JP2019512084A - 一体型リードを備えた小型圧力・力センサ - Google Patents
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- 感知素子を含むダイアフラム構造と、
前記ダイアフラム構造から延びるとともに、前記感知素子と電気的に接続された第1トレースおよび第2トレースを含むリード構造と、を備えた圧力・力センサにおいて、
前記ダイアフラム構造と前記リード構造とは、共通の絶縁層と、前記絶縁層上にあるとともに前記感知素子の少なくとも一部および少なくとも前記第1トレースを含む共通の導体層とを備えた回路組立体を含む、圧力・力センサ。 - 前記ダイアフラム構造はベース部を含むとともに、空隙領域を画定し、
前記絶縁層と前記感知素子の少なくとも一部を含む前記導体層は、前記ベース部上にあるとともに、前記空隙領域上に延在する、請求項1に記載のセンサ。 - 前記ベース部は金属部材を含む、請求項2に記載のセンサ。
- 前記ベース部の前記金属部材はステンレス鋼部材である、請求項3に記載のセンサ。
- 前記導体層に含まれる前記感知素子の前記一部は第1電極を含む、請求項4に記載のセンサ。
- 前記ベース部は可動部分を含み、前記電極は前記可動部分上にある、請求項5に記載のセンサ。
- 前記ベース部は前記可動部分から延びるバネアーム部をさらに含む、請求項6に記載のセンサ。
- 前記感知素子は第2電極をさらに含み、前記第2電極は前記第2トレースに接続される、請求項4に記載のセンサ。
- 前記第2電極を前記第2トレースに接続するビアをさらに含む、請求項8に記載のセンサ。
- 前記感知素子は歪ゲージを含み、前記導体層は前記第1トレースと前記第2トレースとを含む、請求項2に記載のセンサ。
- 絶縁層と、ダイアフラム部分におけるセンサ構造および前記センサ構造に接続されたリード部分における少なくとも1つのトレースを含む導体層とを含むダイアフラム部分およびリード部分を含む回路組立体と、
ベース部と、を備えた圧力・力センサにおいて、
前記回路組立体の前記ダイアフラム部分は前記ベース部に取り付けられている、圧力・力センサ。 - 前記ベース部はステンレス鋼部材を含む、請求項11に記載のセンサ。
- 前記ベース部の前記ステンレス鋼部材は可動部分を含み、前記回路組立体の前記ダイアフラム部分は前記ベース部に取り付けられている、請求項12に記載のセンサ。
- 前記ベース部の前記ステンレス鋼部材は前記可動部材から延びるバネアーム部を含む、請求項13に記載のセンサ。
- ベース部分と可動部分とを含むバネ金属ダイアフラム、
前記ダイアフラムの前記可動部分上のダイアフラム部分と前記ダイアフラムから延びるリード部分とを含む絶縁層、および
前記ダイアフラム部分上の電極と前記リード部分上において前記電極から延びるトレースとを含む前記絶縁層上の導体層、を含む第1トレース組立体と、
ベース部を含むダイアフラム、
前記ダイアフラム上のダイアフラム部分と前記ダイアフラムから延びるリード部分とを有する絶縁層、および
前記ダイアフラム部分上の電極と前記リード部分上において前記電極から延びるトレースとを含む前記絶縁層上の導体層、を含む前記第1トレース組立体と接合された第2トレース組立体と、を備えた容量式圧力センサ。 - 前記第1トレース組立体の前記ベース部分は、前記第2トレース組立体の前記ベース部分に接合されている、請求項15に記載のセンサ。
- スペーサをさらに含み、前記第1トレース組立体の前記ベース部分と前記第2トレース組立体の前記ベース部分とは前記スペーサに接合されている、請求項15に記載のセンサ。
- 前記バネ金属ダイアフラムは前記可動部分を前記ベース部分に接続する複数のアーム部を含む、請求項15に記載のセンサ。
- ベース部分と可動部分とを含むバネ金属ダイアフラム、
前記ダイアフラムの前記可動部分上のダイアフラム部分と前記ダイアフラムから延びるリード部分とを有する絶縁層、および
前記ダイアフラム部分上の電極と前記リード部分上において前記電極から延びるトレースとを含む前記絶縁層上の導体層、を含むトレース組立体と、
前記バネ金属ダイアフラムの前記ベース部分に電気的および機械的に接続され、前記バネ金属ダイアフラムの前記可動部分に隣接する空隙を画定する金属カンと、を備えた容量式圧力センサ。 - ダイアフラム部分と、リード部分と、対向する第1面および第2面とを含む絶縁層、
前記ダイアフラム部分上の電極と、前記リード部分上において前記電極から延びる第1トレースと、前記リード部分上の第2トレースとを含む、前記絶縁層の前記第1面側の導体層、
前記電極の周囲における前記絶縁層の前記第2面側の金属スペーサ部材、
前記第2トレースを前記金属スペーサ部材に電気的に接続する導電性ビア、ならびに、
前記金属スペーサ部材に機械的および電気的に接合された金属電極部材、を備えた容量式圧力センサ。 - 対向する第1面と第2面とを有するとともに、バネ板部分とリード部分とを含むバネ金属ベース層、
前記バネ板部分および前記リード部分上で前記ベース層の前記第1面側の第1絶縁層、
前記バネ板部分および前記リード部分上で前記ベース層の前記第2面側の第2絶縁層、
前記バネ板部分上の第1歪ゲージ回路と、前記リード部分において前記第1歪ゲージ回路から延びる第1トレースとを含む前記第1絶縁層上の第1導体層、ならびに
前記バネ板部分上の第2歪ゲージ回路と、前記リード部分において前記第2歪ゲージ回路から延びる第2トレースとを含む前記第2絶縁層上の第2導体層、を備えた歪ゲージセンサ。 - 前記第1歪ゲージ回路と前記第2歪ゲージ回路とは蛇行するとともに互いに鏡面像をなす、請求項21に記載の歪ゲージセンサ。
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