KR910014607A - 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 1실시예를 도시한 종단 측면도, 제2도 및 제3도는 실시예의 동작을 병렬흡인과 직렬흡인으로 나누어서 설명한 도면이고 제1도와 같은 단면도.

Claims (4)

  1. 그의 중앙부에 소직경의 오목부가 형성되고, 또한 그의 끝부분에 로드가 설치된 피스톤과, 상기 피스톤을 수용하는 실린더, 및 상기 로드를 끼워넣는 로드구멍이 형성된 케이싱과, 상기 로드 및 상기 로드구멍의 적어도 한쪽에 형성된 유체통과용 홈과, 상기 케이싱의 상기 로드의 앞끝부분쪽에 폐색된 압력실을 형성하고 또한 상기 로드의 앞끝부분을 지지하는 다이어프램과, 상기 실린더 내면이나 상기 케이싱외부와 연이어 통하는 제1 내지 제5통로와, 흡입구가 제2통로에 접속되고, 토출구가 제4통로에 접속되는 제1흡인 펌프와, 흡인구가 제3통로에 접속되고, 토출구가 대기에 개방되는 제2흡인펌프와, 상기 제1통로 또는 제2통로 및 상기 압력실의 사이를 연이어 통하도록 설치된 파일럿 밸브 수용실과, 상기 압력실측의 개방구멍부를 폐색하도록 복귀수단이 설치된 상기 파일럿 밸브수용실내에 수용된 파일럿 밸브를 구비하고, 상기 제1 및 제2통로는 상기 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측에 유지하고 있는 경우에, 상기 피스톤에 형성된 오목부와 연이어 통하고, 또한 이 제1통로는 이 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측과 반대쪽으로 이동한 경우에 상기 실린더의 상기 압력실측과 연이어 통하도록 설치되고, 상기 제3통로는 상기 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측으로 위치하고 있는 경우 및 이 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측과 반대쪽으로 이동한 경우의 쌍방에 있어서, 상기 피스톤에 형성된 오목부와 연이어 통하도록 설치되고, 상기 제4통로는 상기 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측으로 위치하고 있는 경우에 상기 실린더의 상기 압력실측과 연이어 통하고, 이 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측과 반대쪽으로 이동한 경우에 상기 피스톤에 형성된 오목부와 연이어 통하도록 설치되고, 상기 제5통로는 상기 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측으로 위치하고 있는 경우에, 상기 제4통로와 연이어 통하고 이 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측과 반대쪽으로 이동한 경우에 이 피스톤에 의해 폐색되도록 설치한 것을 특징으로 하는 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 피스톤이 상기 실린더의 상기 압력실측으로 위치하고, 상기 유체통과용 홈을 폐색하도록 이 피스톤을 편의시키는 피스톤 복귀수단을 또한 구비한 것을 특징으로 하는 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 피스톤 복귀수단에 의한 피스톤의 편의력은 조정가능한 것을 특징으로 하는 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느하나에 있어서, 상기 파일럿 밸브의 복귀수단에 의한 파일럿 밸브의 편의력을 조정가능한 것을 특징으로 하는 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900015391A 1990-01-19 1990-09-27 진공펌프에 있어서의 흡인계 전환장치 KR940007756B1 (ko)

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