KR920001291B1 - 고체촬상장치 - Google Patents

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KR920001291B1
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하루히사 안도오
마사아끼 나까이
히데유끼 오노
도시후미 오자끼
신야 오오바
노리오 고이께
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가부시기가이샤 히다찌세이사구쇼
미따 가쯔시게
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Abstract

내용 없음.

Description

고체촬상장치
제1도는 종래의 고체촬상장치의 구조를 도시한 개략적인 회로도.
제2a도는 제1도의 선(A-A′)를 따라서 취해질 수직 CCD 레지스터(3)의 개략적인 단면도.
제2b도는 제2a도에 도시된 수직 CCD레지스터에서 포텐셜의 변화를 시간함수로서 설명하는 타임 차아트.
제3도는 본 발명의 일실시예에 관한 고체촬상장치의 전체구성을 도시한 개략적인 회로도.
제4a도는 제3도에 도시된 수직 CCD 레지스터(3)의 개략적인 단면도.
제4b도는 제4a도에 도시한 수직 CCD 레지스터에서 포텐셜의 변화를 시간함수로서 설명하는 타임 차아트.
제5a도 및 제5b도는 제3도에 도시된 수직 CCD 레지스터(3)를 구동하는데 사용되는 펄스신호를 설명하는 신호 파형도.
제6도는 제3도에 도시된 고체촬상장치의 구동을 설명하는 타임차아트.
제7a도 및 제7b도는 제4a도 및 제4b도에 대응하는 본 발명의 다른 실시예에 관한 개략적인 단면도 및 타임 차아트.
제8도 및 제9도는 본 발명의 다른 실시예에 관한 고체촬상장치의 전체 구성을 도시한 개략적인 회로도.
제10a도 및 제10b도는 제3도에 도시된 수직 CCD 레지스터에 관한 다른 실시예를 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 광전변환소자 2 : 선택게이트
3 : 수직 CCD 레지스터 4 : 수평 CCD 레지스터
5 : 출력앰프 120 : 결합부
121 : 전하흡출영역(charge sink area) 122 : 전하흡출용 CCD 레지스터
202 : 불순물층 203 : 게이트전극
(ΦV1),(ΦV2),(ΦV3),(ΦV4),(ΦV5),(ΦV6),(ΦV7),(ΦV8) : 클럭펄스
본 발명은 촬상장치에 관한 것으로서, 특히 반도체기판상에 복수개의 광전변환 소자를 집적화한 고체촬상 장치에 관한 것이다.
고체촬상장치는 촬상관에 비해서 소형이고, 무게가 가볍고, 보수하기가 용이하고, 수명이 연장되는 등 많은 특징으로 가지고 있다. 또한, 반도체 기술이 현저하게 진보함에 따라, 촬상관 대신에 가격이 저렴하고 성능이 우수한 고체촬상장치로 대체되고 있다.
고체촬상장치는 일반적으로 두개의 종류로 분류할 수 있다. 예를들면, 광전 변환소자(포토다이오드)로부터 발생한 신호전하를 MOS 트랜지스터를 통하여 알루미늄 신호라인에 판독하는 MOS형 고체촬상장치와, 각 광전변환소자로부터 발생한 광전하를 CCD(Charge Coupled Device)시프트레지스터를 통하여 판독하는 CCD형 고체촬상장치로 분류된다.
CCD 고체촬상장치는, 수광부와 축적부를 각각 분리하여 가진 프레임 전송형 CCD 촬상장치와, 수광용 화소사이에 스트라이프형상의 축적부 및 전하전송부를 가진 인터라인형 CCD 고체촬상장치와, 프레임전송형 CCD 촬상장치 및 인터라인형 CCD 고체촬상장치를 혼합한 FIT(프레임 인터라인 전송)형 CCD 촬상장치등 3가지로 분류된다. 이와 같은 CCD 고체촬상장치는 광전변환소자로부터 발생한 광전하를 높은 효율로 출력할 수 있으므로, MOS형 촬상장치에 비해서 잡음의 발생을 저감시키는 특징을 가지고 있다.
상기 CCD 고체촬상장치에 관해서는 ISSCC 82의 168∼169면 및 ISSCC 86의 94∼95면에 기재되어 있다.
이하, 제1도 및 제2도를 참조하면서 종래의 인터라인형 CCD 고체촬상장치에 대해서 설명한다. 제1도는 이 인터라인형 CCD 고체촬상장치의 구조를 도시한 도면이다. 광전변환소자(1)는 pn 접합다이오우드의 형태로 완성된 포토다이오드로 구성되어 있고, 입사광을, 입사광에 다른 광전신호전하로 변환하여 축적한다. 상기 광전변환소자는 수직 및 수평방향으로 규칙적인 매트릭스형상으로 배치된다. 수직 CCD 레지스터(3)는 수직방향의 광전변환소자열에 대해서 각각 1본씩 배치되어 전하를 수직방향으로 전송한다. 선택게이트(2)는 각 광전변환소자(1)의 수직 CCD 레지스터(3)사이에 설치되어, 광전변환소자(1)로부터 수직 CCD 레지스터(3)로 신호전하의 흐름을 제어한다. 수평 CCD 레지스터(4)는 수직 CCD 레지스터(3)의 어느 한쪽 단부에 설치되어, 각 수직 CCD 레지스터(3)군을 통하여 전송된 신호전하를 병렬로 수신하여, 수평방향으로 수신된 전하를 전송한다. 출력 앰프(5)는 수평 CCD 레지스터(4)의 일단부에 설치되어 수평 CCD 레지스터(4)에 전송된 신호전하를 증폭하여 출력한다.
광전변환소자(1)에 축적된 광신호전하는 선택게이트(2)에 의해서 수직 CCD 레지스터(3)에 전송된다. 이와 같이 선택된 신호전하는 수직 CCD 레지스터(3) 및 수평 CCD 레지스터(4)를 통하여 출력앰프(5)에 전송되고, 최종적으로 출력앰프(5)로부터 촬상신호로 출력된다.
수직 CCD 레지스터(3)는 통상적으로 4상(phase)의 클럭신호에 의해서 구동된다. 따라서, 수직 CCD 레지스터(3)에 4상의 클럭배선(6)∼(17)이 접속되며, 4상의 클럭배선중에서 2상의 클럭배선(7), (9), (11), (13), (15), (17)은 선택게이트(2)의 게이트용 배선도 겸하고 있다.
상기 장치의 수직 CCD 레지스터(3)의 동작을 제2a도 및 제2b도를 참조하면서 설명한다. 제2a도는 제1도에 도시된 수직 CCD 레지스터(3)의 선(A-A′)를 따라 취해진 수직 CCD 레지스터의 개략적인 단면도이고, 제2b도는 수직 CCD 레지스터(3)에서 포텐셜을 가진 전하를 시간의 함수로 설명하는 타임차아트이다.
제2b도에서 사선으로 표시된 부분에 유지하는 신호전하(Q3), (Q4) (Q5), (Q6)는, 제1도에 도시된 신호전하(Q1) (Qi+1) (Qi+2) (Qi+3)에 대응한다. 시각(t1)에서, 클럭배선(게이트배선)(11), (13), (15), (17)에 각각 클럭펄스(ΦV2), (ΦV4), (ΦV2), (ΦV4)를 인가하면, 포토다이오드에 축적되어 있던 광신호전하(Q3), (Q4), (Q5), (Q6)는 각각 이 광신전하에 관련된 수직 CCD 레지스터(3)의 게이트전극의 밑에 있는 영역으로 전송된다. 시각(t2)에서 클럭배선(12), (16)에 각각 클럭퍼스(ΦV3)를 인가하면, 광신호전하(Q3와 Q4), (Q5와 Q6)를 각각 혼합하여 (Q3+Q4), (Q5+Q6)로 된다. 이하, 시각(t3), (t4), (t5)에서 클럭배선에 순차적으로 클럭펄스를 인가하면, 혼합된 광신호전하(Q1+Q2), (Q3+Q4), (Q5+Q6)를 순차적으로 수직방향으로 전송한다. 이와 같은 방식으로 전송된 광신호전하를 수직주사기간동안 순차적으로 수평 CCD 레지스터(4)를 통하여, 출력앰프(5)에 출력한다. 수직 CCD 레지스터(3)에 존재하는 신호전하의 전송이 모두 완료하면, 다시 각 포토다이오드(1)에 축적되어 있던 광신호전하를 수직 CCD 레지스터(3)에 전송하므로써 상술한 바와 같은 동일한 처리를 반복한다. 따라서, 종래의 촬상장치의 신호축적기간을 수직 CCD 레지스터(3)를 통하여 신호 전하를 전송하는데 필요한 시간, 즉 1피일드주기와 같은 시간에 대응한다.
상기 종래의 고체촬상소자에 있어서, 수직 CCD 레지스터를 통하여 전송가능한 신호전하의 개수는 수직 CCD 레지스터의 전송전극의 개수와 클럭펄스신호의 상(phase)의 개수에 의하여 제한된다. 따라서, 포토다이오드(광전변환소자)의 신호축적시간이 일정하게 되어 신호축적시간을 임의로 제어할 수 없으므로 전자셔터기능등으로 이용하는 것이 불가능하였다.
본 발명의 목적은 신호전하축적시간을 용이하게 변경할 수 있는 전자셔텨기능을 가진 고체촬상장치를 제공하는데 있다. 상기 목적은, 1피일드 기간동안 광전변화소자로부터 수직전하전송수단으로 신호전하를 적어도 2회 전송하고, 수직전하전송수단은 전송된 신호전하를 각각 독립적으로 전송함으로서, 달성된다.
수직전하전송수단은, 1피일드 기간동안 축적시간이 각각 다른 신호전하를 독립해서 전송하고, 이 신호전하를 수평전하 전송수단은 통하여 판독한다. 이와 같은 방식으로, 축적시간이 다른 신호전하를 서로 혼합하지 않고 출력하므로, 축적시간을 임의로 선택할 수 있다. 즉, 고체촬상장치가 전자셔텨의 기능을 가질 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예 1에 대하여 제3도를 참조하면서 상세하게 설명한다.
제3도는 수직 CCD 레지스터(3)의 클럭배선(106)∼(117)을 8상의 클럭신호에 의해서 구동하고, 전하흡출영역(charge sink area)(121)과 수평 CCD 레지스터(4)를 접속하기 위하여 삽입된 결합부(120)와 결합되어 있고 불필요한 전하를 스위프오프(sweep off)하는 상기 전하흡출영역(121)을 부가하여 형성하고 있는 점을 제외하고는 제1도에 도시한 종래의 고체촬상장치와 동일하다. 각 수평블랭킹(blanking) 주기동안 수직 CCD 레지스터(3)로부터 전송된 전하중에서, 불필요한 전하를 결합부(120)를 통하여 전하흡출영역(121)에 전송한다. 전하흡출영역(121)을 외부전압이 인가되는 불순물확산층으로 형성할 수 있다. 이하, 제3도에 도시된 고체촬상장치의 동작을 제4a도, 제4b도, 제5a도, 제5b도 및 제6도를 참조하면서 설명한다.
제4a도는 수직 CCD 레지스터(3)의 구조를 개략적으로 도시한 단면도이고, 제4b도는 제4a도에 도시한 수직 CCD 레지스터(3)의 포텐셜(potential)의 변화를 시간함수로 설명한 타임차아트이다. 제4b도의 신호전하(Q2), (Q3), (Q4), (Q5), (Q7)는 제3도의 신호전하(Qi-1), (Qi), (Qi+1), (Qi+2), (Qi+3), (Qi+4)에 대응한다. 제5a도 및 제5b도는 수직 CCD 레지스터(3)를 구동하는 구동용 펄스신호를 도시한 도면이다. 제6도는 제3도에 도시된 고체촬상소자의 구동을 설명하는 타이밍차아트이다.
제4b도에 도시된 시각(t1)(제6도에 도시된 시각(ta1))에서, 게이트용 배선을 겸한 클럭배선(105), (107), (109), (111), (113), (115)에, 각 포토다이오드(1)에 축적된 광전신호전하를 수직 CCD 레지스터(3)로 전송하기 위하여, 고전압클럭신호(ΦV8), (ΦV2), (ΦV4), (ΦV6)를 인가하므로써, 각 수직 CCD 레지스터(3)의 전극의 하부영역에 신호전하(Q2), (Q3), (Q4), (Q5), (Q6), (Q7)를 축적하여 수직 CCD 레지스터(3)에 전송된 신호전하를 사선으로 표시한 부분에서 유지한다.
시각(t2)에서, 클럭배선(108), (112)에 클럭펄스(ΦV3), (ΦV7)를 인가하여, 신호전하(Q3)와 신호전하(Q4)를 혼합하고, 신호전하(Q5)와 신호전하(Q6)를 혼합하여 신호전하(Q3+Q4) 및 신호전하(Q5+Q6)로 된다.
시각(t3)에서, 클럭펄스(ΦV4), (ΦV8)를 인가하여, 혼합된 신호전하(Q3+Q4), (Q5+Q6)를 각각 클럭배선(109),(113)에 관련된 전극의 하부영역에 축적한다.
시각(t4)에서, 클럭펄스(ΦV5), (ΦV6)를 순차적으로 인가하여, 신호전하(Q3+Q4)만을 다음 단계의 전극의 하부영역으로 전송한다.
수직블랭킹의 한주기에 해당하는 주기(t5∼t8및 t18∼t31)동안, 제5a도 및 제5b도의 구동용클럭펄스에 대응하여, 각 신호전하를 수직 CCD 레지스터(3)로 전송한다. 사선으로 표시한 부분은 필요한 신호전하를 유지하는 부분으로 나타내고, 사선이 없는 부분(Q0)은 불필요한 신호전하를 유지하기 위한 블랭크영역(무신호영역)으로 나타낸다.
다음에, 주기(t5∼t31)동안 실행된 것에 대응하는 처리를 1피일드주기동안 반복하여 신호전하를 전송한다. 이 처리과정에서, 포토다이오드(1)에 축적된 불필요한 신호전하를 제5도에 도시된 시각(ta2)에서 판독하면, 영상신호의 발생에 기여할 수 있는 신호전하의 축적시간은 주기(ta3-ta2)에 해당한다. 상기 포토다이오드(1)에 축적된 불필요한 전하를, 제4b도에 도시된 사선이 없는 영역에 전송하므로써, 판독한다. 제6도에 도시된 주기동안 수직 CCD 레지스터의 게이트(107), (109)에 인접한 포토다이오드의 신호를, 시각(t5)에서, 수직 CCD 레지스터에서 판독할 수 있다. 또한, 수직 CCD 레지스터의 게이트(111), (113)에 인접한 포토다이오드의 신호를, 시각(t18)에서, 수직 CCD 레지스터에서 판독할 수 있다. 여기에서, 시각(ta1), (ta2), (ta5)은 1피일드주기의 반복에 대응하고, 특정될 수 있다. 따라서, 시각(ta2), (ta4)을 임의의 시각에서 설정하므로써 축적시간을 자유롭게 변경할 수 있다.
수직 CCD 레지스터(3)에서 필요한 신호전하와 불필요한 신호전하를 판독하는 방식을 설명한다.
제6도에 도시된 주기(ta1∼ta3)동안에, 제4b도에 도시된 주기(t5∼t31)동안 실행되는 처리를 반복한다. 이 경우에 있어서, 제6도에 도시된 시각(ta2)에 대응하는 시각(t18)에서 무신호영역(Q0)이 게이트(111)(ΦV6), (113), (ΦV8)의 아래에 각각 존재한다. 따라서 고압클럭을 인가하여, 포토다이오드(1)로부터 전하를 판독한다.
또한, 제6도에 도시된 시각(ta2)에 대응하여 연속되는 시각(t31)에서, 클럭배선(107), (109)에 고압클럭을 인가하여, 포토다이오드(1)로부터 전하를 판독한다. 상술한 바와 같이, 시각(t18), (t31)에 2회 동작하여 판독된 신호를, 수평 CCD 레지스터(4)로부터 결합부(120)를 통하여 전하흡출영역(121)에 전송하여, 불필요한 전하로 처리된다. 이와 같은 방식으로, 통상의 신호를 전송하는 동안에도 다른 시간에 축적된 신호를 판독할 수 있다. 제4b도에 도시한 타임차아트에서와 같이, 시각(t5), (t18), (t31)에 수평주사를 실행하는 예로 가정할 수 있지만, 수평주사를 반드시 상기 타이밍으로 한정할 필요는 없다.
또한, 사선부분의 모든 신호를 시각(t1)에서 판독하고 있지만, 사선이 없는 부분으로부터 신호전하를 판독하는 타이밍에 대응하는 1H시간(수평블랭킹의 주기)또는 그 이상의 시간편차를 가지고 판독하여도 된다. 예를들면, 사선부분의 각 신호전하의 축적시간을 균일하게 하기 위하여 클록(ΦV6), (ΦV8)에 대응하는 포토다이오드로부터 신호전하를 판독하고, 수평블랭킹이 1주기뒤에 클럭(ΦV2), (ΦV4)에 대응하는 포토다이오드로부터 신호전하를 판독하는 동작을 행하여도 된다. 제5a도, 제5b도는 제4b도에 도시된 포텐셜트랜지션(potential transition)을 실현하기 위한 펄스타이밍의 일예를 도시하고 있다. 특히, 시각(t5)에서 시작하는 펄스(ΦV1)∼(ΦV4)를, 수평 블랭킹의 1주기후의 시각(t18)에서 시작하는 펄스(ΦV5)∼(ΦV8)와 동일하게 하여도 된다. 마찬가지로 시각(t5)에서 시작하는 펄스(ΦV5)∼(ΦV8)를 시각(t18)에서 시작하는 펄스(ΦV1)∼(ΦV4)와 동일하게 하여도 된다.
제7도는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 것으로서, 제4도에 도시한 동작상태를 변경시킨 것이다. 사선이 없는 부분의 전극의 개수가 적으므로 전송하는 전하량은 감소하지만, 타이밍제어는 더욱 간단해진다.
특히, 전자셔터의 동작이 불필요한 통상의 촬상시에 수직 CCD 레지스터를 구동하는 4상(phase)의 클록신호를 사용하여도 된다.
이상의 실시예에서는 수직 CCD 레지스터를 구동하는 클럭신호가 8개의 상(phase)으로 되어 있지만, 적어도 7개의 상을 가지는 클럭을 사용하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이것은, 수직 CCD 레지스터의 반복단위를 고려하면 이해된다. 정규적으로 전송되어야하는 신호전하가, (Qi+Qi+1) 및 (Qi+2+Qi+3)의 2종류와, 여분의 전하 1종류 모두 3종류의 전하를 전송하는 것이 필요하다. 이를 위해서는, 독립적으로 CCD 레지스터의 채널을 제어할 수 있는 7개의 게이트가 있으면 된다.
제8도는 본 발명의 다른 실시예에 관한 고체촬상장치를 도시하고 있다. 제3도의 실시예와 다른 점은 전하흡출영역(121)을 전하흡출용 CCD 레지스터(122)로 대치한 것이다. 각 수평블랭킹기간동안 수직 CCD 레지스터를 통하여 전송된 전하중에서 불필요한 전하는 결합부(120)를 통하여 전하흡출용 CCD 레지스터(122)로 전송된다. 불필요한 전하흡출용 CCD 레지스터(122)에 의해서 채취된 불필요한 전하를, CCD 레지스터(122)를 구동하므로써, 외부단자로 스위프오프한다.
제9도는 본 발명의 다른 실시예에 관한 고체 CCD 촬영장치를 나타내고, CCD 레지스터(122)를 통하여 출력되는 전하신호를 검출하고 증폭하기 위한 출력앰프(123)를 부가하여 형성하고 있는 점이 제8도에 도시된 것과 다르다. 제9도에 도시된 배열을 가지고, 제4b도에 도시된 사선이 없는 부분(무신호영역)(Q0)에 발생하는 신호전하도 검출할 수 있으므로, 검출신호를 영상신호처리에 사용할 수 있다.
제10a도 및 제10b도는 본 발명의 다른 실시예를 도시하고 있다. 제10a도는 수직 CCD 레지스터의 단면을 도시한 도면이다. 반도체기판(201)의 표면에, 전하캐리어에 대한 포텐셜배리어(potential barrier)를 형성하기 위한 불순물층(202)을 형성하므로써, 게이트전극(203)의 하부에 있는 포텐셜분포를 제10b도에 예시한 바와 같이 세분화할 수 있다. 따라서, 4상의 클럭신호로도 클럭신호를 판독하는 전극의 개수를 증가할 수 있으므로, 신호의 축적시간을 제어할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 상기 실시예에 의하면, 신호의 축적시간을 자유롭게 변경할 수 있는 개량된 장치에 의하여 전자셔터 기능을 고체촬상장치로 실현할 수 있다.

Claims (9)

  1. 반도체기판의 주요표면상에 2차원형상으로 배열된 광전변환소자(1)와, 수직열에 배열된 광전변환소자로부터 신호전하를 전송하는 수직전하 전송수단(3)과, 상기 신호전하를 상기 광전변환소자로부터 상기 수직전하전송수단으로 추출하는 선택게이트수단(2)과 상기 수직전하전송수단으로부터 나오는 신호전하를 소정의 순서로 출력단으로 전송하는 수평전하전송수단(4)을 가진 고체촬상장치에 있어서, 1피일드 기간동안 상기 광전변환소자로부터 상기 수직전하전송수단으로 신호전하를 적어도 2회 전송하고, 상기 수직전하전송수단은 수신된 신호전하를 각각 독립적으로 전송하는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수직전하전송수단(3)은 8상(phase)의 구동펄스신호(ΦV1), (ΦV2), (ΦV3), (ΦV4), (ΦV5), (ΦV6), (ΦV7), (ΦV8)에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 수직전하전송수단(3)은 4상의 구동펄스신호(ΦV1), (ΦV2), (ΦV3), (ΦV4)로 구동되고, 이에 관계되는 전극(203)의 아래에 포텐셜배리어(potential barrier)를 형성하는 불순물층(202)을 가진 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  4. 매트릭스 형상으로 배열되고 광정보에 대응하는 신호전하를 축적하는 광전변환소자군(1)과, 수직열에 배열된 상기 광전변환소자로부터 신호전하를 전송하고 1피일드 기간동안 축적시간이 다른 신호전하를 각각 독립해서 전송하는 수직전하 전송수단(3)과, 신호전하를 상기 광전변환소자로부터 상기 수직전하전송수단으로 추출하고 상기 광전변환소자로부터 상기 수직전하전송수단으로 신호전하전송을 1피일드 기간동안 적어도 2회 실행하는 선택게이트수단(2)과, 상기 수직전하전송수단으로부터 나오는 신호전하를 소정의 순서로 출력단에 전송하는 수평전하수송수단(4)과, 상기 수평전하전송수단으로부터 신호전하를 증폭하여 출력하는 수단(5)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 수직전하전송수단(3)으로부터 전송하는 신호전하로부터 영상신호의 발생에 기여하지 않는 불필요한 전하를 소거하는 수단(120) (121), (120) (122)을 부가하여 구성하고 있는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 수평전하수송수단(4)은 상기 축적시간이 다른 신호전하를 각각 독립해서 상기 출력단에 전송하는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 수직전하전송수단(3)은 8상(phase)의 구동펄스신호(ΦV1), (ΦV2), (ΦV3), (ΦV4), (ΦV5), (ΦV6), (ΦV7), (ΦV8)에 의해서 구동되는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 수직전하전송수단(3)은 4상의 구동펄스신호(ΦV1), (ΦV2), (ΦV3), (ΦV4)에 의해서 구동되고, 이와 관계되는 전극(203)의 아래에 포텐셜배리어를 형성하는 불순물층(202)을 가진 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
  9. 반도체기판의 주요표면상에 2차원형상으로 배열된 광전변환소자(1)와, 수직열에 배치된 광전변환소자로부터 신호전하를 전송하는 수직전하전송수단(3)과, 상기 신호전하를 상기 광전변환소자로부터 상기 수직전하전송수단으로 추출하는 선택 게이트수단(2)과, 상기 수직전하전송수단으로부터 나오는 신호전하를 소정의 순서로 출력단으로 전송하는 수평전하전송수단(4)을 가진 고체촬상장치에 있어서, 상기 수직전하전송수단(3)은, 1피일드 기간동안에 상기 모든 광전변환소자(1)로부터 제1신호전하를 판독하고, 상기 수직전하전송수단(3)에서 판독된 제1신호전하를 유지하는 부분과 다른 전하를 유지하기 위한 블랭크부분을 형성하고, 상기 제1신호전하를 상기 수평전하전송수단(4)에 순차적으로 전송하고, 상기 제1신호전하를 전송하는 동안 주어진 시간에 상기 광전변환소자(1)로부터 제2신호전하를 상기 블랭크부분에 판독하고, 상기 제1 및 제2의 신호전하를 각각 독립해서 전송하는 것을 특징으로 하는 고체촬상장치.
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