 내주에 공압실린더를 배치하여 상기한 래치를 방사방향으로 진뢰연동시킬 수 있게 구성된 웨이퍼 홀딩장치를 제공한다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부도면에 따라 상세히 설명한다.

제1도에서 홀더(H)는 내주면 하단에 내향 플랜지(1)을 보유하고 있으며, 또 트레이(T)는 내주면에서 외주면으로 관통된 슬라이드공(2)를 구비하고 있으며, 이 슬라이드공(2)로 각각 래치(3)이 측벽을 관통하여 방사방향으로 출몰 가능하게 배치되어 있다.

상기한 래치(3)의 내단측에는 절곡에 의한 계합부(4)가 형성되어 있다.

그리고 트레이(T)가 적재되는 승강판(L)의 내주측으로 공압실린더(5)가 배치되어 있다.

이 공압실린더(5)는 상기한 래치(3)의 수량과 동수로 배치되는 것으로서, 그 피스톤로드의 선단에는 상기한 래치(3)의 계합부(4)와 연재되는 푸쉬판(6)이 설치되어 있다.

상기한 푸쉬판(6)은 측면 "L"자상으로 형성되어 래치(3)의 계합부(4)가 활동되는 계합면(7)을 보유하고 있다.

도면의 미설명부호(R)은 웨이퍼(W)를 지지하는 마일러(M)가 확장상태로 되게 보전하여 주는 통상의 링을 지칭한다.

이상과 같은 본 고안에서 승강판(L)이 도시하지 않은 승강수단에 의해 상승하면, 제2도의 도시와 같이 트레이(T)는 홀더(H)의 내측으로 이동 위치하게 되고, 이때 링(R)은 홀더(H)의 내측 상단부와 트레이(T)사이에 끼워지면서 하강위치하게 되므로 마일러(M)는 트레이(T)의 외주 상단에 걸쳐져서 방사방향으로 확장된다.

이와 같이 승강판(L)의 상승이 완료되고 나면, 공압실린더(5)를 전진 작동하여 푸쉬판(6)이 전진하게 되고, 그 결과로 래치(3)가 압압되어 트레이(T)의 외측 방사방향으로 돌출된다.

이렇게 돌출된 래치(3)의 선단은 제3도의 도시와 같이 홀더(H)의 내향플랜지(1) 상측에 놓여지게 되므로 승강판(L)이 하강되더라도 트레이(T)는 홀더(H)로부터 탈락되지 않게 고정된다.

공압실린더(5)와 함께 승강판(L)이 하강되고 나면, 통상의 방식대로 웨이퍼(W)의 픽업작업을 행할 수 있다.

또, 픽업작업의 종료후에는 다시 승강판(L)을 상승시켜서 공압실린더(5)의 푸쉬판(6)이 래치(3)의 계합부(4)와 연게되게 한 다음, 공압실린더(5)를 후진작동하면 래치(3)기 푸쉬판(6)에 견인되면서 원래 위치로 복귀된다.

이에 따라 트레이(T)는 홀더(H)로부터 해방되며, 이후에는 승강판(L)을 하강시키고 새로운 웨이퍼(W)를 지지하고 있는 링(R)으로 교체하여 상술한 바와 같은 웨이퍼 홀딩공정을 반복한다.

푸쉬판(6)에 형성된 계합면(7)은 승강판(L)의 상승시에 래치(3)의 계합부(4)와 확실하게 연계될 수 있도록 충분한 공차를 갖추어야 한다.

이상과 같이 본 고안은 내주면 하측에 내향 플랜지를 보유하는 홀더와, 트레이의 방사방향으로 출몰 가능하게 배치되는 다수의 래치, 그리고 상기한 트레이가 적재되는 승강판의 내주에 배치되어 상기한 래치를 진퇴연동시키는 공압실린더로 이루어지는 간단한 구성이므로 고장이 없이 장기간 사용할 수 있음과 아울러 트레이를 홀더의 내측에 안전하게 장입 보전할 수 있는 이점과, 장치의 제조비가 저렴하게 되는 장점을 갖추고 있다.

Claims (1)

1. 홀더의 내측으로 장입되는 트레이에 의해 마일러가 확장되게 하여 이 마일러에 지지된 웨이퍼를 다시 픽업할 수 있게 하는 웨이퍼 홀딩장치에 있어서, 상기한 홀더(H)의 내주면 하측에 내향 플랜지(1)를 형성하고, 이에 대응하는 트레이(T)의 내주면에서 방사방향으로 다수의 래치(3)를 출몰 가능하게 배치함과 아울러 상기한 승강판(L)의 내주에 다수의 공압실린더(5)를 래치(3)에 대응하는 방위로 배열하여 상기한 공압실린더(5)의 피스톤로드 선단에 부착된 푸쉬판(6)의 계합면(7)으로 상기한 래치(3)의 계합부(4)를 연동시켜서 래치(3)의 외측단이 상기한 홀더(H)의 내향 플랜지(1)로 출몰되게 구성한 웨이퍼 홀딩장치.