KR920004824A - 압력센서 - Google Patents

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KR920004824A
KR920004824A KR1019910014931A KR910014931A KR920004824A KR 920004824 A KR920004824 A KR 920004824A KR 1019910014931 A KR1019910014931 A KR 1019910014931A KR 910014931 A KR910014931 A KR 910014931A KR 920004824 A KR920004824 A KR 920004824A
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다까오 고지마
가네히사 기쯔가와
도시가쯔 야스다
가쯔요시 미즈모도
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스즈끼 데이이찌
니혼 도꾸슈 도교 가부시기가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

압력센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도의 A는 본 발명의 판상압력센서-S의 분리사시도,
제1도의 B는 상기 A를 조합시켜 소성한 후의 종단면도,
제4도의 A는 본 발명에 따르는 원주상 압력센서-S의 종단측면도.
제4도의 B는 상기 A의 Ⅰ-Ⅰ선상 단면도,
제8-9도는 본 발명에 따르는 각각 압력센서-S의 부착기구를 표시한 종단측면도.

Claims (8)

  1. 2매의 장척판상 세라믹측을 접합하고, 그 일단부이 세라믹층 사이에 공격을 형성하여 이 공격에 접합하는 수압측 바깥쪽 부분을 다이아 프램부분으로 하고, 피검출압력의 작용에 의한 다이아 프램부분의 스트레인량에 따라 피검출 압력과 상관성이 잇는 전기적 출력을 발생하는 감압전극부를 다이아 프램부분 또는 그 주위부분에 배설하고 또한 이 감압전극부와 접속하는 도전로를 상기 세라믹층의 길이방향에 따라 연장시켜 그 타단부를 접속단으로 한 것을 특징으로 하는 압력센서.
  2. 제1항에 있어서, 2매의 세라믹층 사이에 소실성물질을 내장하여 일체적으로 소성하는 것에 의하여 소실성물질의 소실에 의해 공격을 생기게 한것을 특징으로 하는 압력센서.
  3. 제1항에 있어서, 2매의 세라믹층 사이에 구멍을 가지는세라믹판으로 되는 스페이서를 냉장하여 일체적으로 소성하고, 상기 구멍에 공격을 생기게 한 것을 특징으로 하는 압력센서.
  4. 제1항에 있어서, 2매의 세라믹층을 소성수축율이 서로 다른것을 선택하고, 일단부 에서 부분적으로 접합되지않는 비접합부가 마련되게 서로 접합하여 소성하는 것에 의해 상기 비접합부에 2매의 세라믹층의 수축차에 의한 공격을 생기게한 것을 특징으로 하는 압력센서.
  5. 원주상 세라믹층의 외주면에 사라믹층을 설치하고, 그 일단부에서 상기 세라믹층 사이에 주방향의 공격을 형성하여 이 공격에 접하는 바깥쪽 부분을 다이아 프램부분으로 하고, 피검출압력의 작용에 의한 다이아 프램부분의 스트레인량에 따라 이 피검출 압력과 상관성이 있는 전기적 출력을 발생하는 감압전극부를 다이아 프램부분 또는 그 주위부분에 배설하고, 또한 이 감압전극부와 접속하는 도전로를 상기 세라믹층의 길이 방향에 따라 연장시켜 그 타단부를 접속단으로 한것을 특징으로 하는 압력센서,
  6. 제5항에 있어서, 2매의 세라믹층 이에 소실성물질을 내장하여 일체적으로 소성하는 것에 의하여 소실성물질의 소실에 의해 공격을 생기게 한것을 특징으로 하는 압력센서.
  7. 제5항에 있어서, 2매의 세라믹층 사이에 구멍을 가지는 세라믹판으로 되는 스페이서를 내장하여 일체적으로 소성하고, 상기 구멍에 공격을 생기게한 것을 특징으로 하는 압력센서.
  8. 제5항에 있어서, 2매의 세라믹층을 소성수축율이 서로다른 것을 선택하고, 일단부에 부분적으로 접합되지 않는 비접합부가 마련되게 서로 접합하여 소성하는 것에 의해 상기 비접합부에 2매의 세라믹층의 수축차에 의한 공격을 생기게한 것을 특징으로 하는 압력 센서.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910014931A 1990-08-28 1991-08-28 압력센서 KR920004824A (ko)

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Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2896725B2 (ja) * 1991-12-26 1999-05-31 株式会社山武 静電容量式圧力センサ
EP0596711B1 (en) * 1992-11-06 1998-01-21 Texas Instruments Incorporated Method of fabricating a capacitive pressure transducer
US5296408A (en) * 1992-12-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Fabrication method for vacuum microelectronic devices
US5483834A (en) * 1993-09-20 1996-01-16 Rosemount Inc. Suspended diaphragm pressure sensor
EP0720733B1 (en) * 1993-09-24 1999-03-17 Rosemount Inc. Pressure transmitter with isolation diaphragm
US5528452A (en) * 1994-11-22 1996-06-18 Case Western Reserve University Capacitive absolute pressure sensor
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5731522A (en) * 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
GB2307744B (en) * 1995-12-01 1999-12-01 Solartron Group Ltd Pressure sensor
GB9524624D0 (en) * 1995-12-01 1996-01-31 Weston Aerospace Ltd Pressure sensor
US5665899A (en) * 1996-02-23 1997-09-09 Rosemount Inc. Pressure sensor diagnostics in a process transmitter
US5917264A (en) * 1996-09-05 1999-06-29 Nagano Keiki Co Ltd Electrostatic capacitance type transducer and method for producing the same
US5880371A (en) * 1997-01-27 1999-03-09 Texas Instruments Incorporated Pressure transducer apparatus and method for making
US6058780A (en) * 1997-03-20 2000-05-09 Alliedsignal Inc. Capacitive pressure sensor housing having a ceramic base
US6324914B1 (en) 1997-03-20 2001-12-04 Alliedsignal, Inc. Pressure sensor support base with cavity
US5808205A (en) * 1997-04-01 1998-09-15 Rosemount Inc. Eccentric capacitive pressure sensor
US5965821A (en) * 1997-07-03 1999-10-12 Mks Instruments, Inc. Pressure sensor
DE19729785C2 (de) * 1997-07-11 1999-08-19 Micronas Semiconductor Holding Kondensatoranordnung und ihr Herstellungsverfahren
US6387318B1 (en) 1997-12-05 2002-05-14 Alliedsignal, Inc. Glass-ceramic pressure sensor support base and its fabrication
US6329740B1 (en) * 1998-12-28 2001-12-11 Ngk Insulators, Ltd. Piezoelectric/electrostrictive device and production method thereof
JP4437336B2 (ja) * 1999-05-14 2010-03-24 キヤノンアネルバ株式会社 静電容量型真空センサ
US6508129B1 (en) * 2000-01-06 2003-01-21 Rosemount Inc. Pressure sensor capsule with improved isolation
US6520020B1 (en) * 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6505516B1 (en) 2000-01-06 2003-01-14 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensing with moving dielectric
US6561038B2 (en) 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier
CN1151367C (zh) 2000-01-06 2004-05-26 罗斯蒙德公司 微机电系统(mems)用的电互联的晶粒生长
JP3850263B2 (ja) * 2001-10-25 2006-11-29 京セラ株式会社 圧力検出装置用パッケージおよび圧力検出装置
JP3545385B2 (ja) * 2002-01-15 2004-07-21 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 圧力センサパッケージ及びその製造方法
US6848316B2 (en) * 2002-05-08 2005-02-01 Rosemount Inc. Pressure sensor assembly
US7100432B2 (en) * 2002-06-06 2006-09-05 Mineral Lassen Llc Capacitive pressure sensor
JP3681721B2 (ja) * 2002-12-04 2005-08-10 株式会社テムテック研究所 静電容量型のダイヤフラム圧力センサの製造方法
CN101479586B (zh) * 2006-04-25 2012-06-20 罗斯蒙德公司 使用近最终形状的烧结陶瓷的压力传感器
US7911315B2 (en) * 2006-07-28 2011-03-22 Honeywell International Inc. Miniature pressure sensor assembly for catheter
JP5305644B2 (ja) * 2006-12-25 2013-10-02 京セラ株式会社 圧力センサ用パッケージおよびその製造方法、ならびに圧力センサ
JP5159685B2 (ja) * 2009-03-30 2013-03-06 アズビル株式会社 静電容量型圧力センサ
US8763479B1 (en) * 2010-06-11 2014-07-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Mold and sensor cells for a nanocomposite material process control system
JP2012047725A (ja) * 2010-07-30 2012-03-08 Canon Anelva Corp 静電容量圧力センサ
JP5365665B2 (ja) * 2011-06-23 2013-12-11 横河電機株式会社 センサユニット
WO2013003789A1 (en) * 2011-06-29 2013-01-03 Invensense, Inc. Hermetically sealed mems device with a portion exposed to the environment with vertically integrated electronics
DE102012200983A1 (de) * 2011-12-23 2013-06-27 Continental Automotive Gmbh Sensorelement mit Luftdruckmessung
FI125447B (en) * 2013-06-04 2015-10-15 Murata Manufacturing Co Improved pressure sensor
JP6452140B2 (ja) * 2014-02-19 2019-01-16 本田技研工業株式会社 距離センサ及び計測方法
BR112018006476A2 (pt) * 2015-10-30 2018-10-09 Continental Automotive Gmbh dispositivo para pós-tratamento de gás de exaustão
JP2019512084A (ja) * 2016-02-03 2019-05-09 ハッチンソン テクノロジー インコーポレイテッドＨｕｔｃｈｉｎｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 一体型リードを備えた小型圧力・力センサ
US9896327B2 (en) * 2016-05-19 2018-02-20 Invensense, Inc. CMOS-MEMS structures with out-of-plane MEMS sensing gap
US10598559B2 (en) 2017-06-29 2020-03-24 Rosemount Inc. Pressure sensor assembly
US10996120B1 (en) * 2019-11-06 2021-05-04 Vibration Measurement Solutions, Inc. Pressure sensor
KR102290322B1 (ko) * 2019-11-25 2021-08-19 주식회사 아모센스 정전용량형 압력 센서 및 그 제조 방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3750476A (en) * 1967-09-25 1973-08-07 Bissett Berman Corp Pressure transducer
US3993939A (en) * 1975-01-07 1976-11-23 The Bendix Corporation Pressure variable capacitor
US4184189A (en) * 1978-08-14 1980-01-15 Motorola, Inc. Capacitive pressure sensor and method of making it
DE3108300C2 (de) * 1980-03-06 1986-05-28 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Druckmeßdose und Verfahren zu deren Herstellung
JPS63292032A (ja) * 1987-05-26 1988-11-29 Ngk Insulators Ltd 圧力検出器

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Publication number Publication date
JPH04106442A (ja) 1992-04-08
EP0473109A2 (en) 1992-03-04
DE69111337T2 (de) 1996-01-18
EP0473109B1 (en) 1995-07-19
EP0473109A3 (en) 1993-07-28
DE69111337D1 (de) 1995-08-24
BR9103775A (pt) 1992-05-19
JP2724419B2 (ja) 1998-03-09
US5201228A (en) 1993-04-13

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