KR920003050A - 단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 시편두께와 전반사율과의 상관도.

제2도는 제1도와 유사한 것으로 다른 크기 및 다른 결정에 대한 시편두께와 전반사율과의 상관도.

제3도는 본 발명의 방법을 수행하기 위한 구성의 개략도.

Claims (4)

1. 파형비임 또는 입자 비임으로 이산 결정부의 방사, 브랙조건하에 회절된 비임의 강도분포의 기록 및 기록된 강도수치를 소정의 이론적 함수에 적용시킴으로써 계산상의 데바이-왈러인자의 판정이 이루어지도록 되어 있는 단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법에 있어서, A1) i) 결정표면에 수직한 결정격자의 결정격자면에 브랙반사시의 제1회절 배치에서 광자검출기 및 입자검출기(6)에 의해 절단 반사율을 측정하는 단계와; ii) 비임/시편(3)의 배향을 변화시키도록 입사된 비임과 회절된 비임에 의해 형성되는 회절면에 수직한 제1축선(1)주위로 시편(3)을 회전하는 단게와;iii)광자검출기 및 입자검출기(6)으로부터 출력된 측정된 반사율에 대한 신호를 상기 제1축선 주위로의 시편(3)의 회전각의 함수로써 기록하는 단계와;iv)전반사율 Rint를 결정하기 위해 상기 측정치를 회전각에 대해 적분하는 단계와;v)단계 i)내지 iv)의 동작을 반복하여 회절이 일어나는 결정격자면(4)에 수직한 제2축선(2)주위로 시편(3)을 회전시킴으로써 시편(3)의 유효두께를 변화시키는 단계와;vi)수 j에 대한 전반사율을 회전각의 조절에 의해 시편(3)의 유효두께에 다르는 측정치 Rint_j의 결과로써 결정하며 기억하는 단계 및 vii)기록된 측정치 Rint_j의 결과에 소정의 이론적 함수를 적용함으로써 전반사율과 시편(3)의 두께와의 관계를 매개변수 E로 나타낸 제1의 계산상의 데바이-왈러-인자(E220)를 결정하는 단계에 의해 디스크 또는 판상으로 주어진 시편(3)의 제1이산 결정부를 검사하는 단게와;B)상기 방법단계(A1) i)내지 A1 vii)가 다른 회절배치에서 A1+n) i) 내지 A1+n) vii)로 반복되고 적어도 하나의 또 다른 데바이 왈러 인자(E440, …)의 결정이 이루어지게 적어도 하나의 또 다른 검사공정이 수행되는 단계 및 상기 각 단계 A)내지 B)에서 수행된 검사를 분리 외부상의 밀봉 및 중간 팽창에 관한 회절배치로 부터 계산상의 데바이 왈러 인자에 따라 평가하는 단계가 자동으로 수행되는 것을 특징으로 하는 단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법.
2. 제1항에 있어서, 시편(3)에서 방법단계 A) 내지 C)의 국부적인 분석의 반복에 의해 적어도 하나의 또 다른 이산 결정부를 검사하는 단계와;단결정의 소재의 결정격자에서 침전된 외부상의 밀봉 및 중간 팽창하도록 시편(3)에서 국부적인 분석으로 확인된 정보를 지형도 작성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 시편(3)에 방사하기 위해 0.02㎜ 내지 0.003㎜의 파장범위의 X선과 그에 대응되는 50keV 내지 450keV의 광자에너지가 이용되는 것을 특징으로 하는 단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 시편(3)에 방사하기 위해 싱크로트론 방사가 이용되며 산란된 비임의 검출은 에너지 소산으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정 소재의 외부상 침전물의 검사방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.